半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN103811554B

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201310572089.4

    申请日:2013-11-13

    Abstract: 本发明提供了半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:衬底,包括单元区和外围区;单元栅电极,埋入在与单元区的单元有源部分交叉的凹槽中;单元线图案,横跨单元栅电极,单元线图案连接到在单元有源部分中处于单元栅电极的一侧的第一源/漏区;外围栅极图案,横跨外围区的外围有源部分;平坦化的层间绝缘层,在衬底上处于外围栅极图案周围;以及覆盖绝缘层,在平坦化的层间绝缘层和外围栅极图案的顶表面上,覆盖绝缘层包括相对于平坦化的层间绝缘层具有蚀刻选择性的绝缘材料。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN111048469A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201911347524.7

    申请日:2013-11-13

    Abstract: 本发明提供了半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:衬底,包括单元区和外围区;单元栅电极,埋入在与单元区的单元有源部分交叉的凹槽中;单元线图案,横跨单元栅电极,单元线图案连接到在单元有源部分中处于单元栅电极的一侧的第一源/漏区;外围栅极图案,横跨外围区的外围有源部分;平坦化的层间绝缘层,在衬底上处于外围栅极图案周围;以及覆盖绝缘层,在平坦化的层间绝缘层和外围栅极图案的顶表面上,覆盖绝缘层包括相对于平坦化的层间绝缘层具有蚀刻选择性的绝缘材料。

    天线结构和包括该天线结构的电子装置

    公开(公告)号:CN119768970A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202380061852.9

    申请日:2023-07-04

    Abstract: 根据本公开的各种实施例,电子装置可以包括:第一板;第二板,该第二板被设置成使得在其至少一部分与第一板之间形成有第一缝隙结构;非金属的第一内部构件,该非金属的第一内部构件联接到第一板和第二板,并且被设置成使得其至少一部分面向第一缝隙结构;以及第一天线图案,该第一天线图案设置在第一内部构件的面向与第一内部构件的该至少一部分相反的方向的不同部分上。各种其他实施例也是可能的。

    半导体器件
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111048469B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201911347524.7

    申请日:2013-11-13

    Abstract: 本发明提供了半导体器件。该半导体器件包括:衬底,包括单元区和外围区;单元栅电极,埋入在与单元区的单元有源部分交叉的凹槽中;单元线图案,横跨单元栅电极,单元线图案连接到在单元有源部分中处于单元栅电极的一侧的第一源/漏区;外围栅极图案,横跨外围区的外围有源部分;平坦化的层间绝缘层,在衬底上处于外围栅极图案周围;以及覆盖绝缘层,在平坦化的层间绝缘层和外围栅极图案的顶表面上,覆盖绝缘层包括相对于平坦化的层间绝缘层具有蚀刻选择性的绝缘材料。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN103811554A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201310572089.4

    申请日:2013-11-13

    Abstract: 本发明提供了半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:衬底,包括单元区和外围区;单元栅电极,埋入在与单元区的单元有源部分交叉的凹槽中;单元线图案,横跨单元栅电极,单元线图案连接到在单元有源部分中处于单元栅电极的一侧的第一源/漏区;外围栅极图案,横跨外围区的外围有源部分;平坦化的层间绝缘层,在衬底上处于外围栅极图案周围;以及覆盖绝缘层,在平坦化的层间绝缘层和外围栅极图案的顶表面上,覆盖绝缘层包括相对于平坦化的层间绝缘层具有蚀刻选择性的绝缘材料。

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