层叠型压电元件以及使用其的喷射装置和燃料喷射系统

    公开(公告)号:CN103098251B

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201180040867.4

    申请日:2011-10-28

    Inventor: 佐藤政宏

    Abstract: 提供一种抑制外部电极的损坏或剥离且提高了耐久性的层叠型压电元件以及使用其的喷射装置和燃料喷射系统。本发明的层叠型压电元件包括:层叠有压电体(21)以及内部电极(3a、3b)的层叠体(2);在层叠方向上较长地被附着于层叠体(2)的侧面,并与达到所述层叠体的侧面的内部电极(3a、3b)的端部电连接的导体层(5a、5b);和接合在导体层(5a、5b)上的外部电极(4a、4b),特征在于,外部电极(4a、4b)在层叠方向的一个端部成为供电端,且用树脂(13)覆盖位于供电端一侧的与导体层(5a、5b)接合的接合区域。

    带有涂覆有原子层沉积的输入端口的集成参考真空压力传感器

    公开(公告)号:CN104006913A

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201410066157.4

    申请日:2014-02-26

    Inventor: G.C.布朗

    Abstract: 本发明涉及带有涂覆有原子层沉积的输入端口的集成参考真空压力传感器。带有原子层沉积(ALD)涂覆的输入端口的集成参考真空压力传感器包括具有端口的壳体,该端口用于使介质进入壳体;在壳体内的基层和应力隔离构件;其中通道延伸穿过基层和应力隔离构件,其中迹被嵌入在应力隔离构件内,其中应力隔离构件和基层的暴露给通道的表面涂覆有ALD;结合到应力隔离构件的传感器裸芯,传感器裸芯包括具有电路的薄膜,其中薄膜的一侧被暴露给通道并且该电路被安装到该薄膜的另一侧;将该电路电连接到该迹的延伸穿过传感器裸芯的通路;以及结合到应力隔离构件的盖,该盖具有凹部,传感器裸芯在该凹部内。

    弹性波装置及其制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103201866A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201180053402.2

    申请日:2011-07-08

    Inventor: 津田基嗣

    Abstract: 提供一种配线电极等中不易发生迁移的弹性波装置及其制造方法。具备形成在压电基板(1)的上表面并构成包括IDT电极(3)在内的电极的第一电极膜(2)、以从压电基板(1)的上表面至第一电极膜(2)的上表面的一部分的方式形成的第二电极膜(6),第二电极膜(6)构成包括配线电极(9)和焊盘电极(10a~10c)在内的电极,且由层叠多个金属膜而成的层叠金属膜构成,第二电极膜(6)的最下层(6a)由从AlCu合金、NiCr合金、AlSi合金、AlTi合金、Ti及Cu组成的组中选择的一种金属构成,且第二电极膜(6)的最下层(6a)形成至第二电极膜(6)的侧面。

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