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    Proportional micromechanical valve
    5.
    发明申请
    Proportional micromechanical valve 有权
    比例微机械阀

    公开(公告)号：US20050156129A1

    公开(公告)日：2005-07-21

    申请号：US11075057

    申请日：2005-03-07

    申请人： Nadim Maluf ,  Kirt Williams ,  Bert Van Drieenhuizen ,  Edward Fuller ,  Richard Barron

    发明人： Nadim Maluf ,  Kirt Williams ,  Bert Van Drieenhuizen ,  Edward Fuller ,  Richard Barron

    IPC分类号： B60T8/36 ,  B81B3/00 ,  F15C3/00 ,  F15C5/00 ,  F16K31/00 ,  F16K31/02 ,  F16K31/18 ,  F16K99/00

    CPC分类号： F15C5/00 ,  B81B3/0024 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0013 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0098 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/2213 ,  Y10T137/2224 ,  Y10T137/8242

    摘要： The present invention provides a proportional microvalve having a first, second and third layer, and having high aspect ratio geometries. The first layer defines a cavity with inlet and outlet ports. The second layer, doped to have a low resistivity and bonded between the first and third layers, defines a cavity having a flow area to permit fluid flow between the inlet and outlet ports. The second layer further defines an actuatable displaceable member, and one or more thermal actuators for actuating the displaceable member to a position between and including an open and a closed position to permit or occlude fluid flow. The third layer provides one wall of the cavity and provides electrical contacts for electrically heating the thermally expandable actuators. The thermal actuators and the displaceable member have high aspect ratios and are formed by deep reactive ion etching such that they are displaceable in the plane of the second layer while being very stiff out of the plane. Thus, both actuation and displacement of the displaceable member are in the plane of the layer.

    摘要翻译： 本发明提供具有第一层，第二层和第三层并具有高纵横比几何形状的比例微型阀。 第一层限定具有入口和出口的空腔。 掺杂为具有低电阻率并且接合在第一和第三层之间的第二层限定了具有允许流体在入口和出口之间流动的流动面积的空腔。 第二层进一步限定可致动的可移动构件，以及一个或多个热致动器，用于将可移动构件致动到打开和关闭位置之间并包括打开位置和关闭位置，以允许或阻塞流体流动。 第三层提供腔的一个壁，并提供用于电加热可热膨胀致动器的电触点。 热致动器和可移位构件具有高纵横比，并且通过深反应离子蚀刻形成，使得它们可在第二层的平面中移位，同时非常刚性地离开平面。 因此，可移动构件的致动和位移都在该层的平面内。

    Proportional micromechanical device
    7.
    发明授权
    Proportional micromechanical device 有权
    比例微机械装置

    公开(公告)号：US06761420B2

    公开(公告)日：2004-07-13

    申请号：US10024963

    申请日：2001-12-18

    申请人： Nadim I. Maluf ,  Kirt R. Williams ,  Bert P. van Drieënhuizen ,  Edward Nelson Fuller ,  Richard J. Barron

    发明人： Nadim I. Maluf ,  Kirt R. Williams ,  Bert P. van Drieënhuizen ,  Edward Nelson Fuller ,  Richard J. Barron

    IPC分类号： B60T836

    CPC分类号： F16K99/0001 ,  B81B3/0024 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0098 ,  Y10T137/0396

    摘要： The present invention provides a proportional microvalve having a first, second and third layer, and having high aspect ratio geometries. The first layer defines a cavity with inlet and outlet ports. The second layer, doped to have a low resistivity and bonded between the first and third layers, defines a cavity having a flow area to permit fluid flow between the inlet and outlet ports. The second layer further defines an actuatable displaceable member, and one or more thermal actuators for actuating the displaceable member to a position between and including an open and a closed position to permit or occlude fluid flow. The third layer provides one wall of the cavity and provides electrical contacts for electrically heating the thermally expandable actuators. The thermal actuators and the displaceable member have high aspect ratios and are formed by deep reactive ion etching such that they are displaceable in the plane of the second layer while being very stiff out of the plane. Thus, both actuation and displacement of the displaceable member are in the plane of the layer.

    摘要翻译： 本发明提供具有第一层，第二层和第三层并具有高纵横比几何形状的比例微型阀。 第一层限定具有入口和出口的空腔。 掺杂为具有低电阻率并且接合在第一和第三层之间的第二层限定了具有允许流体在入口和出口之间流动的流动面积的空腔。 第二层进一步限定可致动的可移动构件，以及一个或多个热致动器，用于将可移动构件致动到打开和关闭位置之间并包括打开位置和关闭位置，以允许或阻塞流体流动。 第三层提供腔的一个壁，并提供用于电加热可热膨胀致动器的电触点。 热致动器和可移位构件具有高纵横比，并且通过深反应离子蚀刻形成，使得它们可在第二层的平面中移位，同时非常刚性地离开平面。 因此，可移动构件的致动和位移都在该层的平面内。