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公开(公告)号：CN104209862B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410424335.6
申请日：2014-08-26
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： B24B53/013
摘要： 本发明涉及一种柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置及方法。本发明的装置包括集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置、工件装夹及间隙调整机构、柔性抛光垫实时修整装置，集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置包括有环形研磨盘、集群磁极、分隔盘、下端盖、转盘，工件装夹及间隙调整机构包括有内支撑环、外支撑环、基准游星轮、移动圆柱、上端盖、深度尺、联接轴、胀紧套、内齿轮、外齿轮，柔性抛光垫实时在线修整装置包括有修整游星轮、磁极。本发明实现了在不更换磁流变液的情况对工件实现研磨、粗抛光到精抛光的全过程，所获得的工件表面质量好，加工效率高，而且无表面和亚表面损伤，成本低，可以用于各类光学元件及半导体基片的加工。
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公开(公告)号：CN102229111A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201110150393.0
申请日：2011-06-07
申请人： 河南工业大学
IPC分类号： B24B53/013 , B24B53/12
摘要： 本发明公开了金刚石磨粒形面约束自由磨粒变速挤磨超硬磨料砂轮修整方法，包括以下步骤：阶段一：自由磨料在挤磨修整轮高速旋转形成的金刚石形面约束下，变速滚压被修砂轮表面，使被修砂轮结合剂破碎、磨粒脱落，实现对砂轮形面高效修形；阶段二：使挤磨轮与被修砂轮接触并有一定的修整压力，这时通过挤磨轮和砂轮圆周速度差，利用挤磨修整轮金刚石颗粒的研削作用对被修砂轮磨粒进行微量磨除。该方法可以用于各种结合剂超硬磨料砂轮的高效、精密、成形修整，能有效解决目前存在的超硬磨料砂轮修整难题，使超硬磨料砂轮修整技术取得新的突破，推动超硬磨料砂轮磨削技术的发展。
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公开(公告)号：CN112476228B
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202010848750.X
申请日：2020-08-21
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号： B24B37/04 , B24B37/10 , B24B37/005 , B24B53/013
摘要： 本公开的一些实施例提供一种操作化学机械平坦化用具的方法。方法包括使用一粘着剂，将一研磨垫附接至一化学机械平坦化用具的一平台的一第一表面，从平台移除研磨垫，其中在移除研磨垫之后，粘着剂的多个残余部分残留在平台的第一表面上，使用一荧光材料来识别平台的第一表面上的粘着剂的残余部分的多个位置，并且从平台的第一表面移除粘着剂的残余部分。
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公开(公告)号：CN110653723A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910953818.8
申请日：2016-08-09
申请人： 坂东机工株式会社
发明人： 坂东和明
IPC分类号： B24B53/12 , B24B53/013
摘要： 修整装置(1)包括：限制体(13)，所述限制体(13)具有与研磨面(6)的形状对应形状的突条部(12)的面，并且使所述面在所需的长度上与旋转的研磨轮(5)的所述研磨面(6)相向接触；喷出研磨颗粒产生装置(11)，所述喷出研磨颗粒产生装置(11)作为产生混合有研磨颗粒的压力流体的装置；以及喷出口(15)，所述喷出口(15)作为喷射装置，喷出混合有研磨颗粒的压缩空气，所述喷出装置朝研磨面(6)与限制体(13)的突条部(12)的面的相向接触空间，喷射来自喷出研磨颗粒产生装置(11)的作为混合有研磨颗粒的压力流体的混合压缩空气。
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公开(公告)号：CN1125704C
公开(公告)日：2003-10-29
申请号：CN00800916.3
申请日：2000-03-29
申请人： 皇家菲利浦电子有限公司
发明人： A·H·刘
IPC分类号： B24B37/04 , B24B53/007 , B24B53/013 , B24D13/14 , B24D13/18 , B24D7/10
CPC分类号： B24B53/017 , B24B53/013 , B24D13/145 , B24D13/18
摘要： 本发明的一个实施例涉及一种化学-机械抛光中垫的修整装置。入口(130)的形状和位置做成可接纳加工工质。与入口(130)相连的是一个分配表面(140)，其形状和位置做成使加工工质得以分散开。与分配表面相连的是一些出口(110)，其形状和位置做成能将加工工质分送到化学-机械抛光垫上。采用这种实施装置的好处是能提高垫的清洁度，使稀浆更好地散开，改善晶片的质量，并提升生产速度。
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公开(公告)号：CN112476228A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202010848750.X
申请日：2020-08-21
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号： B24B37/04 , B24B37/10 , B24B37/005 , B24B53/013
摘要： 本公开的一些实施例提供一种操作化学机械平坦化用具的方法。方法包括使用一粘着剂，将一研磨垫附接至一化学机械平坦化用具的一平台的一第一表面，从平台移除研磨垫，其中在移除研磨垫之后，粘着剂的多个残余部分残留在平台的第一表面上，使用一荧光材料来识别平台的第一表面上的粘着剂的残余部分的多个位置，并且从平台的第一表面移除粘着剂的残余部分。
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公开(公告)号：CN104209862A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410424335.6
申请日：2014-08-26
申请人： 广东工业大学
IPC分类号： B24B53/013
CPC分类号： B24B53/013 , B24B53/017
摘要： 本发明涉及一种柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置及方法。本发明的装置包括集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置、工件装夹及间隙调整机构、柔性抛光垫实时修整装置，集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置包括有环形研磨盘、集群磁极、分隔盘、下端盖、转盘，工件装夹及间隙调整机构包括有内支撑环、外支撑环、基准游星轮、移动圆柱、上端盖、深度尺、联接轴、胀紧套、内齿轮、外齿轮，柔性抛光垫实时在线修整装置包括有修整游星轮、磁极。本发明实现了在不更换磁流变液的情况对工件实现研磨、粗抛光到精抛光的全过程，所获得的工件表面质量好，加工效率高，而且无表面和亚表面损伤，成本低，可以用于各类光学元件及半导体基片的加工。
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公开(公告)号：CN101232968A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200680027517.3
申请日：2006-07-19
申请人： 3M创新有限公司
IPC分类号： B24B37/04 , B24B53/013
CPC分类号： B24B37/245 , B24B53/017 , B24D7/063 , C09K3/1436
摘要： 本发明提供了一种抛光具有一定硬度的工件的固定的磨料制品，其包括(a)具有第一表面和第二表面的基材，(b)分布在基材第一表面上的磨料复合物区域，和(c)分布在所述基材第一表面上的修整混合物区域。所述磨料复合物包括复合粘合剂和第一硬度的磨料颗粒。其中所述第一硬度高于所述工件的硬度。所述混合物包括可侵蚀的填料和足以修整复合粘合剂并具有第二硬度的修整颗粒，其中所述第二硬度低于所述工件的硬度且高于复合粘合剂的硬度。本发明还提供其他的磨料制品以及制备它们的方法。
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公开(公告)号：CN107322479A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710457652.1
申请日：2017-06-16
申请人： 江苏耐锐特磨料磨具有限公司
发明人： 田继华
IPC分类号： B24B53/14 , B24B53/013 , B24B57/00 , B24B55/06
CPC分类号： B24B53/14 , B24B53/013 , B24B55/06 , B24B57/00
摘要： 本发明属于机械加工技术领域，具体涉及一种超硬砂轮修整装置，包括底座，所述底座侧面连接有工作箱，所述底座上两侧设有工作轨道，所述工作轨道上依次设有固定柱、高压弹簧和滑块，所述滑块之间从上至下依次设有工作转轴和推板；所述底座上靠近所述固定柱的一端设有固定台和调节螺杆，所述固定台上设有定位圈，所述调节螺杆一端与所述定位圈螺纹连接，所述调节螺杆另一端与所述推板固定连接；所述工作箱内设有轴心在同一直线上的第一砂轮轴和第二砂轮轴，所述第二砂轮轴与所述工作转轴连接。本发明提供一种低成本、工作高效的超硬砂轮修整装置。
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公开(公告)号：CN101232968B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680027517.3
申请日：2006-07-19
申请人： 3M创新有限公司
IPC分类号： B24D3/00 , B24B37/04 , B24B53/013
CPC分类号： B24B37/245 , B24B53/017 , B24D7/063 , C09K3/1436
摘要： 本发明提供了一种抛光具有一定硬度的工件的固定的磨料制品，其包括(a)具有第一表面和第二表面的基材，(b)分布在基材第一表面上的磨料复合物区域，和(c)分布在所述基材第一表面上的修整混合物区域。所述磨料复合物包括复合粘合剂和第一硬度的磨料颗粒。其中所述第一硬度高于所述工件的硬度。所述混合物包括可侵蚀的填料和足以修整复合粘合剂并具有第二硬度的修整颗粒，其中所述第二硬度低于所述工件的硬度且高于复合粘合剂的硬度。本发明还提供其他的磨料制品以及制备它们的方法。
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