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公开(公告)号：CN112752978B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN201980062850.5
申请日：2019-03-26
申请人： 爱德万测试株式会社
摘要： 为了解析对受测器件进行测量而得的复数个测量值，并有效地利用解析得到的信息，提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得复数个测量值，所述复数个测量值是经由治具对受测器件进行测量而得的；解析部，其解析复数个测量值并算出变动数据，所述变动数据表示与治具接触受测器件的接触次数对应的测量值的变动；以及，管理部，其基于变动数据来管理治具的状态。
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公开(公告)号：CN112752977B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN201980062668.X
申请日：2019-03-26
申请人： 爱德万测试株式会社
摘要： 提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得对受测器件进行测量而得的复数个测量值；机器学习部，其使用复数个测量值，通过机器学习来学习位置依存成分的模型，所述位置依存成分依存于对受测器件进行测量的位置；以及，解析部，其从复数个测量值将位置依存成分分离出来，且所述位置依存成分是使用已通过机器学习部学习到的模型来算出的。另外，提供一种解析方法。另外，提供一种解析程序。
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公开(公告)号：CN116429380A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310472588.X
申请日：2020-04-14
申请人： 爱德万测试株式会社
摘要： 本发明所要解决的问题在于：利用以下方法无法一并检查复数个LED的光学特性，所述方法是使成为检查对象的一对LED中的一个发光，并以另一个受光，使用通过光电效应所输出的电流的电流值，来检查LED的光学特性。为了解决上述问题，本发明提出一种试验装置，具备：电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；光源部，其一并对复数个LED照射光；测定部，其测定光电信号，所述光电信号是复数个LED分别对被光源部照射的光进行光电转换，并经由电性连接部输出；及，判定部，其基于测定部的测定结果来判定复数个LED各自的良否。
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公开(公告)号：CN115333981A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210389822.8
申请日：2022-04-14
申请人： 爱德万测试株式会社
发明人： 一山清隆
IPC分类号： H04L43/087 , G06F1/06
摘要： 本发明的测定装置具备：时钟产生部，产生采样时钟，该采样时钟具有比包含预定符号数量的符号的被测定码型的符号周期长的采样周期；采样部，根据采样时钟来对重复输入的被测定码型进行采样；以及测定部，根据重复输入的被测定码型的作为抖动测量对象的符号跳变所对应的时间点的采样时钟，来测定采样部的采样结果。
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公开(公告)号：CN109676132A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201810893355.6
申请日：2018-08-07
申请人： 爱德万测试株式会社
CPC分类号： B23K15/0086 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B22F2003/1057 , B22F2999/00 , B23K15/0013 , B23K15/002 , B23K15/0026 , B23K15/02 , B28B1/001 , B28B17/0081 , B29C64/153 , B29C64/268 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/00 , B33Y50/02 , B22F2203/03
摘要： 本发明提供一种一面由装置本身决定用来将粉末层确实地熔融结合的照射条件，一面进行电子束(EB)照射的三维积层造形装置及积层造形方法。本发明所提供的三维积层造形装置(100)具有：柱部(200)，输出电子束(EB)，使电子束(EB)朝粉末层(32)的表面内方向偏向；绝缘部，使三维构造物(36)与接地部件电绝缘；电流计(73)，测定经由三维构造物(36)流向接地部件的电流值；熔融判断部(410)，基于电流计(73)所测定的电流值来检测粉末层(32)的熔融，产生熔融信号；以及偏向控制部(420)，接收熔融信号，决定电子束的照射条件。
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公开(公告)号：CN106556975B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610609096.0
申请日：2016-07-29
申请人： 爱德万测试株式会社
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/7055 , G03F7/2059 , H01J37/045 , H01J37/3177 , H01J2237/304
摘要： 本发明使用多根带电粒子束，减小每根粒子束的照射时机的误差从而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置，其在样品上曝光图案，包括：多个消隐电极，与多根带电粒子束对应设置，根据输入电压而分别切换是否对样品照射对应的带电粒子束；照射控制部，输出用来切换对多个消隐电极分别提供的消隐电压的切换信号；及测量部，针对多个消隐电极分别测量从切换信号的变化到消隐电压的变化为止的延迟量。
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公开(公告)号：CN104950243B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201410495945.5
申请日：2014-09-24
申请人： 爱德万测试株式会社
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/28 , G01R1/04 , G01R1/0433 , G01R31/2887 , G01R31/2891 , G01R31/2893
摘要： 本发明提供一种执行器、分选装置及测试装置，实现小型执行器，其中的执行器包括：固定部；设置于固定部上，在同一方向上具有轴的第一至三旋转轴；第一至三旋转部，对应于第一至三旋转轴设置，设置于从对应的旋转轴的中心偏移的位置，随着对应的旋转轴的旋转而旋转；可动部，具有：在预定的可动面内的第一方向上与第一旋转部及第三旋转部相对向的第一侧壁及第三侧壁、以及在与第一方向不同的第二方向上与第二旋转部相对向的第二侧壁，随着第一至三旋转部的旋转在可动面内相对于固定部移动，调整被测器件的位置；以及施力部，相对于固定部对可动部朝第一方向及第二方向的至少一个方向施力，使第一至三旋转部中的至少一个抵接于对应的侧壁上。
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公开(公告)号：CN104950245B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201410497125.X
申请日：2014-09-25
申请人： 爱德万测试株式会社
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2891 , G01C11/00 , G01R1/0441 , G01R31/2893
摘要： 本发明提供一种分选装置及测试装置，其中的分选装置是将被测器件运送到测试用插座分选装置，其中包括：调整用插座，在将保持被测器件的器件保持器嵌合到测试用插座之前，与器件保持器嵌合；调整用插座位置检测部，检测在调整用插座与器件保持器相嵌合的状态中被测器件相对于调整用插座的相对位置；执行器，基于检测到的被测器件的相对位置，调整器件保持器上的被测器件的位置；运送部，运送被测器件的位置被调整后的器件保持器并使其与测试用插座相嵌合。使被测器件与测试用插座准确电连接。
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公开(公告)号：CN104941927B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201410495997.2
申请日：2014-09-24
申请人： 爱德万测试株式会社
CPC分类号： G01R31/2891 , G01C11/00 , G01R1/0441 , G01R31/2893
摘要： 本发明提供一种分选装置、分选装置的调整方法及测试装置，其中的分选装置是将被测器件运送到测试用插座分选装置，其中包括：执行器，在将保持被测器件的器件保持器嵌合于测试用插座之前与器件保持器相嵌合，调整器件保持器上的被测器件的位置；以及执行器调整部，将执行器嵌合于执行器嵌合单元，调整执行器的驱动量。调整执行器的位置从而提高被测器件的位置精度。
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公开(公告)号：CN103513129B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201310146384.3
申请日：2013-04-24
申请人： 爱德万测试株式会社
发明人： 加藤隆志
IPC分类号： G01R31/00
CPC分类号： G01R1/206 , G01R31/31932
摘要： 本发明涉及一种测试装置，接收高速模式及低速模式的信号，用于测试被测试器件。其具有低速比较仪，能够比上述低速比较仪更高速动作的高速比较仪，和根据上述被测试器件输出的信号转换用上述低速比较仪和上述高速比较仪中的哪个测量上述被测试器件输出的被测量信号的转换部。该测试装置，还可以具有与高速比较仪并列设置的终端电阻器。
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