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公开(公告)号：CN105928618A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610227322.9
申请日：2016-04-13
Applicant: 武汉大学
CPC classification number: G01J3/44 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J2003/1842
Abstract: 本发明公开一种同时检测三相态水Raman谱信号的双光栅光谱仪系统。包括信号馈入单元、光学色散单元和信号检测单元。信号馈入单元采用一根芯径0.6 mm、数值孔径0.12的光纤将传导的信号光馈入光学色散单元；光学色散单元包含两组级联的准Littrow结构布局的光栅色散系统，能高效传输并以1.0 mm nm‑1的线色散率将393.0‑424.0nm范围通带信号光在焦面上色散，同时对带外354.8 nm附近光产生优于6个数量级的抑制；信号检测单元能以0.8 nm的谱精度分辨与记录色散后的通带信号光。在354.8 nm紫外激光辐射下，气态、液态和固态水的振转Raman谱区依次对应395‑409 nm、396‑410 nm和401‑418 nm范围；本发明通带光谱范围覆盖了三相态水的振转Raman谱区，实现对三相态水Raman谱信号的同时检测，还能对354.8 nm附近光信号产生大幅抑制。
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公开(公告)号：CN107192454A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201710565864.1
申请日：2017-07-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/28 , G01J3/18 , G01J3/02 , G01N21/3586 , G01N21/01
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/18 , G01J2003/1842 , G01N21/01 , G01N21/3586 , G01N2021/0112
Abstract: 本发明公开了一种基于立体相位光栅和孔径分割技术的THz光谱成像仪，所述THz光谱成像仪由前置镜、前置视场光阑、前置准直镜、立体相位光栅、后置会聚镜、后置视场光阑、后置准直镜、子孔径成像镜、探测器、探测器控制处理系统和控制采集处理计算机组成。所述探测器以孔径分割方式同时获取目标场景被立体相位光栅N个元胞所衍射的N个零级衍射光的光强信息，依据立体相位光栅的N个元胞所对应的N个光程差，获得N组光程差与光强的对应关系数据，通过傅里叶变换，实时获取目标的THz谱和像，适用于THz光谱检测、分析等相关领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104296868A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410545740.3
申请日：2014-10-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/28 , G01J2003/1842
Abstract: 本发明公开了一种光谱仪的设计方法以及光谱仪，使用凹面光栅、三个入射狭缝和三个光探测器搭建光谱仪，包括以下步骤：1)确定第二入射狭缝的入射角以及凹面光栅的槽型周期；2)估算凹面光栅的闪耀角，确定凹面光栅的表面材料和槽型结构；3)获取入射角度为θA2时和多个角度下凹面光栅的波长-衍射效率曲线；4)确定入射角θAl和θA3的值以及波长λ2和λ3的值，并取λ4等于λ2；5)得到记录结构参数以及使用结构参数；6)确定凹面光栅的制作参数；7)确定三个入射狭缝和三个光探测器相对于所述凹面光栅的位置，从而搭建得到光谱仪。本发明的设计方法得到的光谱仪，在大部分光谱区域内具有较高的衍射效率，有效解决宽光谱区域内衍射效率较低的问题。
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公开(公告)号：CN106706130A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201710037295.3
申请日：2017-01-19
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/28 , G01J3/18 , G01J3/02 , G01N21/3586 , G01N21/01
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/18 , G01J2003/1842 , G01N21/01 , G01N21/3586 , G01N2021/0112
Abstract: 本发明公开了一种基于立体相位光栅和孔径分割技术的THz光谱成像仪，所述THz光谱成像仪由前置镜、前置视场光阑、前置准直镜、立体相位光栅、后置会聚镜、后置视场光阑、后置准直镜、子孔径成像镜、探测器、探测器控制处理系统和控制采集处理计算机组成。所述探测器以孔径分割方式同时获取目标场景被立体相位光栅N个元胞所衍射的N个零级衍射光的光强信息，依据立体相位光栅的N个元胞所对应的N个光程差，获得N组光程差与光强的对应关系数据，通过傅里叶变换，实时获取目标的THz谱和像，适用于THz光谱检测、分析等相关领域。
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公开(公告)号：CN104296868B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410545740.3
申请日：2014-10-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/28 , G01J2003/1842
Abstract: 本发明公开了一种光谱仪的设计方法以及光谱仪，使用凹面光栅、三个入射狭缝和三个光探测器搭建光谱仪，包括以下步骤：1)确定第二入射狭缝的入射角以及凹面光栅的槽型周期；2)估算凹面光栅的闪耀角，确定凹面光栅的表面材料和槽型结构；3)获取入射角度为θA2时和多个角度下凹面光栅的波长-衍射效率曲线；4)确定入射角θAl和θA3的值以及波长λ2和λ3的值，并取λ4等于λ2；5)得到记录结构参数以及使用结构参数；6)确定凹面光栅的制作参数；7)确定三个入射狭缝和三个光探测器相对于所述凹面光栅的位置，从而搭建得到光谱仪。本发明的设计方法得到的光谱仪，在大部分光谱区域内具有较高的衍射效率，有效解决宽光谱区域内衍射效率较低的问题。
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公开(公告)号：CN107389190A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710627660.6
申请日：2017-07-28
Applicant: 华东师范大学
IPC: G01J3/18
CPC classification number: G01J3/18 , G01J2003/1842
Abstract: 本发明公开了一种在硅圆片上单片集成的微型光谱仪，其特点是采用硅片刻蚀及沉积金属工艺将色散系统和红外传感器集成在单片硅片上，实现光路与红外探测集成和兼容的光学结构，使入射光在硅圆片平面方向进入，经色散系统分光后到达红外传感器进行红外光的探测，其制作方法包括：刻蚀传感器凹槽后依次沉积氧化硅、氮化硅、钛和铝层并图形化，然后释放形成色散系统和红外探测器结构。本发明与现有技术相比在单片硅片上实现了折叠切尔尼-特纳结构，并在同一硅片上与光学传感器集成，光线沿硅片平面方向入射，避免了光线垂直入射，较好的解决了透射光栅零级条纹不可用等缺点，解决了普通微型光谱仪光学路径受到硅片厚度限制的问题，同时单片集成避免了键合工艺，简化了工艺，具有工艺简单，结构尺寸小的特点，尤其满足了光谱仪小型化、低成本的应用要求。
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公开(公告)号：CN107148561A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201580059914.8
申请日：2015-09-10
Applicant: 电子光子集成电路股份有限公司 , 何盛章 , 黄莹彦
CPC classification number: G01J3/20 , G01J3/0218 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/1895 , G01J3/24 , G01J3/28 , G01J2003/1842 , G01J2003/1847 , G02B5/1861 , G02B6/29326 , G02B6/2938
Abstract: 本申请公开一种包括紧凑曲线光栅（CCG）及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪（CCGS）或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器（WMDM）模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小（分辨率对比尺寸）RS因数。可以调节入射狭缝和检测器的位置以便得到针对特定设计目的的最佳性能。使用与工作波长相关的指定公式计算起始槽间隔。基于两个条件计算槽的位置。第一个条件是相邻槽之间的程差应是介质中的波长的整数倍，从而甚至在具有与所述入射狭缝或输入狭缝的大光束衍射角的情况下在所述检测器或第一锚定输出狭缝处获得无像差光栅聚焦，第二个条件是针对曲线光栅光谱仪的特定设计目的而特设的条件。
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