公开(公告)号：US3156593A

公开(公告)日：1964-11-10

申请号：US15304961

申请日：1961-11-17

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： LIGENZA JOSEPH R

IPC: C23C14/04 ,  H01L21/00 ,  H01L23/29

CPC classification number: H01L21/00 ,  C23C14/042 ,  H01L23/291 ,  H01L24/01

公开(公告)号：US3323947A

公开(公告)日：1967-06-06

申请号：US41913864

申请日：1964-12-17

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： DAWON KAHNG ,  LIGENZA JOSEPH R ,  WEMPLE STUART H

IPC: G02F1/00 ,  H01B1/00 ,  H01J37/32 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01J37/32 ,  G02F1/0018 ,  H01B1/00 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32229 ,  H01J2237/338 ,  H01L21/00

公开(公告)号：US3337438A

公开(公告)日：1967-08-22

申请号：US31828263

申请日：1963-10-23

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： GOBELI GARTH W ,  LIGENZA JOSEPH R

IPC: C23C8/12 ,  C23C8/36 ,  H01J37/32 ,  H01L21/316

CPC classification number: H01J37/32229 ,  C23C8/12 ,  C23C8/36 ,  H01J37/32192 ,  H01J2237/338 ,  H01L21/31654 ,  Y10S148/118

公开(公告)号：US3287243A

公开(公告)日：1966-11-22

申请号：US44647065

申请日：1965-03-29

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： LIGENZA JOSEPH R

IPC: C23C14/00 ,  C23C14/22 ,  C23C14/30 ,  G05F1/38 ,  H01B3/02 ,  H01B3/10 ,  H01J37/32 ,  H01J37/34 ,  H01L21/316 ,  H01L23/29

CPC classification number: H01L21/31654 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/22 ,  C23C14/30 ,  G05F1/38 ,  H01B3/02 ,  H01B3/10 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/34 ,  H01L23/29 ,  H01L24/01 ,  Y10S148/114 ,  Y10S148/118 ,  Y10S148/148 ,  Y10S148/158

公开(公告)号：US3095341A

公开(公告)日：1963-06-25

申请号：US12106561

申请日：1961-06-30

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： LIGENZA JOSEPH R

IPC: C23F1/02 ,  C23F1/12 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23F1/02 ,  C23F1/12 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：US2930722A

公开(公告)日：1960-03-29

申请号：US79084859

申请日：1959-02-03

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： LIGENZA JOSEPH R

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/316

CPC classification number: H01L21/31662 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02238 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/02307 ,  Y10S134/902 ,  Y10S438/974

公开(公告)号：US3616380A

公开(公告)日：1971-10-26

申请号：US3616380D

申请日：1968-11-22

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： LEPSELTER MARTIN P ,  LIGENZA JOSEPH R

IPC: C23C8/36 ,  H01L21/00 ,  H01L21/285 ,  H01L21/768 ,  H01L23/29 ,  H01L23/485 ,  H01L29/00 ,  B01K1/00

CPC classification number: H01L23/485 ,  C23C8/36 ,  H01L21/00 ,  H01L21/28581 ,  H01L21/76889 ,  H01L23/291 ,  H01L29/00 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S148/106 ,  Y10S148/117 ,  Y10S148/139 ,  H01L2924/00

Abstract: The specification describes an improved barrier layer device which utilizes an oxide guard ring around the barrier layer. An insulating guard ring is shown to be superior to the PN junction guard ring of the prior art. Manufacturing methods for forming oxide guard rings are also discussed. These involve forming the oxide layer by exposure to an oxygen plasma.

公开(公告)号：US3476971A

公开(公告)日：1969-11-04

申请号：US3476971D

申请日：1967-12-18

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： LIGENZA JOSEPH R ,  POVILONIS EDWARD I

IPC: C23C14/35 ,  H01J37/34 ,  H05H1/48 ,  H01J17/26 ,  H01J61/28

CPC classification number: H01J37/34 ,  C23C14/35 ,  H05H1/48

公开(公告)号：US3122463A

公开(公告)日：1964-02-25

申请号：US9405661

申请日：1961-03-07

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： LIGENZA JOSEPH R ,  SHAPIRO HERBERT M

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/311

CPC classification number: H01L21/31116 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：US3108915A

公开(公告)日：1963-10-29

申请号：US12106761

申请日：1961-06-30

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： LIGENZA JOSEPH R ,  SHAPIRO HERBERT M

IPC: C23C16/04 ,  C30B31/18 ,  G03F1/54 ,  G03F7/004 ,  H01L21/00

CPC classification number: G03F7/0042 ,  C23C16/047 ,  C30B31/185 ,  G03F1/54 ,  H01L21/00 ,  Y10S438/944