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公开(公告)号：CN1318775C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200510009631.0
申请日：2005-01-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种“带有电磁阻尼器的空气弹簧隔振基础”由基体、空气弹簧系统、供气系统、多个高度控制单元、多个电磁阻尼器组成。电磁阻尼器由铁芯、线圈、衔铁、换向开关和控制器组成，线圈环绕在铁芯之上，线圈经换向开关与控制器的输出端和信号输入端相连，电磁阻尼器既是阻尼力的输出执行机构，又是位移和速度的测量装置。本发明特点是，阻尼比可以根据实际需要实时调整，可以提供隔振系统最佳阻尼比(0.2～0.25)，过渡过程时间可以提高一倍以上，此外它体积小、非接触控制、控制精度高、可靠性高、寿命长、无污染、对环境适用能力强。使用这种阻尼器，空气弹簧隔振基础隔振性能显著提高，可控性能好。
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公开(公告)号：CN1272599C
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200510007217.6
申请日：2005-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种可实时分离主轴空间回转误差、导轨直行运动误差、导轨与回转轴线间平行度误差的圆柱度测量方法及装置。本发明的装置包括传感器(1)和传感器(2)、回转工作台(4)、基座(5)、导轨气浮套(6)和立式导轨(7)组成的立式导轨系统，误差分离转台(8)，其特征在于误差分离转台(8)置于回转工作台(4)上，被测件(3)置于误差分离转台(8)上，其可分别随回转工作台(4)和误差分离转台(8)回转，传感器(1)和传感器(2)随导轨气浮套(6)沿立式导轨(7)上下运动，且传感器(1)和传感器(2)在被测件(3)的两侧径向对称分布。
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公开(公告)号：CN1811332A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610056957.3
申请日：2006-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器测量技术领域，特别是一种具有自身参照和自校准特征的圆柱度测量仪组合式基准间误差分离方法。本发明的方法采用单传感器测量，通过对被测工件进行正向放置与倒向放置两个测回，经过简单的数据处理，便可分离出被测工件自身的形状误差与导轨相对主轴回转轴线的倾斜量，可完全去除倾斜量对圆柱形状超精密测量的影响，使圆柱形状测量用空间运动基准精度水平较一般精密空间运动基准提高一个数量级以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1719298A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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公开(公告)号：CN1216269C
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN200410001193.9
申请日：2004-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种超精密回转基准空间误差自分离方法与装置。本发明的方法通过对超精密回转基准空间运动误差进行Z向逐截面分离的方法，满足高精度圆柱度仪回转基准(主轴)空间运动误差分离的需求，使其达到减小空间回转误差的目的。本发明还提供一种超精密回转基准空间误差自分离装置，它将圆度误差分离系统与圆柱度仪回转主轴系统有机轴整合为一体，利用工作台回转式的单转位小角度误差分离方法，以实现对圆柱度仪回转主轴空间回转运动误差的逐截面分离，即在圆柱测量高度范围内逐一对各测量截面的回转主轴误差进行分离，继而达到减小圆柱度仪主轴空间运动误差对测量结果的影响。
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公开(公告)号：CN1645033A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200510007217.6
申请日：2005-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种可实时分离主轴空间回转误差、导轨直行运动误差、导轨与回转轴线间平行度误差的圆柱度测量方法及装置。本发明的装置包括传感器(1)和传感器(2)、回转工作台(4)、基座(5)、导轨气浮套(6)和立式导轨(7)组成的立式导轨系统，误差分离转台(8)，其特征在于误差分离转台(8)置于回转工作台(4)上，被测件(3)置于误差分离转台(8)上，其可分别随回转工作台(4)和误差分离转台(8)回转，传感器(1)和传感器(2)随导轨气浮套(6)沿立式导轨(7)上下运动，且传感器(1)和传感器(2)在被测件(3)的两侧径向对称分布。
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公开(公告)号：CN1644968A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200510009630.6
申请日：2005-01-18
IPC: F16K11/07
Abstract: 一种开度无级调节的非接触式气体换向阀，由阀芯、阀体组成，本发明的特点是：在阀芯和阀体两端带有相互配合的导向段，在阀体导向段上开有多个静压气浮供气口，供气口与气源相通。阀体导向段和阀芯的两端相互配合，构成静压气浮工作面，由于气体的粘度约为液体的千分之一，在大多数场合可以忽略，所以摩擦十分微小，极大的延长了换向阀的使用寿命。阀芯和阀体被气体所隔离，完全没有接触，因而不产生显著的摩擦热，降低了气体换向阀的功耗。由于阀芯和阀套之间消除了摩擦力，不存在对控制单元的影响，因而极大的提高了气体换向阀阀的工作精度。温度变化对气体的粘度影响很小，气膜的负载能力几乎不随环境温度而变化，因而保证气体换向阀可应用于很宽的工作范围，特别适合于恶劣环境下工作。
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公开(公告)号：CN1632334A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200510009635.9
申请日：2005-01-18
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“分立式人字槽动静压气体复合圆锥轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合圆锥轴承，在圆锥轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15％以上。
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