公开(公告)号：CN104253024B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201410063061.2

申请日：2014-02-24

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 崔有廷 ,  金润俊 ,  金古恩 ,  金永珉 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  朴曜徹 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  宋炫知 ,  辛乘旭 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  洪承希

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  C08G61/02

CPC classification number: G03F7/094 ,  G03F7/09 ,  G03F7/091 ,  G03F7/11 ,  G03F7/162 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明公开了硬掩模组合物、使用其形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路装置，其中该硬掩模组合物包括由以下化学式1表示的单体、包含由以下化学式2表示的部分的聚合物、包含由以下化学式3表示的部分的聚合物、或者它们的组合，以及溶剂。在以下化学式1至3中，A、A′、A″、L、L′、X、X′、m、n、Ar、B、Xa以及Xb与具体实施方式中限定的相同。[化学式1][化学式2][化学式3]

公开(公告)号：CN104253024A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410063061.2

申请日：2014-02-24

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 崔有廷 ,  金润俊 ,  金古恩 ,  金永珉 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  朴曜徹 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  宋炫知 ,  辛乘旭 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  洪承希

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  C08G61/02

CPC classification number: G03F7/094 ,  G03F7/09 ,  G03F7/091 ,  G03F7/11 ,  G03F7/162 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36 ,  G03F7/40 ,  G03F7/092 ,  C08G61/02 ,  C08G2261/314 ,  G03F7/00 ,  H01L21/0271

Abstract: 本发明公开了硬掩模组合物、使用其形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路装置，其中该硬掩模组合物包括由以下化学式1表示的单体、包含由以下化学式2表示的部分的聚合物、包含由以下化学式3表示的部分的聚合物、或者它们的组合，以及溶剂。在以下化学式1至3中，A、A′、A″、L、L′、X、X′、m、n、Ar、B、Xa以及Xb与具体实施方式中限定的相同。[化学式1][化学式2][化学式3]

公开(公告)号：CN103903962B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201310430739.1

申请日：2013-09-18

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 崔有廷 ,  金润俊 ,  文俊怜 ,  李范珍 ,  李忠宪 ,  赵娟振

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311

CPC classification number: H01L23/564 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/0332 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明公开了一种硬掩模组合物和形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路器件。该硬掩模组合物，其包含：（A）由以下化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体，（B）含芳环的聚合物，以及（C）溶剂。在以下化学式1中，A、A′、A″、L、L′、x、y、和z均与说明书中限定的相同。[化学式1]

公开(公告)号：CN104823106A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201380059123.6

申请日：2013-10-02

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 辛乘旭 ,  金润俊 ,  金惠廷 ,  赵娟振 ,  崔有廷

IPC: G03F1/00 ,  C07C63/15 ,  G03F7/26 ,  C07C15/40

Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、一种含有单体的硬掩膜组合物、以及一种使用硬掩膜组合物的图案形成方法。在上述的化学式1中，A、A′、L、L′、X以及n与说明书中所定义的相同。

公开(公告)号：CN104812729A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201380059507.8

申请日：2013-06-04

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 金润俊 ,  权孝英 ,  金惠廷 ,  李忠宪 ,  赵娟振 ,  崔有廷

IPC: C07C39/12 ,  C07C39/04 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07C39/14 ,  C07C33/26 ,  C07C39/12 ,  C07C43/23 ,  C07C2603/50 ,  C07C2603/52 ,  C07C2603/54 ,  C09D173/00 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/09 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/31144

Abstract: 本发明涉及硬屏蔽组成物用的以化学式1表示的单体、包含此单体的硬屏蔽组成物及使用此硬屏蔽组成物形成图案的方法。于化学式1，A1至A3、X1至X3、L1、L2、n及m是与说明书中所述的相同。

公开(公告)号：CN104024940B

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201280065648.6

申请日：2012-11-29

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 金润俊 ,  田桓承 ,  赵娟振 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  权孝英 ,  崔有廷

IPC: G03F7/11 ,  G03F1/38 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C39/21 ,  C07C39/225 ,  C08G65/38 ,  G03F1/00 ,  G03F7/094 ,  G03F7/20 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/31144

Abstract: 本发明涉及一种由式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。

公开(公告)号：CN104812729B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201380059507.8

申请日：2013-06-04

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 金润俊 ,  权孝英 ,  金惠廷 ,  李忠宪 ,  赵娟振 ,  崔有廷

IPC: C07C39/12 ,  C07C39/04 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07C39/14 ,  C07C33/26 ,  C07C39/12 ,  C07C43/23 ,  C07C2603/50 ,  C07C2603/52 ,  C07C2603/54 ,  C09D173/00 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/09 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/31144

Abstract: 本发明涉及硬屏蔽组成物用单体、包含此单体的硬屏蔽组成物及使用此硬屏蔽组成物形成图案的方法。该硬屏蔽组成物用单体以下列化学式1表示，其耐热性及耐蚀刻性与对溶剂的可溶性、间隙填充特征及平坦化特征可被确保。[化学式1]于化学式1，A1至A3、X1至X3、L1、L2、n及m是与说明书中所述的相同。

公开(公告)号：CN103910610B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201310535509.1

申请日：2013-11-01

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李范珍 ,  金润俊 ,  赵娟振

IPC: C07C39/12 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/26 ,  C07C33/36 ,  G03F7/094

Abstract: 本发明披露了一种硬掩模组合物的单体、硬掩模组合物及形成图案的方法。具体地，本发明披露了由以下化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及利用硬掩模组合物来形成图案的方法。在化学式1中，A1至A4、X1至X3、M和n与在具体实施方式中描述的相同，[化学式1]

公开(公告)号：CN104250228B

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：CN201410163675.8

申请日：2014-04-22

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 宋炫知 ,  金润俊 ,  金古恩 ,  金永珉 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  朴曜徹 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  辛乘旭 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  崔有廷 ,  洪承希

IPC: C07D215/14 ,  C07D311/58 ,  C07D409/14 ,  C07D405/10 ,  C07D333/16 ,  C07C37/00 ,  C07C39/17 ,  C07C39/225 ,  C07C29/143 ,  C07C35/21 ,  C07C213/02 ,  C07C217/58 ,  C07C253/30 ,  C07C255/53 ,  C07C17/16 ,  C07C22/04 ,  C07C319/12 ,  C07C323/19 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中，A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]

公开(公告)号：CN103959170B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201280059402.8

申请日：2012-11-21

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 崔有廷 ,  权孝英 ,  赵娟振 ,  金润俊 ,  金永珉 ,  尹龙云 ,  李忠宪

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26 ,  C07C35/44

CPC classification number: C07C39/14 ,  B05D1/005 ,  B05D3/007 ,  B05D3/0254 ,  B05D3/06 ,  C07C39/12 ,  C07C2603/50 ,  C07C2603/54 ,  C09D173/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36

Abstract: 本发明涉及一种由化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包括该单体的硬掩模组合物、以及使用其的图案形成方法。