Invention Publication
- Patent Title: 用于从薄膜取下至少一个芯片状半导体构件的设备和方法
- Patent Title (English): Device and method for removing at least one chip-shaped semiconductor element from a film
-
Application No.: CN201210037539.5Application Date: 2012-02-17
-
Publication No.: CN102646635APublication Date: 2012-08-22
- Inventor: 阿明·斯图特
- Applicant: 赛米控电子股份有限公司
- Applicant Address: 德国纽伦堡
- Assignee: 赛米控电子股份有限公司
- Current Assignee: 赛米控电子股份有限公司
- Current Assignee Address: 德国纽伦堡
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 杨靖; 车文
- Priority: 102011004287.3 2011.02.17 DE; 102011087388.0 2011.11.30 DE
- Main IPC: H01L21/78
- IPC: H01L21/78

Abstract:
本发明涉及用于从薄膜取下至少一个芯片状半导体构件的设备和方法,该方法具有下列步骤:抬升装置相对薄膜布置,其中,抬升装置的接触区贴靠在薄膜的第二主面上,与布置在第一主面上的待取下的呈芯片状半导体构件相对。借助配属的负压调节装置,用针对所有抽吸凹槽的恒定负压值或用针对不同的抽吸凹槽或抽吸凹槽组的不同负压值加载抬升装置的多个抽吸凹槽。薄膜在接触区中通过借助抬升件抬升薄膜而局部变形,抬升件布置在抬升装置的所配属的凹槽中。借助取下装置从薄膜取下至少一个半导体构件。
Public/Granted literature
- CN102646635B 用于从薄膜取下至少一个芯片状半导体构件的设备和方法 Public/Granted day:2016-03-23
Information query
IPC分类: