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公开(公告)号：CN115144614B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210313136.2
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43)，以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中，并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔，并且电连接到导电层。
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公开(公告)号：CN119064635A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202410535316.4
申请日：2024-04-30
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , G01C21/16 , G01C1/00
Abstract: 惯性传感器(1)具备：谐振器(2)，具有第一驱动模式和第二驱动模式；安装基板(3)，具有包围谐振器(2)的多个电极部(53)；以及致动器(6)，使谐振器(2)振动。将与安装基板(3)所成的平面正交的方向设为z方向，致动器(6)通过在z方向上振动，使谐振器(2)在z方向上振动而产生谐振模式。
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公开(公告)号：CN112088483B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201980030650.1
申请日：2019-06-06
Applicant: 株式会社电装
IPC: H02N11/00 , B06B1/04 , B81B3/00 , G01C19/5747 , H01L29/84
Abstract: 静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。并且，静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。
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公开(公告)号：CN116730274A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310202688.0
申请日：2023-03-06
IPC: B81B7/00 , B81B3/00 , B81C99/00 , G01C19/5691
Abstract: 在安装结构中，微振动器(2)具有：带半球形曲面的曲面部分(21)；连接部分(22)，所述连接部分(22)从所述曲面部分朝向所述曲面部分的半球形中心延伸；表面电极(23)，其覆盖连接部分的至少一部分和曲面部分的至少一部分。安装基板(3)具有两个或更多个布线(42)，并且微振动器的一部分连接到安装基板。布线各自具有电极连接部分(421)，电极连接部分(421)连接到表面电极在端部覆盖连接部分的一部分。两个或更多个布线包括用于向表面电极施加电压的电压施加布线(42A)和用于检测施加到表面电极的电压的电压检测布线(42B)。电压施加布线在安装基板上远离电压检测布线间隔开。
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公开(公告)号：CN115144613B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210313131.X
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法，所述惯性传感器包括微振动体，所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面，所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211)，所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c)，其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116457631A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202180074517.3
申请日：2021-10-14
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5783
Abstract: 多轴惯性力传感器包括安装件(101、159、172)、多个模块(102、103、129、130)及多个传感器(104、105、131、132)。各模块具有相对地确定与接触对象之间的位置的定位部(127)。各模块通过组装成基于定位部相互确定了相对位置的状态及各倾斜面(107、112、133、138)分别朝向不同的方向的状态来构成基座(128)。各传感器通过分别配置在基座的各倾斜面上而使主轴分别朝向不同的方向，且分别检测与主轴对应的惯性力的向量分量。
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公开(公告)号：CN114599936A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080074706.6
申请日：2020-10-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5755 , G01C19/5726 , G01C19/574 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b)，并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且，控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动，获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs)，使第一谐振频率(fd)维持在一定的值，并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。
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公开(公告)号：CN116368352A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180074518.8
申请日：2021-10-14
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5783
Abstract: 在组装成基座(128)之前对分别配置于多个模块(102、103、129、130)上的多个传感器(104、105、131、132)各自的灵敏度进行检查。在检查工序中，准备分别配置有多个传感器的多个模块。通过将多个模块向主轴用托架(212)的多个主轴用槽部(224)嵌入且使多个模块与多个主轴用槽部的主轴用定位面接触，由此将主轴用托架的厚度方向与传感器的主轴平行地配置。通过在转台(231)上设置主轴用托架，由此将转台的旋转中心轴与主轴用托架的厚度方向平行地配置，且将转台的旋转中心轴与多个传感器的主轴平行地配置。通过使转台转动或摆动来对多个传感器的主轴的灵敏度进行检查。
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公开(公告)号：CN115144613A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210313131.X
申请日：2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本申请涉及一种惯性传感器及其制造方法，所述惯性传感器包括微振动体，所述微振动体(2)包括具有环形曲面的曲面部(21)和从曲面部凹入的凹部(22)。安装基板(3)包括内框架部(51)和环绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)设置在所述安装基板的被内框架部环绕的内部区域中。微振动体的凹部具有底面，所述底面限定位于所述内部区域中的被安装表面(22b)并通过接合构件接合于安装基板。曲面部具有边沿(211)，所述边沿包括曲面部的与所述凹部相反的一侧上的端部。所述边沿具有边沿下表面(211c)，其位于与被安装表面或被安装表面的梢端部(28)相同的平面上。
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公开(公告)号：CN114599936B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202080074706.6
申请日：2020-10-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5755 , G01C19/5726 , G01C19/574 , B81B3/00 , H01L29/84
Abstract: 在可动部(20)具备可动部用检测激励电极(251a、251b)，并且具备固定部用检测激励电极(551a、551b)、使驱动弹簧(43a、43b)的弹簧常数变化的驱动弹簧调整部(211a、211b、511a、511b)和使检测弹簧(42a、42b)的弹簧常数变化的检测弹簧调整部(241a、241b、541a、541b)。而且，控制部使可动部(20)沿第一方向振动同时也沿第二方向振动，获取可动部(20)在沿着第一方向的方向上的第一谐振频率(fd)及在沿着第二方向的方向上的第二谐振频率(fs)，使第一谐振频率(fd)维持在一定的值，并且使第二谐振频率(fs)维持在一定的值。
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