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公开(公告)号：CN100390455C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN03806671.8
申请日：2003-03-19
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/0218 , F16L19/0225 , F16L19/025
Abstract: 一种管接头，在合成树脂制第1接头构件(2)的端面上设有环状的凹部(7)，同时在合成树脂制第2接头构件(3)的端面上设有环状的凸部(8)，在嵌入了合成树脂制垫圈(4)的凹部(7)的开口部内嵌合凸部(8)。在管接头(1)的正确适当的拧紧状态下，第1接头构件(2)的凹部(7)内面和第2接头构件(3)的凸部(8)外面间夹着垫圈(4)几乎在全面上紧密接触，同时，第1接头构件(2)的端面的位于凹部径向内侧的部分(2d)和第2接头构件(3)的端面的位于凸部径向内侧的部分(3d)几乎在全面上紧密接触，第1接头构件(2)的端面的位于凹部径向外侧的部分(2e)和第2接头构件(3)的端面的位于凸部径向外侧的部分(3e)也几乎在全面上紧密接触。
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公开(公告)号：CN1227572C
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN99800859.1
申请日：1999-05-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 一种具备压力式流量控制装置的气体供给设备更其在将节流孔的上游侧压力保持成为节流孔的下游侧压力的约2倍以上的状态下，一边进行气体的流量控制，一边通过节流孔对应阀向加工过程供给气体。该压力式流量控制装置包括：从气体供给源接受气体的控制阀，设置在控制阀下游侧的节流孔对应阀，设置于前述控制阀与节流孔对应阀之间的压力检测器，设置于节流孔对应阀的阀动机构部下游侧的节流孔，在根据前述压力检测器的检测压力P1将流量作为Qc＝KP1(式中K为常数)进行运算、同时将流量指令信号Qs与运算流量Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置。
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公开(公告)号：CN1272186A
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：CN99800859.1
申请日：1999-05-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 使半导体制造装置等所使用的具备压力式流量控制装置的气体供给设备更小型化而降低制造成本,同时改善过度流量特性,防止气体供给开始时的气体的过调节现象的发生,提高流量控制精度与设备可靠性,由此,减少半导体制品质量的不均一,同时提高半导体制品的制造效率。具体地讲,是在将节流孔的上游侧压力保持成为节流孔的下游侧压力的约2倍以上的状态下,一边进行气体的流量控制,一边通过节流孔对应阀向加工过程供给气体,在上述具备压力式流量控制装置的气体供给设备上,气体供给设备的构成包括:从气体供给源接受气体的控制阀,设置在控制阀下游侧的节流孔对应阀,设置于前述控制阀与节流孔对应阀之间的压力检测器,设置于节流孔对应阀的阀动机构部下游侧的节流孔,在根据前述压力检测器的检测压力P1将流量作为Qc=KP1(式中K为常数)进行运算、同时将流量指令信号Qs与运算流量Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置。
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公开(公告)号：CN100473760C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN00802778.1
申请日：2000-01-13
IPC: C23C30/00
CPC classification number: C23C8/02 , C23C26/00 , Y10T428/24322 , Y10T428/24355 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的目的是在任意金属材料上，形成不含其它金属氧化膜的、耐蚀性好的氧化铬膜。可低价地、在短时间内形成不含其它金属氧化膜的、耐蚀性好的氧化铬膜，可提供能安全地供给强腐蚀性流体的流体供给系统。在表面粗度(Ra)1.5μm以下的金属材料上，覆盖铬后，在氧化性环境中进行热处理，形成由氧化铬构成的非动态膜。
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公开(公告)号：CN1282848C
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN03178745.2
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 饭田精一 , 东京毅力科创株式会社
IPC: F17D3/00
Abstract: 一种压力式流量控制装置的流量异常检知方法，该装置由控制阀(CV)、节流孔(2)、检测控制阀(CV)与节流孔(2)之间的上游侧压力P1的压力检测器(14)、流量设定回路(32)构成，所述方法包括以下步骤：在将上游测压力P1保持为下游侧压力P2的约2倍以上的状态下，根据QC＝KP1(K为常数)计算下游侧流量QC，根据该计算流量QC与设定流量QS之差信号Qy对控制阀(CV)进行开闭控制的，由流量设定回路(32)向控制阀(CV)输出具有检定振幅V0的检定用信号ΔQS，测定应答该控制阀(CV)的开闭而产生的上游侧压力P1的脉动压力ΔP1的压力振幅V，当该压力振幅V小于极限振幅Vt时，报知节流孔堵塞。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1114847C
公开(公告)日：2003-07-16
申请号：CN99801434.6
申请日：1999-08-09
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
Abstract: 对于使用孔板的流量控制装置，可不必拆解配管而通过检测上游压力判断孔板是否堵塞，可使流量控制装置的寿命延长、安全性得到提高。具体地说就是，在上游压力P1保持为下游压力P2的约2倍以上、以QC＝KP1(K：常数)进行下游流量QC的计算、利用该计算流量QC与设定流量QS二者的差信号QY对控制阀CV的开闭进行控制的流量控制装置FCS中，其堵塞检测装置由：储存有孔板2无堵塞的条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL而测定的上游压力P1的基准压力衰减数据Y(t)的存储装置M，在孔板2的实际条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL以对上游压力P1的压力衰减数据P(t)进行测定的压力检测器14，对压力衰减数据P(t)与基准压力衰减数据Y(t)二者进行对比运算的中央运算处理装置CPU，以及当压力衰减数据P(t)偏离基准压力衰减数据Y(t)达到既定程度以上时报知堵塞的报警电路46等构成。
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公开(公告)号：CN1359454A
公开(公告)日：2002-07-17
申请号：CN00809795.X
申请日：2000-06-05
IPC: F16K47/08
Abstract: 提供一种节流孔内设阀,可用于具有半导体制造装置或化学品制造设备中所使用的压力式流量控制装置的供气设备中,不仅能够降低制造成本,而且能够提高节流孔的加工精度并在进行阀的组装时能够防止节流孔变形,从而能够获得优良的流量控制特性。为此,本发明中,由形成有与上开口的阀室连通的气体流入通路和气体流出通路的耐热材料制造的阀本体,设置在阀本体的阀室内的、形成有与所说阀本体的气体流出通路连通的气体流出通路及阀座的合成树脂制造的阀座体,可自由拆装地安装在阀座体的气体流出通路中的耐热材料制造的节流孔盘,以及形成于节流孔盘上的、使阀座体的气体流出通路缩径的节流孔构成节流孔内设阀的主要部分;预先在不锈钢制造的节流孔盘上形成节流孔,并且,将另行加工而形成了该节流孔的金属制造的节流孔盘和合成树脂制造的阀座体可自由拆装地加以组合,经由金属制造的节流孔盘推压合成树脂制造的阀座体使其压缩,从而将二者呈气密状态组装在阀本体上。
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公开(公告)号：CN1342217A
公开(公告)日：2002-03-27
申请号：CN00802778.1
申请日：2000-01-13
IPC: C23C30/00
CPC classification number: C23C8/02 , C23C26/00 , Y10T428/24322 , Y10T428/24355 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的目的是在任意金属材料上,形成不含其它金属氧化膜的、耐蚀性好的氧化铬膜。可低价地、在短时间内形成不含其它金属氧化膜的、耐蚀性好的氧化铬膜,可提供能安全地供给强腐蚀性流体的流体供给系统。在表面粗度(Ra)1.5μm以下的金属材料上,覆盖铬后,在氧化性环境中进行热处理,形成由氧化铬构成的非动态膜。
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公开(公告)号：CN1275218A
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN99801434.6
申请日：1999-08-09
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
Abstract: 对于使用孔板的流量控制装置,可不必拆解配管而通过检测上游压力判断孔板是否堵塞,可使流量控制装置的寿命延长、安全性得到提高。具体地说就是,在上游压力P1保持为下游压力P2的约2倍以上、以QC=KP1(K:常数)进行下游流量QC的计算、利用该计算流量QC与设定流量QS二者的差信号QY对控制阀CV的开闭进行控制的流量控制装置FCS中,其堵塞检测装置由:储存有孔板2无堵塞的条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL而测定的上游压力P1的基准压力衰减数据Y(t)的存储装置M,在孔板2的实际条件下从高设定流量QSH切换到低设定流量QSL以对上游压力P1的压力衰减数据P(t)进行测定的压力检测器14,对压力衰减数据P(t)与基准压力衰减数据Y(t)二者进行对比运算的中央运算处理装置CPU,以及当压力衰减数据P(t)偏离基准压力衰减数据Y(t)达到既定程度以上时报知堵塞的报警电路46等构成。
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公开(公告)号：CN1643289A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN03806671.8
申请日：2003-03-19
CPC classification number: F16L19/0218 , F16L19/0225 , F16L19/025
Abstract: 一种管接头，在合成树脂制第1接头构件(2)的端面上设有环状的凹部(7)，同时在合成树脂制第2接头构件(3)的端面上设有环状的凸部(8)，在嵌入了合成树脂制垫圈(4)的凹部(7)的开口部内嵌合凸部(8)。在管接头(1)的正确适当的拧紧状态下，第1接头构件(2)的凹部(7)内面和第2接头构件(3)的凸部(8)外面间夹着垫圈(4)几乎在全面上紧密接触，同时，第1接头构件(2)的端面的位于凹部径向内侧的部分(2d)和第2接头构件(3)的端面的位于凸部径向内侧的部分(3d)几乎在全面上紧密接触，第1接头构件(2)的端面的位于凹部径向外侧的部分(2e)和第2接头构件(3)的端面的位于凸部径向外侧的部分(3e)也几乎在全面上紧密接触。
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