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公开(公告)号：CN104583789B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201380029168.9
申请日：2013-04-11
Applicant: 爱德万测试公司
Inventor： 亨利·阿诺德 , 布瑞恩·布拉斯 , 皮埃尔·高彻尔 , 杰姆斯·史蒂芬·莱德福特
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2834 , G01R31/2894
Abstract: 一种用于测试器件的方法。该方法包括确定计算窗。计算窗是器件测试活动低于活动阈值的时间段。所述至少一个计算窗出现在器件测试活动期间。该方法进一步包括在计算窗期间创建并执行决策树。决策树包括测试结果的被安排的测试分析以及被安排为响应于测试分析而执行的测试控制动作的选择。
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公开(公告)号：CN106370996A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610767531.2
申请日：2016-08-30
Applicant: 无锡中微腾芯电子有限公司
Inventor： 唐彩彬
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2851 , G01R31/2894
Abstract: 本发明提供一种利用迭代法实现熔丝修调的方法，包括：步骤1，设定熔丝修调后基准电压的目标值并建立一张熔丝真值表；步骤2，进行一个芯片的测试，监控芯片烧熔丝前基准电压实测值；步骤3，根据烧熔丝前基准电压实测值和基准电压目标值计算出该管芯熔丝烧写的步数，再根据熔丝真值表的对应关系烧断相应的熔丝；步骤4，再次测量烧熔丝后基准电压值，并判断出基准值测试项是否合格；步骤5，根据烧熔丝前与烧熔丝后基准电压实测值计算出当前熔丝烧写的步距，并用于下一颗管芯的熔丝烧写计算当中。其优点是：迭代法用于熔丝修调，自动调整熔丝真值表，使之更加适用于当前圆片区域，修调后的基准值更加接近目标值，从而提升测试良率。
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公开(公告)号：CN105092995A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201410182150.9
申请日：2014-04-30
Applicant: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
CPC classification number: G01R31/303 , G01R31/08 , G01R31/2851 , G01R31/2894
Abstract: 一种芯片中静态电流失效器件的检测方法和装置，所述方法包括：判定所述芯片中是否存在静态电流失效器件；当所述芯片中存在静态电流失效器件时，检测所述芯片中的热点位置；当所述热点有至少两个时，根据所述热点在电路版图文件中的位置信息，选取所述热点的共同电路路径；将所述共同电路路径的版图转换为对应的电路图，并将所述热点位置标识于所述电路图的对应位置；检测所述热点在所述电路图中的共通器件；在所述电路版图中标识所述共通器件的位置作为所述静态电流失效器件的位置。通过所述方法和装置，能够在版图的相应处快速准确地找到失效点，从而提高检测的准确性，以及节省检测时间。
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公开(公告)号：CN102709207B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201210048523.4
申请日：2012-02-27
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2894
Abstract: 根据一个实施例，一种质量评估设备包括：存储模块，所述存储模块存储指定信息，所述指定信息用于指定包括检查目标和非检查目标的评估目标中要进行抽样检查的所述检查目标，由所述检查目标的抽样检查获得的特征值以及基于所述特征值确定检查目标质量的准则信息；阈值计算器，利用所述准则信息从所述检查目标的特征值计算指示所述检查目标质量的阈值；以及分组模块，将所述评估目标分成组，使得所述组具有将所述阈值用作变量的概率分布。
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公开(公告)号：CN104364664A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029181.4
申请日：2013-04-11
Applicant: 爱德万测试公司
Inventor： 亨利·阿诺德 , 皮埃尔·高彻尔 , 布瑞恩·布拉斯 , 杰姆斯·史蒂芬·莱德福特
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2894
Abstract: 一种分析测试结果的方法。所述方法包括从多个储存的控制规则中选择选定的控制规则进行验证，访问选择的测试结果，对选择的测试结果进行选择的统计分析，以及执行多个选择的动作中的至少一个动作，其中所述多个选择的动作是通过选择的统计分析的结果进行选择的。所述多个选定的控制规则排列在决策树中。所述决策树包括用于验证所述选定的控制规则的时间表。所述测试结果的选择由所述多个选定的控制规则定义。统计分析的选择由所述多个选定的控制规则和所述决策树定义。至少一个动作是通过所述决策树选择的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102265229B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN200880132469.3
申请日：2008-10-22
Applicant: 意法半导体(格勒诺布尔)有限公司 , 意法半导体股份有限公司
IPC: G05B19/418 , G01R31/28
CPC classification number: G05B19/41875 , G01R31/2894 , Y02P90/22 , Y02P90/86
Abstract: 本发明涉及一种用于测量链的可重复性和可再现性的改进检查，特别是用于借助于半导体器件测试的质量控制的方法，其中，针对将通过测量系统而经受测量的多个且不同的器件提供测试步骤，所述测量系统包括在测试设备（ATE）与将经受测量的每个器件之间的测量单元的至少一个串接。有利地，该方法包括以下步骤：检查形成所述串接的所述测量链的一部分的每种类型单元的可重复性和可再现性；然后总体上进行在各种测量链之间的相关以使用经受测量的相应器件来检查可重复性和可再现性。
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公开(公告)号：CN101995539B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201010235606.5
申请日：2010-07-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01R31/2894 , G01R31/2831
Abstract: 本发明提供一种检查装置的操作方法以及检查装置的操作程序，能够显著提高具有多个工作台的检查装置的检查效率。本发明的检查装置的操作方法，是在利用显示于多个显示器(14)的各操作画面上的操作按钮，操作具备多个检查用工作台(17)的检查装置(10)中，使用归纳了用于执行检查装置(10)的各种功能所需的数据的排他条件数据(D)和将排他条件数据(D)的排他条件归纳为能否按下用于执行各功能的操作按钮的数据的排他条件类型(P)，在至少一个显示器(14)上设定用于排除操作按钮的排他条件按钮，按下排他条件按钮禁止在其他显示器中显示至少符合一个显示器的排他条件的画面。
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公开(公告)号：CN101639509B
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN200910160967.5
申请日：2009-07-31
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 田中秀明
IPC: G01R31/00
CPC classification number: G01R31/2894 , G01R31/2887
Abstract: 本发明提供一种被检查体的检查方法和被检查体的检查用程序。本发明的检查方法的特征在于：在控制装置(14)的控制下，使载置晶片(W)的载置台(11)移动，使探测卡(12)的多个探针(12A)与晶片(W)的两个器件(D)电接触，在对所有器件(D)进行电特性检查时，在结束所有的器件(D)的电特性检查后，在多个探针(12A)接触的两个器件之中，在第二个器件(D)中发生了检查不良的情况下，对所有器件(D)进行再检查，在进行再检查时，将探测卡(12)和晶片(W)接触的此次的接触位置从上次的检查中的接触位置错开一个器件的量，每次进行2个器件(D)的电特性检查。
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公开(公告)号：CN102150052A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135790.1
申请日：2009-10-23
Applicant: 爱德万测试株式会社
CPC classification number: G01R31/31919 , G01R29/26 , G01R31/2837 , G01R31/2894
Abstract: 本发明提供一种确定成分模型识别装置，识别提供给其的概率密度函数中所包含的确定成分的类型，包括：计算概率密度函数在规定的变量轴上的频谱的频谱计算部；检测频谱在变量轴上的空值的空值检测部；基于空值检测部检测出的空值，对预先确定的多种类型的确定成分的每一个，分别计算确定成分的频谱的理论值的理论值计算部；将从频谱计算部计算的频谱减去各种类型的确定成分的频谱的理论值而得到的对数振幅频谱差，最接近于高斯分布的频谱的确定成分的类型，判定为概率密度函数中所包含的确定成分的类型的模型判定部。
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公开(公告)号：CN100495678C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200510064278.6
申请日：2005-04-14
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2894
Abstract: 本发明涉及一种半导体测试系统及方法。一个第一计算机产生一个新版栅道法则以及传递新版栅道法则。一个第二计算机透过一个网络接收新版栅道法则，取得一个测试结果，将测试结果带入新版栅道法则以产生一个建议报告。其中测试结果包括相应于一个测试属性的一个测试值，当测试值满足测试属性的一个特定条件时，新版栅道法则决定一个最后建议，而建议报告包含最后建议。本发明提供的半导体测试系统及方法，可产生一致的最后建议。
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