公开(公告)号：CN118539901A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410595274.3

申请日：2024-05-14

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  哈尔滨工业大学(威海)

Inventor： 张延超 ,  郜键 ,  欧阳辰穗 ,  孙剑峰 ,  王骐

IPC: H03K3/02 ,  H03K5/12 ,  H03K5/04

Abstract: 一种下降沿斜率程序可调的高速高压脉冲产生方法及电路，属于电子电路技术领域，本发明为解决现有目前高速高压脉冲信号的下降沿斜率可调性差，并不能满足电光调Q二氧化碳激光器要求的问题。本发明采用两个串联的MOSFET作为产生高速高压脉冲的开关器件，采用n个串联连接的延迟线芯片生成n个驱动窄脉冲对第二主MOSFET的输入电容逐次充电，使第二主MOSFET栅极电压缓慢上升；通过调节任意相邻两个延迟线芯片之间的时间间隔，实现驱动窄脉冲间的时间间隔程序可调，进而控制第二主MOSFET栅极电压上升的速度，以控制第二主MOSFET漏源间电压曲线下降沿斜率，实现开关器件输出的高速高压脉冲信号下降沿斜率可调。

公开(公告)号：CN109507656B

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201811353451.8

申请日：2018-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙剑峰 ,  王骐 ,  周鑫 ,  刘迪 ,  王海虹 ,  郜键

IPC: G01S7/484 ,  G01S7/486 ,  G01S17/894

Abstract: 适用于单光子激光成像雷达的自适应控制的收发光学系统，属于单光子激光成像雷达技术应用领域。本发明解决了现有Gm‑APD受固有回波动态范围大及自身环境适应性较差限制激光成像性能稳定性的问题。本发明的可变光阑设置在接收光学系统上，发射光学系统固定安装在接收光学系统上，接收光学系统的光轴与发射光学系统的光轴平行，光阑电机与可变光阑建立驱动连接，变焦电机与发射光学系统的变焦镜片建立驱动连接，Gm‑APD探测器与接收光学系统建立固定安装。本发明的变焦发射系统，能够自主调整发射光斑功率密度，缓解大动态范围引发的增益饱和等问题；可变光阑接收系统，能够自主调整接收光学口径，抑制背景光、目标杂光等噪声，实现最优信噪比接收。

公开(公告)号：CN107479048A

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201710751690.8

申请日：2017-08-28

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙剑峰 ,  李献杰 ,  郜键 ,  王骐

IPC: G01S7/481

CPC classification number: G01S7/4816

Abstract: InGaAs材料MSM结构光电混频探测器，涉及非扫描激光四维成像雷达领域，为了满足FM/CW体制的InGaAs材料MSM结构探测器的需求。本发明所包括的像元采用64×64阵列式排布，每个像元包括衬底、缓冲层、吸收层、缓变层、势垒增强层和叉指电极；衬底上依次设置缓冲层、吸收层、缓变层、势垒增强层和叉指电极，吸收层的材料为InGaAs；每个像元的长和宽均为60μm。本发明适用于光电混频探测。

公开(公告)号：CN104923808B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201510363157.5

申请日：2015-06-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王骐 ,  徐强 ,  赵永蓬

IPC: B23B21/00

Abstract: 极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，属于极紫外光刻光源收集镜的刀架加工技术领域。它为了解决加工中由于车刀颤抖，使镜片表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题。本发明所述的刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体，刀座是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，圆柱体与长方体为一体件，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑。适用于作为极紫外光刻光源收集镜车削加工的刀架。

公开(公告)号：CN105892240A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610437955.2

申请日：2016-06-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 祝东远 ,  王骐 ,  徐强 ,  赵永蓬

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70825 ,  G03F7/2004 ,  G03F7/70016

Abstract: 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。

公开(公告)号：CN105865758A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201610437953.3

申请日：2016-06-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 祝东远 ,  徐强 ,  王骐

IPC: G01M11/02 ,  G02B7/02

CPC classification number: G01M11/02 ,  G02B7/021 ,  G02B7/025

Abstract: 极紫外光收集镜系统的检测装置及应用该检测装置对极紫外光收集镜系统进行装配的方法，涉及光收集系统检测领域。解决了现有的极紫外光收集镜系统的集成性差、获得极紫外光的功率低的问题。它包括光源出射器和收集镜系统支撑架、CCD传感器、传感器支撑架和计算机；收集镜系统支撑架上固定有极紫外光收集镜系统，CCD传感器位于传感器支撑架上，且CCD传感器和传感器支撑架均位于收集镜系统支撑架下方，CCD传感器的数据信号输出端与计算机的数据信号输入端连接，光源出射器出射面光经极紫外光收集镜系统掠入射反射后，汇聚至CCD传感器，计算机用于测量CCD传感器接收到的光斑和记录光斑信息。用于对极紫外光收集镜系统进行性能检测。

公开(公告)号：CN103196569B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201310140099.0

申请日：2013-04-22

Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)

Inventor： 田兆硕 ,  孙正和 ,  张延超 ,  付石友 ,  孙剑锋 ,  王骐

IPC: G01J9/02

Abstract: 本发明涉及一种旋转法布里-珀罗干涉镜测量激光波长的方法，用一个两表面互相平行的透明平面镜作干涉镜，把该干涉镜垂直放置固定在一水平转台上，将一束待测激光水平入射到垂直放置的干涉镜上；通过数据采集卡控制步进电机带动转台转动，使待测激光对干涉镜的入射角连续匀速改变；通过功率计连续记录待测激光各个入射角对应的透射激光功率；通过所述计算机编写界面，显示各个入射角对应的透过激光功率并绘制激光透过率随激光入射角变化的曲线；根据该曲线得到各个透过率峰值对应的激光入射角角度值，进而由相位差公式计算得出待测激光的波长。本发明操作简单，测量精确度较高，稳定性高，系统所用仪器取材方便、造价成本低，维护方便。

公开(公告)号：CN103447552B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201310438498.5

申请日：2013-09-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵永蓬 ,  徐强 ,  王骐

IPC: B23B5/00 ,  B23B1/00 ,  B23P15/00

Abstract: 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法，它涉及一种光学收集镜粗加工方法，以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底，按照此方案的技术要求，加工过程中精度控制要求非常严格，增加了加工成本的问题，所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法是按照以下步骤实现：一、坯料粗车，首先将铝合金坯料利用普通车床粗车成筒形工件；二、数控车削，由数控车床按收集镜面型车削筒形工件。本发明用于EUV光源中光学收集镜直接车削加工粗加工。

公开(公告)号：CN104617809A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201510084938.0

申请日：2015-02-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王骐 ,  徐强 ,  赵永蓬

IPC: H02M9/06

Abstract: 一种Xe介质毛细管放电检测用光源的主脉冲电源，涉及Xe介质毛细管放电技术。它为了解决常规电源无法满足Xe介质毛细管放电检测用光源的要求的问题。三相交流电源通过一号变压器与初级充电电路连接，初级充电电路采用交流调压的充电电路，初级充电电路为中间储能脉冲形成电路充电，中间储能脉冲形成电路采用储能电容实现，中间储能脉冲形成电路的输出端通过二号变压器将能量传递给脉冲压缩电路，脉冲压缩电路通过磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化，最终在负载上形成所需的脉冲。通过选择磁压缩回路中的电容、电感值，实现与光源等离子体匹配，从而更有效地实现Z箍缩。适合作为13.5nmXe介质毛细管放电检测用光源的电源。

公开(公告)号：CN104597725A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201510084924.9

申请日：2015-02-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王骐 ,  徐强 ,  赵永蓬

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种毛细管放电EUV光源的真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术。包括真空室I和真空室II两部分，真空室I的一端连接放电室，另一端与真空室II相连通，在放电室与真空室I连接处，设置有EUV光源的毛细管，真空室I与真空室II的连接处设置有收集镜支架，该收集镜支架的支撑杆上开有多个凹槽，用于安装收集系统的光学收集镜，真空室II的末端用于连接光刻机照明系统，所述末端的壁上设置有窗口，毛细管发出的极紫外光经过光学收集系统后聚焦在该窗口中央，并通过该窗口进入照明系统，本发明的真空室是针对上述多层wolte-I型的光学收集系统而设计的，与常规的真空室相比，不仅具有良好的真空度，而且收集效率高。