用于从薄膜取下至少一个芯片状半导体构件的设备和方法
Abstract:
本发明涉及用于从薄膜取下至少一个芯片状半导体构件的设备和方法,该方法具有下列步骤:抬升装置相对薄膜布置,其中,抬升装置的接触区贴靠在薄膜的第二主面上,与布置在第一主面上的待取下的呈芯片状半导体构件相对。借助配属的负压调节装置,用针对所有抽吸凹槽的恒定负压值或用针对不同的抽吸凹槽或抽吸凹槽组的不同负压值加载抬升装置的多个抽吸凹槽。薄膜在接触区中通过借助抬升件抬升薄膜而局部变形,抬升件布置在抬升装置的所配属的凹槽中。借助取下装置从薄膜取下至少一个半导体构件。
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