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公开(公告)号：CN102540804B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201110332405.1
申请日：2011-10-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G01J3/502 , G01J3/02 , G01J3/0237 , G01J3/0248 , G01J3/04 , G01J3/20 , G01J3/28 , G01J3/2803 , G01J3/50 , G01J2003/2866
Abstract: 本发明涉及分光比色设备以及包括该分光比色设备的图像形成设备。该分光比色设备包括外壳，该外壳包括侧壁。侧壁的外表面是能够在将所述线性传感器附接到调整表面的同时通过移动调整所述线性传感器的位置的调整表面。线性传感器在邻接调整表面的同时被外壳的侧壁支撑并且接收由凹面反射型衍射元件色散并且通过开口部分的光束。调整表面平行于所述凹面反射型衍射元件的罗兰圆的由所述线性传感器接收的光束通过的部分处的切线。
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公开(公告)号：CN102762966A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201080064168.9
申请日：2010-04-29
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
Inventor： 柯正浩
CPC classification number: G02B6/34 , G01J3/0256 , G01J3/04 , G01J3/20 , G01J3/2803 , G02B6/26
Abstract: 一种具有锥状狭缝（34）的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构（30）。其中，微型光谱仪的光机模块包含一输入部（20）以及一微型绕射光栅（40）。输入部（20）包含一狭缝结构（30），其接收一第一光学信号（S1）并输出一第二光学信号（S2）沿着一第一光路（OP1）行进。狭缝结构（30）包含一基板（32）及一狭缝（34），狭缝（34）贯穿基板（32），且狭缝（34）从基板（32）的一第一面（32A）到基板（32）的一第二面（32B）具有渐缩的尺寸。微型绕射光栅（40）设置于第一光路（OP1）上，接收第二光学信号（S2）并将第二光学信号（S2）分离成多个光谱分量（C）沿着一第二光路（OP2）行进。本发明实施例的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构，可以利用半导体制造工艺来大量生产，降低成本，并且可使狭缝具有平滑的表面，以免对于入射光造成反效果。
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公开(公告)号：CN107148561A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201580059914.8
申请日：2015-09-10
Applicant: 电子光子集成电路股份有限公司 , 何盛章 , 黄莹彦
CPC classification number: G01J3/20 , G01J3/0218 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/1895 , G01J3/24 , G01J3/28 , G01J2003/1842 , G01J2003/1847 , G02B5/1861 , G02B6/29326 , G02B6/2938
Abstract: 本申请公开一种包括紧凑曲线光栅（CCG）及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪（CCGS）或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器（WMDM）模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小（分辨率对比尺寸）RS因数。可以调节入射狭缝和检测器的位置以便得到针对特定设计目的的最佳性能。使用与工作波长相关的指定公式计算起始槽间隔。基于两个条件计算槽的位置。第一个条件是相邻槽之间的程差应是介质中的波长的整数倍，从而甚至在具有与所述入射狭缝或输入狭缝的大光束衍射角的情况下在所述检测器或第一锚定输出狭缝处获得无像差光栅聚焦，第二个条件是针对曲线光栅光谱仪的特定设计目的而特设的条件。
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公开(公告)号：CN102762966B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201080064168.9
申请日：2010-04-29
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
Inventor： 柯正浩
CPC classification number: G02B6/34 , G01J3/0256 , G01J3/04 , G01J3/20 , G01J3/2803 , G02B6/26
Abstract: 一种具有锥状狭缝（34）的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构（30）。其中，微型光谱仪的光机模块包含一输入部（20）以及一微型绕射光栅（40）。输入部（20）包含一狭缝结构（30），其接收一第一光学信号（S1）并输出一第二光学信号（S2）沿着一第一光路（OP1）行进。狭缝结构（30）包含一基板（32）及一狭缝（34），狭缝（34）贯穿基板（32），且狭缝（34）从基板（32）的一第一面（32A）到基板（32）的一第二面（32B）具有渐缩的尺寸。微型绕射光栅（40）设置于第一光路（OP1）上，接收第二光学信号（S2）并将第二光学信号（S2）分离成多个光谱分量（C）沿着一第二光路（OP2）行进。本发明实施例的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构，可以利用半导体制造工艺来大量生产，降低成本，并且可使狭缝具有平滑的表面，以免对于入射光造成反效果。
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公开(公告)号：CN102741716B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201180005838.4
申请日：2011-01-10
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
Inventor： 柯正浩
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/20
Abstract: 一种能消除拖尾效应的光谱仪包含一本体及装设至本体的一输入部、一绕射光栅、一影像感测器以及一波导装置。输入部接收一第一光学信号并输出一第二光学信号沿着一第一光路行进。绕射光栅接收第二光学信号并将第二光学信号分离成多个光谱分量，所述光谱分量包含一特定光谱分量，其沿着一第二光路行进。影像感测器接收此特定光谱分量。波导装置包含两个彼此面对的第一与第二反射面，将第一光路及第二光路限制于第一与第二反射面之间，以导引第二光学信号及此特定光谱分量。第一及第二反射面与影像感测器的一收光面彼此隔开一预定间隙。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107003181A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580062265.7
申请日：2015-01-23
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0243 , G01J3/0202 , G01J3/024 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/20
Abstract: 一种光谱仪（100）及其（100）光输入部（32）。光输入部（32）包括一组装结构（322），组装结构（322）形成于光输入部（32）的一贯通孔（3211）的孔壁（321），其中一光线（L1）在通过贯通孔（3211）后能沿着光路径（13）而入射至光谱仪（100）的一分光件（2），以使分光件（2）对光线（L1）分光，组装结构（322）用于可拆卸地组装一光学元件（200），当光学元件（200）组装于组装结构（322）时，光学元件（200）的一光轴衔接于光路径（13），以使通过光学元件（200）的一光线（L1）沿着光轴与光路径（13）而入射至分光件（2）。
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公开(公告)号：CN106461459A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580027587.8
申请日：2015-05-26
Applicant: 英特尔公司
CPC classification number: G02B6/4295 , G01J3/0218 , G01J3/0237 , G01J3/0259 , G01J3/0297 , G01J3/1809 , G01J3/1895 , G01J3/20 , G01J3/32 , G02B6/12004 , G02B6/12007 , G02B6/124 , G02B6/3508
Abstract: 用于单片光子集成电路（PIC）以提供光谱测定功能的技术和机制。在实施例中，PIC包括光子器件、第一波导和第二波导，其中第一波导和第二波导中的一个包括相对于PIC的衬底自由移动的释放部分。在评估被测材料的计量周期期间，控制逻辑操作致动器以相对于光子器件连续地配置释放部分的多个位置。在另一个实施例中，在计量周期期间，来自第一波导的光被光子器件的光栅不同地衍射，其中将光的部分引导到第二波导中。对于释放部分的不同位置，可能连续地检测衍射到第二波导中的光的不同波长，以确定在波长范围上的光谱测定测量。
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公开(公告)号：CN106092317A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610415737.9
申请日：2016-06-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01J3/20
CPC classification number: G01J3/20
Abstract: 一种高精度Xe介质放电等离子体极紫外光刻光源光谱标定的方法，涉及光谱识别领域。本发明是为了解决现有的采用Hg灯对8nm～20nm范围内的线状谱进行标定，谱线的标定准确性差，导致对光谱的识别性差的问题。本发明第一步采用真空紫外阴极灯对罗兰圆谱仪进行初步标定，工作气体为He气；第二步采用He气和Ar气介质毛细管放电机制工作，通过He气和Ar气的线状谱对罗兰圆谱仪进行精确地标定。它用于对光谱进行标定。
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公开(公告)号：CN102713541A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080052222.8
申请日：2010-11-18
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01J3/20
Abstract: 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计，其包括：入射狭缝（3），适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束（5）；凹面衍射光栅（1），适合于接收具有入射角α的所述入射光束（5）并衍射所述光束以形成衍射光束，所述衍射光束与所述光栅（1）的法线形成角β(λ)；至少一个凹面镜（8、8a、8b、8c），由具有半径为rcyl的圆形截面的柱面的一部分构成，所述镜（8、8a、8b、8c）适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）并将所述光束聚焦在至少一个出射狭缝（4、4a、4b、4c）上；以及至少一个光检测器（9、9a、9b、9c），其被光学耦合到所述出射狭缝（4、4a、4b、4c）以测量被衍射并由柱面镜（8、8a、8b、8c）聚焦的所述光束。根据本发明，所述镜（8、8a、8b、8c）位于叶形线上，该叶形曲线在所述衍射光栅（1）的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）在罗兰圆（2）上的焦点相距距离d(λ)处，其中：d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。
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公开(公告)号：CN104483820A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410767630.1
申请日：2011-10-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03G15/00
CPC classification number: G01J3/502 , G01J3/02 , G01J3/0237 , G01J3/0248 , G01J3/04 , G01J3/20 , G01J3/28 , G01J3/2803 , G01J3/50 , G01J2003/2866 , G03G15/5062 , G03G15/01
Abstract: 本发明涉及分光比色设备以及包括该分光比色设备的图像形成设备。该分光比色设备包括外壳，该外壳包括侧壁。侧壁的外表面是能够在将所述线性传感器附接到调整表面的同时通过移动调整所述线性传感器的位置的调整表面。线性传感器在邻接调整表面的同时被外壳的侧壁支撑并且接收由凹面反射型衍射元件色散并且通过开口部分的光束。调整表面平行于所述凹面反射型衍射元件的罗兰圆的由所述线性传感器接收的光束通过的部分处的切线。
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