-
公开(公告)号：CN107576322A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710665108.6
申请日：2013-01-14
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5726 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5733 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0811 , G01P2015/082 , G01P2015/0848
Abstract: 除了其他情况之外，本发明讨论了用于包括分开z轴部分的微电子机械系统(MEMS)质量块。示例性质量块可包括中心部分，其被配置为将所述质量块锚定于相邻层；第一z轴部分，其被配置为使用第一铰链围绕第一轴旋转，所述第一轴平行于与z轴正交的x-y平面；第二z轴部分，其被配置为使用第二铰链围绕第二轴旋转，所述第二轴平行于所述x-y平面，其中所述第一z轴部分被配置为独立于所述第二z轴部分旋转。
-
公开(公告)号：CN103221778A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201180055845.5
申请日：2011-09-18
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/5642 , B81B3/00
CPC classification number: H01L29/84 , B81B7/04 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , B81B2207/094 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0848
Abstract: 除其它情况之外，本申请讨论了帽晶片和通孔晶片，所述帽晶片和所述通孔晶片被配置为封装在装置层的x-y面上形成的单质量块三轴陀螺仪。所述单质量块三轴陀螺仪可包括：主质量块部件、中心悬置系统以及驱动电极，其中，所述主质量块部件悬置于单中心支架上，且所述主质量块部件包括向外朝所述三轴陀螺仪传感器的边缘延伸的放射状部分；所述中心悬置系统被配置为将所述三轴陀螺仪悬置于所述单中心支架上；且所述驱动电极包括移动部分和固定部分，所述移动部分连接到所述放射状部分上，其中，所述驱动电极和所述中心悬置系统被配置为使所述三轴陀螺仪关于垂直于所述x-y面的z轴以驱动频率振动。
-
公开(公告)号：CN103209922A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201180053926.1
申请日：2011-09-20
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： J·布雷泽克 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯 , C·阿卡
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81B2207/096 , H01G7/06
Abstract: 本文涉及用于微机电系统(MEMS)传感器的器件层的装置和方法，所述MEMS传感器具有通孔，所述通孔具有减小的并联电容。在一个实例中，器件层可包括衬底，该衬底具有在水平方向上被所述衬底的一部分分隔开的一对沟槽，其中，该对沟槽中的每个沟槽包括包含电介质的第一垂直层和第二垂直层，所述第一垂直层和第二垂直层被包含多晶硅的第三垂直层分隔开。
-
公开(公告)号：CN103221332B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180055794.6
申请日：2011-09-18
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： J·布雷泽克 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯 , C·阿卡
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B3/0072 , B81B7/0016 , B81B7/0051 , B81C1/00238 , B81C1/00301 , B81C2201/019 , B81C2203/0785 , H01L29/84 , H01L2224/16145 , H01L2224/16227 , H01L2224/16245 , H01L2224/1703 , H01L2224/32145 , H01L2224/32245 , H01L2224/48247 , H01L2224/73204 , H01L2224/73265 , H01L2924/15151 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提出一种微机电装置，包括：孔晶圆，其包括主体部分和伸长臂，伸长臂具有第一部分和第二部分，第一部分远离孔晶圆的主体部分进行延伸，第二部分围绕孔晶圆的主体部分进行延伸，并且第二部分通过间隙与孔晶圆的主体部分隔离；以及微机电层，其包括振荡部分，微机电层结合到孔晶圆的主体部分；专用集成电路ASIC，其具有第一表面和第二表面，第一表面使用第一电气互连点耦合到孔晶圆的伸长臂，第二表面与第一表面相对，第二表面具有集中位于第二表面上的第二电气互连点，以将ASIC耦合到衬底；其中，第二电气互连点的位置和伸长臂被配置成使得微机电层免受变形和应力的影响。
-
公开(公告)号：CN103403495A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201180044919.5
申请日：2011-09-16
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: B81C1/00523 , G01C19/56 , G01C19/5712
Abstract: 一个实例包括用于对动作进行感应的微机电芯片，包括：固定部分；连接到所述固定部分的锚；在所述锚的一侧连接到所述锚的第一非线性悬吊构件；在所述锚的所述一侧连接到所述锚的第二非线性悬吊构件，所述第二非线性悬吊构件具有与所述第一非线性悬吊构件关于锚二等分面成镜像关系的形状和位置；以及平面形的质量块，所述质量块至少部分地由所述第一非线性悬吊构件和所述第二非线性悬吊构件悬吊，从而所述质量块能够围绕所述锚旋转并能够在平行于所述固定部分的平面中滑动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103221779A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201180055823.9
申请日：2011-09-18
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/5755 , G01P15/14 , G01P15/18
CPC classification number: B81B3/0018 , B81C1/00158 , G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082 , G01P2015/084
Abstract: 一种六自由度(6-DOF)惯性测量系统的装置层可包括位于x-y面的单质量块六轴惯性传感器，所述惯性传感器包括主质量块部件、中心悬置系统和驱动电极，其中，所述主质量块部件悬置于单中心支架上，其所述主质量块部件包括向外朝所述六轴惯性传感器的边缘延伸的放射状部分；所述中心悬置系统被配置为在所述单中心支架上悬置所述六轴惯性传感器；所述驱动电极包括移动部分和固定部分，所述移动部分连接到所述放射状部分上，其中，所述驱动电极和所述中心悬置系统被配置为使所述六轴惯性传感器围绕垂直于x-y面的z轴以驱动频率振动。
-
公开(公告)号：CN103221332A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201180055794.6
申请日：2011-09-18
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： J·布雷泽克 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯 , C·阿卡
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B3/0072 , B81B7/0016 , B81B7/0051 , B81C1/00238 , B81C1/00301 , B81C2201/019 , B81C2203/0785 , H01L29/84 , H01L2224/16145 , H01L2224/16227 , H01L2224/16245 , H01L2224/1703 , H01L2224/32145 , H01L2224/32245 , H01L2224/48247 , H01L2224/73204 , H01L2224/73265 , H01L2924/15151 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
Abstract: 一个示例包括：集成电路，其包括至少一个电气互连点，所述至少一个电气互连点布置在远离所述集成电路的主体部分延伸的细长臂上；以及包括振荡部分的微机电层，所述微机电层结合到所述集成电路的所述主体部分。
-
公开(公告)号：CN104094084B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201380007523.2
申请日：2013-01-14
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/5733 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5733 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0811 , G01P2015/082 , G01P2015/0848
Abstract: 除了其他情况之外，本发明讨论了用于包括分开z轴部分的质量块的装置和方法。示例性质量块可包括中心部分，其被配置为将所述质量块锚定于相邻层；第一z轴部分，其被配置为使用第一铰链围绕第一轴旋转，所述第一轴平行于与z轴正交的x‑y平面；第二z轴部分，其被配置为使用第二铰链围绕第二轴旋转，所述第二轴平行于所述x‑y平面，其中所述第一z轴部分被配置为独立于所述第二z轴部分旋转。
-
公开(公告)号：CN104272062B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201380007615.0
申请日：2013-01-31
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/56 , G01C19/5719 , G01C19/5783
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明公开了各种实例，包括用于对运动进行感应的微机电管芯，所述微机电管芯包括与不对称定子电极交错接合的对称质量块电极。这些实例中的一些包括围绕与所述电极在其中设置的所述平面正交的轴弯曲的电极。一个实例提供垂直挠曲部，所述垂直挠曲部以允许围绕水平轴挠曲的方式将内环架耦合到质量块。
-
公开(公告)号：CN103221778B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201180055845.5
申请日：2011-09-18
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/5642 , B81B3/00
CPC classification number: H01L29/84 , B81B7/04 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , B81B2207/094 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0848
Abstract: 除其它情况之外，本申请讨论了帽晶片和通孔晶片，所述帽晶片和所述通孔晶片被配置为封装在装置层的x-y面上形成的单质量块三轴陀螺仪。所述单质量块三轴陀螺仪可包括：主质量块部件、中心悬置系统以及驱动电极，其中，所述主质量块部件悬置于单中心支架上，且所述主质量块部件包括向外朝所述三轴陀螺仪传感器的边缘延伸的放射状部分；所述中心悬置系统被配置为将所述三轴陀螺仪悬置于所述单中心支架上；且所述驱动电极包括移动部分和固定部分，所述移动部分连接到所述放射状部分上，其中，所述驱动电极和所述中心悬置系统被配置为使所述三轴陀螺仪关于垂直于所述x-y面的z轴以驱动频率振动。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
25
records
(took 0.019 seconds)
