用于使衬底与衬底载体分离的装置和方法

    公开(公告)号:CN102414780A

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN201080017730.2

    申请日:2010-03-31

    Abstract: 一个用于使衬底与通过连接层连接衬底的衬底载体分离的装置,具有一个衬底载体容纳体,后者具有用于容纳衬底载体的容纳体表面,一个与衬底载体容纳体对置设置的衬底容纳体,后者具有平行于容纳体表面设置的用于容纳衬底的衬底容纳体表面,其中为了使衬底相对于衬底载体在衬底与衬底载体的连接状态中平行移动设有分离机构。本发明还涉及一种用于使衬底与通过连接层连接衬底的衬底载体分离的方法,具有下面的步骤:在衬底容纳体的衬底容纳体表面与平行于衬底容纳体表面设置的衬底载体容纳体的容纳体表面之间容纳由衬底载体、连接层和衬底组成的衬底-衬底载体-连接体,通过使衬底相对于衬底载体在衬底与衬底载体的连接状态中平行移动分离衬底与衬底载体。

    薄片剥离装置及剥离方法

    公开(公告)号:CN102138208B

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN200980134678.6

    申请日:2009-07-22

    Abstract: 一种薄片剥离装置(10),包括:支承机构(11),其对粘附了粘合片(S)的半导体晶片(W)进行支承;带粘附机构(14),其将剥离用带(T)粘附到粘合片(S)上;牵拉机构(13),用于牵拉剥离用带(T);辅助剥离机构(15),包含被卷绕安装在位于粘合片(S)上面的导向构件(41)上的环形构件(45);以及夹入机构(16),用于将粘合片(S)夹在其与环形构件(45)之间。该薄片剥离装置(10)在将粘合片(S)夹在辅助剥离机构(15)与夹入机构(16)之间的状态下,通过牵拉机构(13)和支承机构(11)的相对移动可以将粘合片(S)剥离。

    保护带剥离方法及采用该保护带剥离方法的装置

    公开(公告)号:CN101404241A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200810148856.8

    申请日:2008-09-27

    CPC classification number: H01L21/67132 Y10T156/1105 Y10T156/1906

    Abstract: 本发明提供保护带剥离方法及使用该保护带剥离方法的装置。对粘贴在载置保持于剥离台的晶圆上的保护带的表面高度进行检测,基于该检测结果算出针的下降动作距离,并且,算出使粘贴构件接近保护带直到使缠挂于粘贴构件的剥离带与保护带接触为止的下降动作量。基于这些算出的下降动作量,一边控制各构件的高度,一边形成保护带的剥离部位并剥离保护带。

Patent Agency Ranking