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公开(公告)号：CN1279416C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN02805589.6
申请日：2002-11-22
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制装置，其以Qc＝KP2m(P1-P2)n表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此Qc＝KP2m(P1-P2)n(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，可正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制装置，其经常将上游侧压力P1及下游侧压力P2所得压力比P2/P1＝r可与临界值rc比较，在临界条件(r≤rc)下以Qc＝KP1，在非临界条件(r＞rc)下以Qc＝KP2m(P1-P2)n运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。
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公开(公告)号：CN1236418A
公开(公告)日：1999-11-24
申请号：CN98801149.2
申请日：1998-08-13
CPC classification number: G01F1/40 , G05D7/0186
Abstract: 一种压力式流量控制装置中使用的节流孔,节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2,该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中,将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状;并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4,该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。
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公开(公告)号：CN100538573C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200480017296.2
申请日：2004-06-10
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
Abstract: 设计为从具有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地以规定的流量比Q1/Q2向容器内分流供给规定流量Q的处理气体。因此，在本发明中，在用于从具有流量控制装置(QCS)的气体供给设备(1)向容器供给规定流量Q的气体(G)的多条分支管线(GL1、GL2)上，分别设置开闭阀(OV1、OV2)，并使用在前述开闭阀(OV1)的下游侧从(GL1)分支的旁通管线(BL1)、在开闭阀(OV2)的下游侧从(GL2)分支的(BL2)、连接在旁通管线(BL1)和旁通管线(BL2)上的压力式分流控制器(FV)、测定分流供给管线(GL1)内的压力的压力传感器(PS1)、测定分流供给管线(GL2)内的压力的压力传感器(PS2)，通过分支供给管线(GL1、GL2)的末端固定的喷淋板(3、4)，以希望的分流流量Q1、Q2向容器(C)内分流供给总量Q＝Q1+Q2的气体。
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公开(公告)号：CN100504697C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200480002284.2
申请日：2004-01-16
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社 , 大见忠弘
IPC: G05D7/06
CPC classification number: H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明使得能够使用压力式流量控制装置，在3～300SCCM左右的流量范围内，对供给真空腔室等的HF气体等簇化流体高精度地进行流量控制。具体地说，使用压力式流量控制装置的簇化流体的流量控制方法是下述方法，即在节流孔上游侧的气体的压力P1与节流孔下游侧的气体的压力P2之比P2/P1保持在气体的临界压力比以下的状态下，在节流孔中流通的气体的流量Q按照Q＝KP1(其中，K为常数)进行运算，其中，将前述压力式流量控制装置加温到40℃以上，或者向簇化流体中添加稀释气体使之达到分压以下，从而使得缔合的分子离解，之后使得变成了单分子状态的簇化流体通过所述节流孔流通。
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公开(公告)号：CN1285896C
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN02808689.9
申请日：2002-11-22
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社 , 大见忠弘
CPC classification number: G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
Abstract: 一种压力传感器、压力控制装置及流量控制装置，可以自动地修正压力传感器的温度漂移，且即使温度变动，仍可正确地检测出压力。本发明的压力式流量控制装置的温度漂移修正装置是在压力式流量控制装置上使用，该压力式流量控制装置在节流装置(4)与控制阀(22)之间设有检测上游侧压力(P1)用的上游侧压力传感器(10)，在根据上游侧压力(P1)运算通过节流装置(4)的流量的同时，还通过控制阀(22)的开闭来控制通过节流装置(4)的流量，该压力式流量控制装置的温度漂移修正装置由测定流体温度的温度传感器(14)、存储流体温度(T)与上游侧压力传感器(10)的输出漂移的关系的存储机构(64)、以及温度漂移修正机构构成，其中，温度漂移修正机构是在流体温度(T)发生变化的情况下，根据存储机构(64)的数据运算上游侧压力传感器(10)的输出漂移量，根据该运算的输出漂移量消除上游侧压力传感器(10)的输出漂移，从而修正温度漂移。利用该结构，可自动地修正压力传感器的温度漂移，进行正确的流量控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1643289A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN03806671.8
申请日：2003-03-19
CPC classification number: F16L19/0218 , F16L19/0225 , F16L19/025
Abstract: 一种管接头，在合成树脂制第1接头构件(2)的端面上设有环状的凹部(7)，同时在合成树脂制第2接头构件(3)的端面上设有环状的凸部(8)，在嵌入了合成树脂制垫圈(4)的凹部(7)的开口部内嵌合凸部(8)。在管接头(1)的正确适当的拧紧状态下，第1接头构件(2)的凹部(7)内面和第2接头构件(3)的凸部(8)外面间夹着垫圈(4)几乎在全面上紧密接触，同时，第1接头构件(2)的端面的位于凹部径向内侧的部分(2d)和第2接头构件(3)的端面的位于凸部径向内侧的部分(3d)几乎在全面上紧密接触，第1接头构件(2)的端面的位于凹部径向外侧的部分(2e)和第2接头构件(3)的端面的位于凸部径向外侧的部分(3e)也几乎在全面上紧密接触。
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公开(公告)号：CN100419385C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200480018993.X
申请日：2004-06-18
CPC classification number: G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
Abstract: 本发明的课题在于使差压式流量计的构造简化而实现制造成本的降低，并且能够在100%～1%的较广的流量范围内实时地且以在线状态进行误差(E)为(1%SP)以下的高精度的流量计测。为此，在包括孔口测流计、孔口测流计上游侧的压力(P1)的检测器、孔口测流计下游侧的流体压力(P2)的检测器、孔口测流计上游侧的流体温度(T)的检测器、利用来自上述各检测器的检测压力(P1、P2)及检测温度(T)运算流过孔口测流计的流体流量(Q)的控制运算电路的差压式流量计中，根据见右下公式(其中，C1为比例常数，m和n为常数)来运算前述流体流量(Q)。
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公开(公告)号：CN1216322C
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：CN98801151.4
申请日：1998-08-13
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0647 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 一种压力式流量控制装置，包括节流孔；设置于节流孔上游侧的控制阀；设置于控制阀与节流孔之间的压力检测器；根据压力检测器的检测压力P1以Q＝KP1(其中K为常数)计算流体的流量Q并以流量指令信号Qs与上述计算出的流量信号Q二者之差作为控制信号Qy向上述控制阀的驱动部输出的控制装置。在将下游侧压力P2与节流孔的上游侧压力P1之比保持在被控制流体的临界压比以下的状态下，通过上述控制阀的开闭来调整节流孔上游侧的压力P1，对节流孔下游侧的流体流量Q进行控制的压力式流量控制装置，是以直接接触型金属隔膜阀作为上述节流孔，以阀座与膜片之间的环形间隙作为可变式的节流孔，并且可通过节流孔驱动装置调整上述间隙的大小。
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公开(公告)号：CN1503904A
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN02808689.9
申请日：2002-11-22
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社 , 大见忠弘
CPC classification number: G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
Abstract: 开发一种压力传感器、压力控制装置及流量控制装置，可以自动地修正压力传感器的温度漂移，且即使温度变动，仍可正确地检测出压力。本发明的压力式流量控制装置的温度漂移修正装置是在压力式流量控制装置上使用的温度漂移修正装置，该压力式流量控制装置在节流装置4与控制阀22之间设有检测上游侧压力P1用的上游侧压力传感器10，在根据上游侧压力P1运算通过节流装置4的流量的同时，还通过控制阀22的开闭来控制通过节流装置4的流量，该压力式流量控制装置的温度漂移修正装置由测定流体温度的温度传感器14、存储流体温度T与上游侧压力传感器10的输出漂移的关系的存储机构64、以及温度漂移修正机构构成，其中，温度漂移修正机构是在流体温度T发生变化的情况下，根据存储机构64的数据运算上游侧压力传感器10的输出漂移量，根据该运算输出漂移量消除上游侧压力传感器10的输出漂移，从而修正温度漂移。利用该结构，可自动地修正压力传感器的温度漂移，进行正确的流量控制。
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公开(公告)号：CN1494672A
公开(公告)日：2004-05-05
申请号：CN02805589.6
申请日：2002-11-22
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制装置，其以Qc＝KP2m(P1－P2)n表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此Qc＝KP2m(P1－P2)n(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，可正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制装置，其经常将上游侧压力P1及下游侧压力P2所得压力比P2/P1＝r与临界值rc比较，在临界条件(r≤rc)下以Qc＝KP1，在非临界条件(r＞rc)下以Qc＝KP2m(P1－P2)n运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。
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