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公开(公告)号：CN104823106B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201380059123.6
申请日：2013-10-02
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07C65/40 , G03F7/16 , G03F7/11 , G03F7/40 , G03F7/004 , C07C63/26 , G03F7/075 , G03F7/09 , C07C65/32 , G03F7/26 , C07C63/15 , C07C65/34 , G03F1/00 , G03F7/30 , G03F7/36
Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、一种含有单体的硬掩膜组合物、以及一种使用硬掩膜组合物的图案形成方法。在上述的化学式1中，A、A′、L、L′、X以及n与说明书中所定义的相同。所述用于硬掩膜组合物的单体具有优良的抗化学性以及抗蚀刻性，不会产生逸出气体。
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公开(公告)号：CN104250228A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410163675.8
申请日：2014-04-22
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07D215/14 , C07D311/58 , C07D409/14 , C07D405/10 , C07D333/16 , C07C37/00 , C07C39/17 , C07C39/225 , C07C29/143 , C07C35/21 , C07C213/02 , C07C217/58 , C07C253/30 , C07C255/53 , C07C17/16 , C07C22/04 , C07C319/12 , C07C323/19 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/40 , C07C22/04 , C07C39/12 , C07C39/225 , C07C217/58 , C07C255/53 , C07C323/19 , C07C2601/14 , C07C2603/50 , C07C2603/52 , C07C2603/54 , C07D215/14 , C07D311/58 , C07D333/16 , C07D333/50 , G03F7/09 , G03F7/094 , C07C35/21 , C07C39/17 , C07D405/10 , C07D409/14 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中，A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]
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公开(公告)号：CN104024940A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201280065648.6
申请日：2012-11-29
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11 , G03F1/38 , G03F7/004 , G03F7/26 , H01L21/027
CPC classification number: C07C39/21 , C07C39/225 , C08G65/38 , G03F1/00 , G03F7/094 , G03F7/20 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0332 , H01L21/31144
Abstract: 本发明涉及一种由式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。
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公开(公告)号：CN102566282B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201110306768.8
申请日：2011-10-11
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/09 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/31144 , G03F7/094 , H01L21/02112 , H01L21/0332
Abstract: 本发明提供硬掩模组合物，所述硬掩模组合物包括一种化合物和溶剂，所述化合物包括用以下化学式1表示的结构单元，在化学式1中，A、L、B、R1、R2、n1和n2中的每一个与在具体实施方式中所定义的相同。并且，本发明提供了利用所述硬掩模组合物形成图案的方法，以及包括通过所述图案形成方法形成的多个图案的半导体集成电路器件。所述硬掩模组合物具有高的蚀刻选择性和改进的光学特性，同时保证对多重蚀刻的抗蚀性。[化学式1]
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公开(公告)号：CN104250228B
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201410163675.8
申请日：2014-04-22
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07D215/14 , C07D311/58 , C07D409/14 , C07D405/10 , C07D333/16 , C07C37/00 , C07C39/17 , C07C39/225 , C07C29/143 , C07C35/21 , C07C213/02 , C07C217/58 , C07C253/30 , C07C255/53 , C07C17/16 , C07C22/04 , C07C319/12 , C07C323/19 , H01L21/027
Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中，A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103959170B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201280059402.8
申请日：2012-11-21
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: C07C39/14 , B05D1/005 , B05D3/007 , B05D3/0254 , B05D3/06 , C07C39/12 , C07C2603/50 , C07C2603/54 , C09D173/00 , G03F7/004 , G03F7/0752 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/30 , G03F7/36
Abstract: 本发明涉及一种由化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包括该单体的硬掩模组合物、以及使用其的图案形成方法。
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公开(公告)号：CN103959170A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201280059402.8
申请日：2012-11-21
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: C07C39/14 , B05D1/005 , B05D3/007 , B05D3/0254 , B05D3/06 , C07C39/12 , C07C2603/50 , C07C2603/54 , C09D173/00 , G03F7/004 , G03F7/0752 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/30 , G03F7/36
Abstract: 本发明涉及一种由化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包括该单体的硬掩模组合物、以及使用其的图案形成方法。
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公开(公告)号：CN103903962A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201310430739.1
申请日：2013-09-18
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/311
CPC classification number: H01L23/564 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0271 , H01L21/0332 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种硬掩模组合物和形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路器件。该硬掩模组合物，其包含：（A）由以下化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体，（B）含芳环的聚合物，以及（C）溶剂。在以下化学式1中，A、A′、A″、L、L′、x、y、和z均与说明书中限定的相同。[化学式1]。
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公开(公告)号：CN104024940B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201280065648.6
申请日：2012-11-29
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11 , G03F1/38 , G03F7/004 , G03F7/26 , H01L21/027
CPC classification number: C07C39/21 , C07C39/225 , C08G65/38 , G03F1/00 , G03F7/094 , G03F7/20 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0332 , H01L21/31144
Abstract: 本发明涉及一种由式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。
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公开(公告)号：CN104812729B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201380059507.8
申请日：2013-06-04
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: C07C39/14 , C07C33/26 , C07C39/12 , C07C43/23 , C07C2603/50 , C07C2603/52 , C07C2603/54 , C09D173/00 , G03F7/0752 , G03F7/09 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/40 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0274 , H01L21/31144
Abstract: 本发明涉及硬屏蔽组成物用单体、包含此单体的硬屏蔽组成物及使用此硬屏蔽组成物形成图案的方法。该硬屏蔽组成物用单体以下列化学式1表示，其耐热性及耐蚀刻性与对溶剂的可溶性、间隙填充特征及平坦化特征可被确保。[化学式1]于化学式1，A1至A3、X1至X3、L1、L2、n及m是与说明书中所述的相同。
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