公开(公告)号：US09236225B2

公开(公告)日：2016-01-12

申请号：US14684607

申请日：2015-04-13

Applicant: Carl Zeiss Microscopy, LLC

Inventor： Billy W. Ward ,  John A. Notte, IV ,  Louis S. Farkas, III ,  Randall G. Percival ,  Raymond Hill ,  Klaus Edinger ,  Lars Markwort ,  Dirk Aderhold ,  Ulrich Mantz

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/305 ,  H01J37/304

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/2566 ,  H01J2237/2623 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31755

Abstract: Ion sources, systems and methods are disclosed.

公开(公告)号：US20150213997A1

公开(公告)日：2015-07-30

申请号：US14684607

申请日：2015-04-13

Applicant: Carl Zeiss Microscopy, LLC

Inventor： Billy W. Ward ,  John A. Notte, IV ,  Louis S. Farkas, III ,  Randall G. Percival ,  Raymond Hill ,  Klaus Edinger ,  Lars Markwort ,  Dirk Aderhold ,  Ulrich Mantz

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305 ,  H01J37/256 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/2566 ,  H01J2237/2623 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31755

Abstract: Ion sources, systems and methods are disclosed.

公开(公告)号：US09012867B2

公开(公告)日：2015-04-21

申请号：US14286453

申请日：2014-05-23

Applicant: Carl Zeiss Microscopy, LLC

Inventor： Billy W. Ward ,  John A. Notte, IV ,  Louis S. Farkas ,  Randall G. Percival ,  Raymond Hill ,  Klaus Edinger ,  Lars Markwort ,  Dirk Aderhold ,  Ulrich Mantz

IPC: H01J27/26 ,  H01J27/02 ,  H01J49/10 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/2566 ,  H01J2237/2623 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31755

Abstract: Ion sources, systems and methods are disclosed.

公开(公告)号：US20140306121A1

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：US14286453

申请日：2014-05-23

Applicant: Carl Zeiss Microscopy, LLC

Inventor： Billy W. Ward ,  John A. Notte, IV ,  Louis S. Farkas, III ,  Randall G. Percival ,  Raymond Hill ,  Klaus Edinger ,  Lars Markwort ,  Dirk Aderhold ,  Ulrich Mantz

IPC: H01J27/26 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/2566 ,  H01J2237/2623 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31755

Abstract: Ion sources, systems and methods are disclosed.

Abstract translation: 公开了离子源，系统和方法。