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公开(公告)号：CN109597277A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201810940325.6
申请日：2018-08-17
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 一种压印设备包括：第一框架；压力辊，其可旋转地支撑在所述第一框架的第一端部；第二框架，其包括耦接到所述第一框架的第二端部的支撑部分、以及耦接到所述支撑部分以横向地可移动的至少一个引导部分；以及至少一个负载辊，其由所述至少一个引导部分支撑，所述至少一个负载辊在可旋转的同时在垂直方向上可移动，并且根据所述至少一个引导部分的横向移动而在压力辊的上部接触压力辊的表面，所述至少一个负载辊通过由所述至少一个负载辊的负载施加的力挤压所述压力辊。
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公开(公告)号：CN109388019B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201810794958.0
申请日：2018-07-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本公开提供了一种膜框架、用于制造显示基板的系统以及制造显示基板的方法，该膜框架包括：一对框架边缘，在第一方向上纵向地延伸并彼此相对地布置；固定端夹具，连接到所述一对框架边缘并在垂直于第一方向的第二方向上纵向地延伸；以及在所述一对框架边缘之间的自由端夹具，该自由端夹具在第二方向上纵向地延伸并配置为与所述一对框架边缘可拆卸地联接，其中固定端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，自由端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。
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公开(公告)号：CN107342246A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710244681.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: C23C16/45525 , C23C16/4481 , H01L21/0228 , H01L21/76831 , H01L27/11556 , H01L27/11582 , H01L21/67178 , H01J37/3244 , H01J2237/332 , H01J2237/3321
Abstract: 本公开提供半导体制造装置以及半导体制造工艺罐。一种半导体制造装置可以包括多个反应容器，该多个反应容器可以联接在一起以在产生用于半导体制造的工艺气体的工艺中提供多个按顺序的各个阶段，其中每个反应容器可以以不同于该多个反应容器中的其它反应容器的各自的配置包括各自的半导体制造固体源材料。
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公开(公告)号：CN110729227A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910210566.X
申请日：2019-03-20
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 提供了用于结合基底的真空吸盘和设备以及结合基底的方法。所述用于结合基底的真空吸盘包括：吸盘板，包括真空孔以保持基底；隔板，布置在吸盘板中，隔板将吸盘板划分为多个区域；以及温度控制构件，位于多个区域中的每个区域中，温度控制构件独立地控制每个区域中的温度，以使基底的与每个区域接触的部分选择性地膨胀或收缩。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109521642A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201810972558.4
申请日：2018-08-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本公开提供了压印装置和制造显示面板的方法。一种压印装置包括：工作台，该工作台支承模压母模或者衬底，在模压母模上形成有用于在柔性衬底上形成模压图案的母模图案，通过与模压图案接触，在衬底上形成有对应于模压图案的图案；卷对卷移动器，其沿着邻近于工作台的路径移动柔性衬底；夹具，其包括固定柔性衬底的第一部分的前夹具以及固定柔性衬底的与第一部分间隔开的第二部分的后夹具；加压辊子，其按压柔性衬底，以使得由夹具固定的柔性衬底与衬底或模压母模接触；以及夹具驱动控制器，其驱动夹具，以调整第一部分与第二部分之间的张力。
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公开(公告)号：CN109388019A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201810794958.0
申请日：2018-07-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本公开提供了一种膜框架、用于制造显示基板的系统以及制造显示基板的方法，该膜框架包括：一对框架边缘，在第一方向上纵向地延伸并彼此相对地布置；固定端夹具，连接到所述一对框架边缘并在垂直于第一方向的第二方向上纵向地延伸；以及在所述一对框架边缘之间的自由端夹具，该自由端夹具在第二方向上纵向地延伸并配置为与所述一对框架边缘可拆卸地联接，其中固定端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第一磁性固定器以及在第一磁性固定器上的第二磁性固定器，自由端夹具包括在第二方向上纵向地延伸的第三磁性固定器和在第三磁性固定器上的第四磁性固定器。
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公开(公告)号：CN115464553A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202210557040.0
申请日：2022-05-19
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 公开了调节盘更换设备和方法。所述调节盘更换设备包括：拆卸器，被配置为将调节盘与保持器分开；传送部，被配置为传送调节盘；以及容器，被配置为储存调节盘。拆卸器包括拆卸体和结合到拆卸体的旋转部，旋转部包括在第一水平方向上从旋转部向外突出的键，并且旋转部被配置为围绕在第一水平方向上延伸的轴旋转。
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公开(公告)号：CN110797258A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910427024.8
申请日：2019-05-22
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/18 , H01L21/3065
Abstract: 提供了一种晶片与晶片键合方法和一种晶片与晶片键合系统。所述晶片与晶片键合方法包括：对第一晶片的键合表面执行等离子体处理；在对第一晶片的键合表面执行等离子体处理之后，对第一晶片加压；以及使第一晶片键合到第二晶片。所述等离子体处理沿着围绕第一晶片的中心的圆周方向具有不同的等离子体密度。在对第一晶片加压之后，第一晶片的中间部分突出。通过从第一晶片的中间部分向第一晶片的周缘区域逐渐地将第一晶片接合到第二晶片，使第一晶片键合到第二晶片。
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