公开(公告)号：CN106098519A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610096405.9

申请日：2016-02-22

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山田章夫 ,  濑山雅裕 ,  那须野秀树

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3045 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2025 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31766 ,  H01J2237/31774 ,  H01J37/3174

Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。

公开(公告)号：CN106556975B

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201610609096.0

申请日：2016-07-29

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 小岛昭二 ,  山田章夫 ,  濑山雅裕

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/7055 ,  G03F7/2059 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/304

Abstract: 本发明使用多根带电粒子束，减小每根粒子束的照射时机的误差从而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置，其在样品上曝光图案，包括：多个消隐电极，与多根带电粒子束对应设置，根据输入电压而分别切换是否对样品照射对应的带电粒子束；照射控制部，输出用来切换对多个消隐电极分别提供的消隐电压的切换信号；及测量部，针对多个消隐电极分别测量从切换信号的变化到消隐电压的变化为止的延迟量。

公开(公告)号：CN106556975A

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201610609096.0

申请日：2016-07-29

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 小岛昭二 ,  山田章夫 ,  濑山雅裕

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/7055 ,  G03F7/2059 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/304

Abstract: 本发明使用多根带电粒子束，减小每根粒子束的照射时机的误差从而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置，其在样品上曝光图案，包括：多个消隐电极，与多根带电粒子束对应设置，根据输入电压而分别切换是否对样品照射对应的带电粒子束；照射控制部，输出用来切换对多个消隐电极分别提供的消隐电压的切换信号；及测量部，针对多个消隐电极分别测量从切换信号的变化到消隐电压的变化为止的延迟量。

公开(公告)号：CN106098519B

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201610096405.9

申请日：2016-02-22

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山田章夫 ,  濑山雅裕 ,  那须野秀树

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3045 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2025 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31766 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。

公开(公告)号：CN105739246A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201510673307.2

申请日：2015-10-16

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山田章夫 ,  菅谷慎二 ,  黑川正树 ,  濑山雅裕

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明组合光曝光技术及带电粒子束曝光技术而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置对与试样上的线图对应的位置照射带电粒子束，且具备：射束产生部，在线图的宽度方向上产生照射位置不同的多个带电粒子束；扫描控制部，使多个带电粒子束的照射位置沿着线图的长度方向扫描；选择部，在线图上的长度方向的被指定的照射位置选择多个带电粒子束中的至少一个带电粒子束，使其应照射至所述试样；以及照射控制部，控制将所选择的至少一个带电粒子束照射至试样。