发明授权
- 专利标题： 解析装置、解析方法及解析程序
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申请号： CN201980062850.5申请日： 2019-03-26
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公开(公告)号： CN112752978B公开(公告)日： 2024-08-06
- 发明人: 酒井裕二 , 杉村一
- 申请人： 爱德万测试株式会社
- 申请人地址： 日本东京千代田区丸之内1-6-2
- 专利权人： 爱德万测试株式会社
- 当前专利权人： 爱德万测试株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京千代田区丸之内1-6-2
- 代理机构： 深圳新创友知识产权代理有限公司
- 代理商 江耀锋
- 国际申请： PCT/JP2019/013037 2019.03.26
- 国际公布： WO2020/075326 JA 2020.04.16
- 进入国家日期： 2021-03-24
- 主分类号： G01R31/28
- IPC分类号： G01R31/28 ; G01R1/073 ; G01R31/26 ; H01L21/66 ; G06N20/00
摘要：
为了解析对受测器件进行测量而得的复数个测量值，并有效地利用解析得到的信息，提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得复数个测量值，所述复数个测量值是经由治具对受测器件进行测量而得的；解析部，其解析复数个测量值并算出变动数据，所述变动数据表示与治具接触受测器件的接触次数对应的测量值的变动；以及，管理部，其基于变动数据来管理治具的状态。
公开/授权文献
- CN112752978A 解析装置、解析方法及解析程序 公开/授权日：2021-05-04
