公开(公告)号：US06763608B2

公开(公告)日：2004-07-20

申请号：US10256357

申请日：2002-09-26

申请人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

发明人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

IPC分类号： F26B700

CPC分类号： H01L21/67359 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70741 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70925 ,  G03F7/70983 ,  H01L21/67366 ,  H01L21/67393

摘要： A method of transporting a reticle is disclosed. The reticle is placed in a reticle carrier that has an ionizer. Moreover, the reticle may be attached with a pellicle. The pellicle consists of a pellicle frame and a pellicle film stretched over the pellicle frame. The pellicle frame has included within an absorbent material.

摘要翻译： 公开了传送掩模版的方法。 将掩模版放置在具有电离器的掩模版载体中。 此外，掩模版可以附着防护薄膜组件。 防护薄膜组件由防护薄膜组件框架和在防护薄膜框架上延伸的防护薄膜组成。 防护薄膜框架包括在吸收材料内。

公开(公告)号：US06715495B2

公开(公告)日：2004-04-06

申请号：US09737125

申请日：2000-12-13

申请人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

发明人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

IPC分类号： B08B704

CPC分类号： H01L21/67359 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70741 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70925 ,  G03F7/70983 ,  H01L21/67366 ,  H01L21/67393

摘要： A method of transporting a reticle is disclosed. The reticle is placed in a reticle carrier that has an ionizer. Moreover, the reticle may be attached with a pellicle. The pellicle consists of a pellicle frame and a pellicle film stretched over the pellicle frame. The pellicle frame has included within an absorbent material.

摘要翻译： 公开了传送掩模版的方法。 将掩模版放置在具有电离器的掩模版载体中。 此外，掩模版可以附着防护薄膜组件。 防护薄膜组件由防护薄膜组件框架和在防护薄膜框架上延伸的防护薄膜组成。 防护薄膜框架包括在吸收材料内。

公开(公告)号：US06732746B2

公开(公告)日：2004-05-11

申请号：US09737139

申请日：2000-12-13

申请人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

发明人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

IPC分类号： B08B704

CPC分类号： H01L21/67359 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70741 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70925 ,  G03F7/70983 ,  H01L21/67366 ,  H01L21/67393

摘要： A method of transporting a reticle is disclosed. The reticle is placed in a reticle carrier that has an ionizer. Moreover, the reticle may be attached with a pellicle. The pellicle consists of a pellicle frame and a pellicle film stretched over the pellicle frame. The pellicle frame has included within an absorbent material.

公开(公告)号：US07368020B2

公开(公告)日：2008-05-06

申请号：US10818311

申请日：2004-04-05

申请人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

发明人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

IPC分类号： B08B7/04

CPC分类号： H01L21/67359 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70741 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70925 ,  G03F7/70983 ,  H01L21/67366 ,  H01L21/67393

摘要： A method of transporting a reticle is disclosed. The reticle is placed in a reticle carrier that has an ionizer. Moreover, the reticle may be attached with a pellicle. The pellicle consists of a pellicle frame and a pellicle film stretched over the pellicle frame. The pellicle frame has included within an absorbent material.

摘要翻译： 公开了传送掩模版的方法。 将掩模版放置在具有电离器的掩模版载体中。 此外，掩模版可以附着防护薄膜组件。 防护薄膜组件由防护薄膜组件框架和在防护薄膜框架上延伸的防护薄膜组成。 防护薄膜框架包括在吸收材料内。

公开(公告)号：US06279249B1

公开(公告)日：2001-08-28

申请号：US09477795

申请日：1999-12-30

申请人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

发明人： Giang T. Dao ,  Ronald J. Kuse

IPC分类号： F26B1900

CPC分类号： H01L21/67359 ,  G03F1/62 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70741 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70925 ,  G03F7/70983 ,  H01L21/67366 ,  H01L21/67393

摘要： A method of transporting a reticle is disclosed. The reticle is placed in a reticle carrier that has an ionizer. Moreover, the reticle may be attached with a pellicle. The pellicle consists of a pellicle frame and a pellicle film stretched over the pellicle frame. The pellicle frame has included within an absorbent material.

公开(公告)号：US07256872B2

公开(公告)日：2007-08-14

申请号：US10759641

申请日：2004-01-16

申请人： Han-Ming Wu ,  Ronald J. Kuse

发明人： Han-Ming Wu ,  Ronald J. Kuse

IPC分类号： G03B27/32 ,  G03B27/52 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70933 ,  G03F1/64 ,  G03F7/70866 ,  G03F7/70983

摘要： A method and apparatus are described for removing an initial gas from a gas-filled enclosure between the mask-protective device, such as a pellicle, and the patterned mask, such as a reticle, and adding a purge gas with a different composition. The gas-filled enclosure includes a vent for adding the purge gas to the chamber and removing the initial gas from the chamber. Adding and removing may be accomplished by using pressure, diffusion, vacuum, or other means.

摘要翻译： 描述了一种方法和装置，用于从掩模保护装置（例如防护薄膜组件）和图案化掩模（例如掩模版）之间的气体填充外壳中除去初始气体，并加入具有不同组成的吹扫气体。 气体充填的外壳包括用于将吹扫气体添加到室中并从室中去除初始气体的排气口。 添加和去除可以通过使用压力，扩散，真空或其他方式来实现。

公开(公告)号：US5304322A

公开(公告)日：1994-04-19

申请号：US888992

申请日：1992-05-15

申请人： Ronald J. Kuse

发明人： Ronald J. Kuse

IPC分类号： C11D7/24 ,  C11D7/28 ,  C11D7/50 ,  C23G5/024 ,  C11D7/30 ,  B08B3/04 ,  C23G5/028

CPC分类号： C23G5/024 ,  C11D7/5018 ,  C11D7/24 ,  C11D7/28

摘要： An environmentally compliant cleaning solvent for removing commercial aircraft hydraulic fluid comprises from about 25 to 35 volume percent perfluorocarbon with from about 4 to 8 carbons in the alkyl chain, from about 25 to 35 volume percent hydrochlorofluorocarbon with about 2 to 5 carbons in the alkyl chain; and the balance petroleum distillates with from about 5 to 9 carbons in the alkyl chain.

摘要翻译： 用于去除商用飞机液压流体的环境友好的清洁溶剂包括约25至35体积％的全氟化碳，在烷基链中具有约4至8个碳，在烷基链中具有约25至35体积％的氢氯氟烃和约2至5个碳 ; 并且平衡石油馏出物中烷基链中具有约5至9个碳原子。

公开(公告)号：US06710845B2

公开(公告)日：2004-03-23

申请号：US09752938

申请日：2000-12-29

申请人： Han-Ming Wu ,  Ronald J. Kuse

发明人： Han-Ming Wu ,  Ronald J. Kuse

IPC分类号： G03B2752

CPC分类号： G03F7/70933 ,  G03F1/64 ,  G03F7/70866 ,  G03F7/70983

摘要： A method and apparatus are described for removing an initial gas from a gas-filled enclosure between the mask-protective device, such as a pellicle, and the patterned mask, such as a reticle, and adding a purge gas with a different composition. The gas-filled enclosure includes a vent for adding the purge gas to the enclosure and removing the initial gas from the enclosure. Adding and removing may be accomplished by using pressure, diffusion, or vacuum.

摘要翻译： 描述了一种方法和装置，用于从掩模保护装置（例如防护薄膜组件）和图案化掩模（例如掩模版）之间的气体填充外壳中除去初始气体，并加入具有不同组成的吹扫气体。 充气的外壳包括用于将净化气体添加到外壳并从外壳去除初始气体的通风口。 添加和去除可以通过使用压力，扩散或真空来实现。