公开(公告)号：CN101512202B

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200780032360.8

申请日：2007-08-21

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  泽田洋平

IPC: F16K31/524 ,  F16K1/00 ,  F16K7/16 ,  F16K31/04 ,  F16K41/10

CPC classification number: F16K31/04 ,  F16K7/16 ,  F16K31/52491

Abstract: 一种凸轮式阀，将包括步进马达以及凸轮机构的促动器沿上下方向微调而能够简单且容易地进行阀的零点调节。一种步进马达驱动型的凸轮式阀(1)，在具有流入通路(2a)、流出通路(2b)、阀室(2c)以及阀座(2d)的机身(2)内升降自如地配设轴杆(7)，利用促动器使上述轴杆(7)下降，所述促动器包括：配设于轴杆的上方位置的步进马达(9)以及将步进马达(9)的旋转运动变换为直线运动而向轴杆(7)传递的凸轮机构(10)，使配设在阀室(2c)内的膜片(3)或者设置在轴杆(7)的下端部的阀体(30)向阀座(2d)抵接，其特征在于，在覆盖上述机体(2)的阀室(2c)的阀盖(5)上设置升降自如地支承促动器的升降支承机构(11)，在该升降支承机构(11)上设置微调相对于轴杆(7)的促动器的高度位置的高度微调机构(12)。

公开(公告)号：CN101981362A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980111522.6

申请日：2009-03-26

Applicant: 株式会社富士金 ,  国立大学法人东北大学

Inventor： 大见忠弘 ,  西野功二 ,  谷川毅 ,  山路道雄 ,  池田信一 ,  土肥亮介

IPC: F16K31/06 ,  H01F7/16

CPC classification number: F16K31/0658 ,  F16K31/0675 ,  H01F7/1816 ,  H01F2007/1822

Abstract: 本发明提供一种通过实现专用驱动电源的小型化从而节省了空间的电磁阀。本发明提供的是能够瞬间开闭的电磁阀，其特征在于，采用具有低直流内部电阻和低等效串联电阻的双电层电容器作为动力电源。双电层电容器中，单个单元的电气特性是：静电电容量为1～5F、额定电压为2.1～2.7V、直流内部电阻为0.01～0.1Ω、并且1kHz条件下的等效串联电阻为0.03～0.09Ω，并具有由比表面积为1～500m2/g的玻碳构成的可极化电极。

公开(公告)号：CN101360941B

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200680051269.6

申请日：2006-11-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 松本笃咨 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  池田信一 ,  西野功二

IPC: F16K31/02 ,  F16K7/14

CPC classification number: F16K24/04 ,  F16K7/14 ,  F16K31/004 ,  F16K31/007 ,  F16K51/02

Abstract: 在高温环境下也能进行高精度的稳定流量控制，并可无需拆卸控制阀自身来调整加在压电元件上的压力。具体由下列构件构成：形成有阀室7a′和阀座7c的阀体7；设置在阀室7a′内，可落入或离开阀座7c的金属隔膜8；固定在阀体7侧的致动器壳体10；设置在致动器壳体10内，因电压的施加而向下方伸长，通过金属隔膜压塞12加压于金属隔膜8的压电元件13；在金属隔膜8向阀座7c坐落时吸收压电元件13的伸长，并可向阀座7c等施加预定压力的碟形弹簧机构14；在压电元件13上常时施加向上的压力，并可从外部调整加在压电元件13上的压力的预压机构21。

公开(公告)号：CN101809712A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200880109472.3

申请日：2008-07-17

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 西野功二 ,  土肥亮介 ,  永濑正明 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  池田信一

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455 ,  H01L21/285

CPC classification number: C23C16/455 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明涉及一种半导体制造设备用的气体供给装置，其基于有机金属气相生长法，具备向反应炉供给原料气体的主气体供给线和进行所述原料的排气的排出气体供给线，在两条气体线的中间部配设多个气体供给机构而构成，在该气体供给装置中，对比在压力式流量控制装置的孔下游侧检测的主气体供给线的气体(P10)和排出气体供给线的压力(P2)，由所述排出气体供给线的入口侧的压力控制装置进行压力调整，从而在原料气体的供给切换时使主气体供给线和排出气体供给线之间的两者的压力差为零。

公开(公告)号：CN101652592A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200880011029.2

申请日：2008-03-13

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 泽田洋平 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: F16K31/02 ,  F16K7/12

CPC classification number: F16K31/007 ,  F16K7/14

Abstract: 在压电促动器(16)收缩时缓解在压电元件上产生的张力，即使在高温环境下也能够进行稳定的流量控制。本发明的压电元件驱动式控制阀包括如下部分：具有阀座(8d)的主体(8)；抵接或离开阀座(8d)的金属隔膜(9)；自由升降地支撑于主体(8)侧的促动器盒(13)；固定在主体(8)侧的分割基座(11)；向下方推压并驱策促动器盒(13)而使金属隔膜(9)抵接阀座(8d)的碟形弹簧(15)；以及容纳在促动器盒(13)内、因电压的施加向上方伸长并逆着碟形弹簧(15)的弹性力上推促动器盒(13)的压电促动器(16)，其中，在分割基座(11)和压电促动器(16)之间设有始终在压电促动器(16)的压电元件上施加压缩力的预压机构(20)。

公开(公告)号：CN100426169C

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN03800777.0

申请日：2003-01-20

Applicant: 株式会社富士金 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 杉山一彦 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  上野山丰己

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0664 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761

Abstract: 将可以从备有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地按所需要的流量比Q1/Q2向腔室内分流供给规定流量Q的处理气体。具体地说，从备有流量控制装置的气体供给设备通过多个分支供给线和固定于其末端的喷淋板按规定的流量比Q1/Q2向减压的腔室(C)内分流供给规定流量Q的气体之际，在前述多个分支供给线(GL1、GL2)上加装压力式分流量控制器(FV1、FV2)，并且靠来自使流量大的一方的压力式分流量控制器的控制阀(CV)的开度全开的分流量控制盘(FRC)的初期流量设定信号，开始前述两个分流量控制器(FV1、FV2)的开度控制，通过分别调整前述控制阀(CV)的下游侧压力P3′、P3″，通过设在喷淋板(3、4)上的节流孔(3a、4a)，按由式Q1＝C1P3′和Q2＝C2P3″(式中，C1、C2是取决于节流孔的断面积或节流孔上游侧的气体温度的常数)表达的所需要的分流量Q1、Q2向前述腔室(C)内分流供给总量Q＝Q1+Q2的气体。

公开(公告)号：CN101208641A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN200680023200.2

申请日：2006-06-22

Applicant: 株式会社富士金 ,  国立大学法人东北大学 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  斋藤雅仁 ,  日野昭一 ,  岛津强 ,  三浦和幸 ,  西野功二 ,  永濑正明 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  土肥亮介 ,  广濑隆 ,  筱原努 ,  池田信一 ,  今井智一 ,  吉田俊英 ,  田中久士

IPC: G05D7/00 ,  G01F1/42 ,  G01F1/00 ,  G01F7/00

CPC classification number: G05D7/0641 ,  G01F1/363 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6847 ,  G01F5/005 ,  G01F7/005 ,  G05D7/0635 ,  G05D7/0647 ,  G05D23/1927 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/776 ,  Y10T137/8593 ,  Y10T137/86734 ,  Y10T137/86815 ,  Y10T137/87265 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/8741 ,  Y10T137/87499 ,  Y10T137/87684

Abstract: 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1－P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。

公开(公告)号：CN100390455C

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN03806671.8

申请日：2003-03-19

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 杉山一彦 ,  羽田敬子 ,  出田英二 ,  池田信一 ,  安本直史 ,  山路道雄

IPC: F16L23/02 ,  F16L19/03

CPC classification number: F16L19/0218 ,  F16L19/0225 ,  F16L19/025

Abstract: 一种管接头，在合成树脂制第1接头构件(2)的端面上设有环状的凹部(7)，同时在合成树脂制第2接头构件(3)的端面上设有环状的凸部(8)，在嵌入了合成树脂制垫圈(4)的凹部(7)的开口部内嵌合凸部(8)。在管接头(1)的正确适当的拧紧状态下，第1接头构件(2)的凹部(7)内面和第2接头构件(3)的凸部(8)外面间夹着垫圈(4)几乎在全面上紧密接触，同时，第1接头构件(2)的端面的位于凹部径向内侧的部分(2d)和第2接头构件(3)的端面的位于凸部径向内侧的部分(3d)几乎在全面上紧密接触，第1接头构件(2)的端面的位于凹部径向外侧的部分(2e)和第2接头构件(3)的端面的位于凸部径向外侧的部分(3e)也几乎在全面上紧密接触。

公开(公告)号：CN1376914A

公开(公告)日：2002-10-30

申请号：CN02107863.7

申请日：2002-03-25

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 米华克典 ,  皆见幸男 ,  森本明弘 ,  川田幸司 ,  本井傅晃央 ,  中村修 ,  平井畅 ,  池田信一

IPC: G01N27/16

CPC classification number: G01N25/36 ,  G01N25/28 ,  G01N27/16

Abstract: 一种未反应气体检测装置,可准确地检测出残留在目标气体中的可燃性未反应气体浓度,安全地供应原料气体。本发明的未反应气体检测装置40包括:炉主体;与炉主体相连接的传感器主体44;形成于该传感器主体44内,使上述目标气体流通的测定用空间46;具有促进反应用的催化剂层74的温度测定部72c的;设有温度测定部70c的目标气体温度检测传感器70。利用上述促进反应用催化剂层74使残留于目标气体中的未反应气体反应,检测温度测定部72c的温度上升情况,同时用上述温度测定部70c测定目标气体温度To,根据未反应气体检测传感器温度T与目标气体温度之温度差ΔT(=T－To)检测未反应气体浓度。

公开(公告)号：CN1316044A

公开(公告)日：2001-10-03

申请号：CN00801268.7

申请日：2000-09-11

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 池田信一 ,  森本明弘 ,  皆见幸男 ,  本井傅晃央 ,  川田幸司 ,  米华克典 ,  平井畅 ,  山路道雄

IPC: F17D1/04 ,  F17D3/14

CPC classification number: B01D53/26 ,  F17D3/14

Abstract: 本发明实现了不用烘烤法、而通过常温排气处理即可有效地除去吸附水分的供气系统的水分去除法。本发明为一种使除水分气体在供气系统中流动而除去残留在供气系统内的水分的方法,其特征为,将除水分气体的流压设定成大于或等于其气流成为粘性流的最小压力,并且小于或等于除水分气体流通温度的饱和水蒸气压。此外,所述除水分气体成为粘性流的条件是通过气体分子的平均自由行程小于供气系统配管的直径来判定。如果在这样的条件下对除水分气体进行常温排气,则能够有效地除去在配管内面或阀及过滤器件内的吸附水分。