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公开(公告)号：CN114599945A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080075174.8
申请日：2020-11-06
申请人： 日立高科技分析科学有限公司
发明人： 海因茨·尤尔根·格拉夫 , 莱纳·西蒙斯
摘要： 一种光谱仪设备(100)，包括入射孔径(2)、衍射光栅(3)、对进入的光(L)进行光谱测量两个检测器(5a，5b)，检测器位于偏转平面的同一侧。两个垂直聚焦镜(4，4a，4b)将光聚焦到探测器上，其沿两个多边形图形(6a，6b)排列成前排镜(4b)和后排镜(4a)，前排镜和后排镜相互之间偏移并和焦点曲线偏移。前排镜的偏转角小于90°，可以使前排镜(4b)对焦点曲线的偏移(d1)最小。前排镜和相应的检测器(5b)之间的距离(d1)最小，同时仍然避免检测器(5b)及其支架与后排检测器(5a)及其支架之间的碰撞。前排镜元件与相邻的后排镜元件重叠。
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公开(公告)号：CN109682469A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811543754.6
申请日：2015-09-10
申请人： 电子光子集成电路股份有限公司 , 何诚中 , 黄莹彦
摘要： 本申请公开一种包括紧凑曲线光栅(CCG)及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪(CCGS)或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器(WMDM)模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小(分辨率对比尺寸)RS因数。可以调节入射狭缝和检测器的位置以便得到针对特定设计目的的最佳性能。使用与工作波长相关的指定公式计算起始槽间隔。基于两个条件计算槽的位置。第一个条件是相邻槽之间的程差应是介质中的波长的整数倍，从而甚至在具有与所述入射狭缝或输入狭缝的大光束衍射角的情况下在所述检测器或第一锚定输出狭缝处获得无像差光栅聚焦，第二个条件是针对曲线光栅光谱仪的特定设计目的而特设的条件。
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公开(公告)号：CN109682469B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201811543754.6
申请日：2015-09-10
申请人： 电子光子集成电路股份有限公司 , 何诚中 , 黄莹彦
摘要： 本申请公开一种包括紧凑曲线光栅(CCG)及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪(CCGS)或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器(WMDM)模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小(分辨率对比尺寸)RS因数。可以调节入射狭缝和检测器的位置以便得到针对特定设计目的的最佳性能。使用与工作波长相关的指定公式计算起始槽间隔。基于两个条件计算槽的位置。第一个条件是相邻槽之间的程差应是介质中的波长的整数倍，从而甚至在具有与所述入射狭缝或输入狭缝的大光束衍射角的情况下在所述检测器或第一锚定输出狭缝处获得无像差光栅聚焦，第二个条件是针对曲线光栅光谱仪的特定设计目的而特设的条件。
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公开(公告)号：CN102713541B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201080052222.8
申请日：2010-11-18
申请人： 堀场乔宾伊冯公司
CPC分类号： G01J3/36 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01J3/20
摘要： 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计，其包括：入射狭缝（3），适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束（5）；凹面衍射光栅（1），适合于接收具有入射角α的所述入射光束（5）并衍射所述光束以形成衍射光束，所述衍射光束与所述光栅（1）的法线形成角β(λ)；至少一个凹面镜（8、8a、8b、8c），由具有半径为rcyl的圆形截面的柱面的一部分构成，所述镜（8、8a、8b、8c）适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）并将所述光束聚焦在至少一个出射狭缝（4、4a、4b、4c）上；以及至少一个光检测器（9、9a、9b、9c），其被光学耦合到所述出射狭缝（4、4a、4b、4c）以测量被衍射并由柱面镜（8、8a、8b、8c）聚焦的所述光束。根据本发明，所述镜（8、8a、8b、8c）位于叶形线上，该叶形曲线在所述衍射光栅（1）的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）在罗兰圆（2）上的焦点相距距离d(λ)处，其中：d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。
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公开(公告)号：CN101263372A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200680026072.7
申请日：2006-05-17
申请人： 霍尼韦尔国际公司
IPC分类号： G01J3/20
CPC分类号： G01J3/0256 , G01J3/0208 , G01J3/20
摘要： 一种具有多晶片结构的光谱仪(10，20，30，40，50)。该结构可以利用MEMS技术来制造。该光谱仪可以与流体分析器(110)集成。连同光发射点(17)和检测器(19)一起位于罗兰圆(15)的圆周上的诸如衍射或全息光栅的反射光栅(14)可以是光谱仪的配置。一些配置可使用外部光源，其中光可被光学传送到该圆上的发射点(17)。可以存在拉曼配置，其中光和流体分析器中的通道的样品或交互式薄膜(49)的相互作用是光谱仪的光发射点。在光谱仪的一些配置中，光栅(14，55)和/或薄膜可以是反射的或透射的。
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公开(公告)号：CN112945380A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201911177502.0
申请日：2019-11-26
申请人： 中国科学院国家空间科学中心
摘要： 本发明属于太阳辐射探测技术领域，具体涉及一种紧凑型高分辨率宽波段紫外光谱仪，包括：支撑架(7)、一次折返镜(2)、二次折返镜(3)、罗兰圆光栅(4)和球面镜(5)；支撑架(7)的一侧开有入射狭缝(1)，支撑架(7)内的底部固有一次折返镜(2)，且与入射狭缝(1)相对放置；一次折返镜(2)的斜上方固有二次折返镜(3)，且与一次折返镜(2)相对放置；二次折返镜(3)的斜上方固有罗兰圆光栅(4)，且与二次折返镜(3)相对放置；罗兰圆光栅(4)的斜上方固有球面镜(5)；支撑架(7)另一侧开有多个出射狭缝(6)，且多个出射狭缝(6)位于球面镜(5)的斜上方；达到结构紧凑的光路、高光谱分辨率和宽波段覆盖。
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公开(公告)号：CN112912701A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201980068536.8
申请日：2019-11-19
申请人： 株式会社日立高新技术
摘要： 分光光度计(300)包括白色光源(212)、对从白色光源(212)释放的光进行聚光的聚光透镜(242a、242b)、对由聚光透镜(242a、242b)聚光后的光进行衍射的狭缝(245)、对通过狭缝(245)的光进行分光的凹面衍射光栅(246)、以及具有对由凹面衍射光栅(246)分光后的光进行检测的多个光检测元件(304)的多波长检测器(248)，多波长检测器(248)具有的多个光检测元件(304)中的各个配置于凹面衍射光栅(246)的成像位置。
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公开(公告)号：CN102762966A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201080064168.9
申请日：2010-04-29
申请人： 台湾超微光学股份有限公司
发明人： 柯正浩
CPC分类号： G02B6/34 , G01J3/0256 , G01J3/04 , G01J3/20 , G01J3/2803 , G02B6/26
摘要： 一种具有锥状狭缝（34）的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构（30）。其中，微型光谱仪的光机模块包含一输入部（20）以及一微型绕射光栅（40）。输入部（20）包含一狭缝结构（30），其接收一第一光学信号（S1）并输出一第二光学信号（S2）沿着一第一光路（OP1）行进。狭缝结构（30）包含一基板（32）及一狭缝（34），狭缝（34）贯穿基板（32），且狭缝（34）从基板（32）的一第一面（32A）到基板（32）的一第二面（32B）具有渐缩的尺寸。微型绕射光栅（40）设置于第一光路（OP1）上，接收第二光学信号（S2）并将第二光学信号（S2）分离成多个光谱分量（C）沿着一第二光路（OP2）行进。本发明实施例的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构，可以利用半导体制造工艺来大量生产，降低成本，并且可使狭缝具有平滑的表面，以免对于入射光造成反效果。
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公开(公告)号：CN101256144B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810102876.1
申请日：2008-03-28
申请人： 清华大学
摘要： 真空紫外光谱检测装置属于光谱分析领域。该装置包括：入口狭缝(2)，凹面光栅(3)，光纤阵列(4)和平板检测器(5)。入口狭缝(2)和凹面光栅(3)安装于真空腔体(1)之中，光纤阵列(4)的一个端面与由入口狭缝(2)和凹面光栅(3)所决定的罗兰圆面重合。光纤阵列(4)的该端面涂有可将真空紫外光转化为可见光的荧光物质，另一端面分叉为多个子光纤阵列，子光纤阵列的端面为平面并分别与一个平板检测器(5)相连接。本装置有同时测量一定波长范围内真空紫外光谱的能力，并达到掠入射光栅真空紫外光谱仪的光谱和像素分辨率，检测的时间响应好且有很高的灵敏度；真空腔体内无需可移动部件，结构简单可靠。
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公开(公告)号：CN113383217A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202080012323.6
申请日：2020-01-23
申请人： 耶拿分析仪器有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于分析样品的原子吸收光谱仪(1)，该原子吸收光谱仪(1)包括：辐射源单元(2)，其用于生成测量光束(3)；雾化单元(4)，其用于使样品雾化，以使得被雾化的样品的位于测量光束(3)的光束路径中；以及检测单元(5)，其用于检测测量光束(3)的吸收。辐射源单元(2)包括至少一个发光二极管(9)。根据本发明，检测单元(5)包括多色仪装置，特别是高分辨率多色仪装置，作为光谱测定装置(6)。
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