公开(公告)号：CN106461459A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580027587.8

申请日：2015-05-26

Applicant: 英特尔公司

Inventor： D.N.哈基森 ,  金奎贤 ,  荣海生 ,  J.赫克 ,  徐晟波

IPC: G01J3/18 ,  G02B6/122 ,  G01N21/27

CPC classification number: G02B6/4295 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0297 ,  G01J3/1809 ,  G01J3/1895 ,  G01J3/20 ,  G01J3/32 ,  G02B6/12004 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/124 ,  G02B6/3508

Abstract: 用于单片光子集成电路（PIC）以提供光谱测定功能的技术和机制。在实施例中，PIC包括光子器件、第一波导和第二波导，其中第一波导和第二波导中的一个包括相对于PIC的衬底自由移动的释放部分。在评估被测材料的计量周期期间，控制逻辑操作致动器以相对于光子器件连续地配置释放部分的多个位置。在另一个实施例中，在计量周期期间，来自第一波导的光被光子器件的光栅不同地衍射，其中将光的部分引导到第二波导中。对于释放部分的不同位置，可能连续地检测衍射到第二波导中的光的不同波长，以确定在波长范围上的光谱测定测量。

公开(公告)号：CN105849569B

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201480062268.6

申请日：2014-11-19

Applicant: 英特尔公司

Inventor： D.N.哈基森 ,  J.赫克

IPC: G01P15/14 ,  H01S3/101 ,  G02B6/42

Abstract: 本公开的实施例涉及用于MEMS装置的技术和配置，MEMS装置被配置为确定施加到装置的惯性改变。在一个实例中，该装置可以包括：激光装置，被配置成生成具有谐振波长的光束；波导，配置为接收并输出所述光束；以及光学谐振器，包括可变形闭合环路并且光学耦合到所述波导以接收所述光束的一部分。光学谐振器的变形可以导致行进穿过光学谐振器的光束的一部分的光路长度改变，从而引起由波导输出的光束的谐振波长的改变。其它实施例可以被描述和/或要求保护。

公开(公告)号：CN105849569A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201480062268.6

申请日：2014-11-19

Applicant: 英特尔公司

Inventor： D.N.哈基森 ,  J.赫克

IPC: G01P15/14 ,  H01S3/101 ,  G02B6/42

Abstract: 本公开的实施例涉及用于MEMS装置的技术和配置，MEMS装置被配置为确定施加到装置的惯性改变。在一个实例中，该装置可以包括：激光装置，被配置成生成具有谐振波长的光束；波导，配置为接收并输出所述光束；以及光学谐振器，包括可变形闭合环路并且光学耦合到所述波导以接收所述光束的一部分。光学谐振器的变形可以导致行进穿过光学谐振器的光束的一部分的光路长度改变，从而引起由波导输出的光束的谐振波长的改变。其它实施例可以被描述和/或要求保护。