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公开(公告)号：CN111258058B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202010069416.4
申请日：2020-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种柔性遥感卫星光学镜片，包括柔性衬底和设于柔性衬底的至少一个表面上的微纳结构超表面，所述微纳结构超表面为微纳结构单元的周期性阵列，不同的微纳结构单元具有相同的高度、相同的指向角度和不同的横截面尺寸，各微纳结构单元的横截面尺寸根据所需的电磁波通过各微纳结构单元后的相位累积以及电磁波通过微纳结构单元的相位累积与微纳结构单元的横截面尺寸的对应关系相应确定。本发明还提供该遥感卫星光学镜片的制作方法。本发明的遥感卫星光学镜片不仅能实现光学聚焦功能，还能折叠运输、使用时展开，以满足遥感卫星光学镜片的大口径和轻量化需求。
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公开(公告)号：CN111600195A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010383180.1
申请日：2020-05-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及半导体和光电集成技术领域，特别是涉及一种硅基单片集成激光器及其制备方法，包括：衬底层、埋氧化层、硅波导器件、上覆层和三维波导器件；所述埋氧化层上设有图形化的限向结构；所述限向结构内设有激光器结构；所述硅波导器件设置在所述埋氧化层上；所述埋氧化层、所述激光器结构和所述硅波导器件远离所述衬底层的表面形成第一表面，所述上覆层设置在所述第一表面上；所述三维波导器件设置在所述上覆层上。通过在激光器结构有源区上方引入三维波导结构，实现激光器结构有源区和硅波导之间高质量的光学连接。
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公开(公告)号：CN106145021B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201510137590.7
申请日：2015-03-26
Applicant: 中科院南通光电工程中心 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光学微纳谐振腔结构及其制作方法，所述光学微纳谐振腔结构包括两个对工作电磁波具有全反射功能的单排粒子链，所述单排粒子链由多个间隔排列的粒子组成，所述两个单排粒子链之间的间隔距离使得所述光学微纳谐振腔结构的共振波长为工作电磁波的波长。本发明利用了单排粒子链对于特定偏振光的全反射特性，通过优化单排粒子链的结构以及两个单排粒子链之间的距离，获得了一种新型的高品质因子光学微纳谐振腔。本发明利用两个单排粒子链的全反射所设计的谐振腔，具有低损耗、高品质因子和小尺寸的特点，在集成光学领域具有很好的应用前景。
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公开(公告)号：CN103558419B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310574080.7
申请日：2013-11-15
Applicant: 江苏尚飞光电科技有限公司 , 中科院南通光电工程中心 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01Q60/18
Abstract: 本发明提供一种扫描近场光学检测台，包括：本体（22）；所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面；所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间；收容于所述收容空间内用于放置工件（17）的矩形工作台（18）；所述矩形工作台包括底面以及相互垂直相邻的四个侧面；所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元（21）；所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元（11）；所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。本发明支柱伸长量可调、可测，因此工作台的位移精度较高且控制较为简单；工作台运动的有效行程较大。
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公开(公告)号：CN102928623B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210418322.9
申请日：2012-10-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明涉及一种避免寄生电容结构的微加速度传感器，包括上电极盖板、下电极盖板和质量块，所述上电极盖板和下电极盖板分别位于质量块的上端和下端，所述质量块的上表面具有上电容间隙，下表面具有下电容间隙；所述上电极盖板的下表面和下电极盖板的上表面均设有用于实现上电极焊盘、中间电极焊盘和下电极焊盘之间绝缘的隔离槽。本发明易于制作，工作性能稳定，用途广泛。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103558419A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310574080.7
申请日：2013-11-15
Applicant: 江苏尚飞光电科技有限公司 , 中科院南通光电工程中心 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01Q60/18
Abstract: 本发明提供一种扫描近场光学检测台，包括：本体（22）；所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面；所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间；收容于所述收容空间内用于放置工件（17）的矩形工作台（18）；所述矩形工作台包括底面以及相互垂直相邻的四个侧面；所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元（21）；所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元（11）；所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。本发明支柱伸长量可调、可测，因此工作台的位移精度较高且控制较为简单；工作台运动的有效行程较大。
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公开(公告)号：CN103095626A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201110333939.6
申请日：2011-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H04L27/26
Abstract: 本发明提供一种调制解调工作模式的切换方法，主要是于射频接收段在上行信道中，通过对接收到的每一帧数据信息的能量进行检测，并将此能量值跟一个预设的门限值进行比较，从而确定是否需要发送调制解调工作模式的切换指令给基带发射段的调制器和基带接收段的解调器，一旦该调制器和解调器接收到切换指令，则自动切换成所确定的工作模式，否则维持现有的工作模式不变。如此，以实现在不同的信道情况下选择最为合适的调制解调工作模式，在保证容错性的同时进一步提高频谱的利用率。
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公开(公告)号：CN102798764A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201110139419.1
申请日：2011-05-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R27/26
Abstract: 本发明提供一种利用电磁倏逝波的相位变化测量介质损耗的方法，其包括步骤：1）在预先给定频率的电磁波内确定待测介质折射率的实部，并把该待测介质定义为光疏介质；2）寻找一个折射率已知并且折射率实部大于待测介质的折射率实部的光密介质，并把光密介质和待测介质构成全反射系统；3）用预先给定频率的电磁波从光密介质向待测介质入射，并调节入射角度，使电磁波在光密介质和待测介质的界面处发生全反射，并在待测介质内部产生倏逝波；4）在待测介质中选择一个测量点，测量倏逝波相位的变化；并根据倏逝波相位的变化来计算待测介质折射率的虚部。该测量方法不仅能无损反复进行，还可实现超高精度的测量。
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公开(公告)号：CN101858929B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201010181131.6
申请日：2010-05-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , B81B5/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构以及上、下盖板组成。与框架梁相连接的每根直弹性梁的另一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角，与框架梁相连接的每根L梁的另一端连接在外部支撑框架内侧面。本加速度传感器采用对称直梁、框架梁、L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构，具有高度对称性，可以显著减小传感器的交叉灵敏度，传感器采用微电子机械系统技术制作，是一种高灵敏度的电容式微加速度传感器。
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公开(公告)号：CN102569968A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210009080.8
申请日：2012-01-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种电磁波束控制的方法，包括以下步骤：根据所需控制电磁波的工作频率，确定磁场的大小以及相应的旋磁媒质；根据电磁波要分束的数目和/或偏转方向确定磁畴的几何特征；根据所述磁畴的几何特征，通过磁场控制，在旋磁媒质中构造出磁畴，并控制电磁波模式的单向性传播方向。本发明还涉及一种电磁波束控制的方法制作的波束偏转器、波束分束器和分束器-偏转器转化开关。本发明对电磁波束的控制具有低损耗、抗无序、宽频、高效的特点，能广泛应用于全光控制芯片、光互联等领域。
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