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公开(公告)号：CN103439292B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201310412853.1
申请日：2013-09-11
Applicant: 清华大学
IPC: G01N21/39
Abstract: 本发明公开了一种多通道激光吸收光谱测量系统，包括：可调节激光器组，包括多个可调节激光器；激光合成单元，用于将多个可调节激光器发出的激光汇成一束合成激光束；激光分光单元，用于将激光束合成单元发出的合成激光束分为相同的第一激光束和第二激光束；法布里-珀罗干涉仪，用于激光频率标定；第一检测器，位于法布里-珀罗干涉仪的后端，用于检测经过法布里-珀罗干涉仪后的第一激光束的强度；待测气体腔室，用于容纳待测气体；第二检测器，位于待测气体腔室的后端，用于检测经过待测气体腔室后的第二激光束的强度；和显示装置，用于显示检测结果。本发明具有可调节输出的激光波长覆盖范围大、使用过程无需频繁更换光路等优点。
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公开(公告)号：CN103592360B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201310495825.0
申请日：2013-10-21
Applicant: 清华大学
IPC: G01N27/64
Abstract: 本发明公开了一种高气压差分抽气粒子束质谱测量系统，包括:真空及取样模块、质谱仪模块和斩束锁相放大模块，其中真空及取样模块包括：真空腔、分子泵和电离真空计和取样器，取样器用于将待测样品导入真空腔，质谱仪模块包括：电离室、四极杆、检测器和数据采集处理单元，斩束锁相放大模块包括：斩束片和电机，斩束片和电机位于真空腔内，电机带动斩束片绕斩束片的中心转动，斩束片的局部位于取样器和电离室之间；发光二极管和光电二极管，发光二极管和光电二极管相对应地设置在斩束片的两侧，用于提供同步参考信号；和锁相放大器，锁相放大器分别与数据采集处理单元和光电二极管电性连接。该系统具有结构紧凑，准确可靠，可移植性好的优点。
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公开(公告)号：CN103592025B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310525282.2
申请日：2013-10-30
Applicant: 清华大学
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/1804
Abstract: 本发明公开了一种光谱分析系统，包括：切尼-特纳光路结构；光电倍增管阵列，光电倍增管阵列包括N个光电倍增管，N为正整数；光纤阵列，光纤阵列包括N组光纤，各组光纤的第一端排成与入射狭缝平行方向的一列安装在切尼-特纳光路结构的聚焦平面上，其中各组光纤的第一端收集不同波长单色光，N组光纤的第二端与N个光电倍增管一一对应地相连以将不同波长的光信号传导到不同的光电倍增管；多通道时间门控计数器；高压电源；和温度控制模块，温度控制模块与光电倍增管阵列相连，用于在进行光谱测量时将光电倍增管阵列维持在恒定的低温环境。该系统的优点在于同时具有高灵敏度和高时间分辨能力，可用于采集微弱的快速变化且不重复的光谱信号。
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公开(公告)号：CN104062492A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410265422.1
申请日：2014-06-13
Applicant: 清华大学
IPC: G01R21/06
Abstract: 本发明提出一种射频功率测量系统，包括：用于传输射频功率信号的同轴功率传输装置，包括内导体棒和外导体环，内导体棒套设在外导体环内；电压探头，设置在外导体环上，用于检测同轴功率传输装置的射频电压信号；第一电流探头和第二电流探头，设置在外导体环上且沿内导体棒的轴向分布在电压探头的两侧；信号采集与处理器，分别与电压探头、第一电流探头和第二电流探头相连，以根据电压探头检测到的射频电压信号、第一电流探头和第二电流探头检测到的射频电流信号确定射频功率信号的射频功率。本发明的射频功率测量系统，能够消除电压探头和电流探头的空间距离导致的相位误差，对射频等离子体耦合功率具有较高的测量精度，且该系统结构简单、可靠。
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公开(公告)号：CN101808459A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010125946.2
申请日：2010-03-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种用于对管状高分子材料支架内表面进行改性的低温等离子体处理装置。该装置包括：电极环(7)及石英放电管(6)，其两端分别与快速真空密封接头(13)连接，通过锁紧螺母(5)、(8)固定于真空快速转接管(4)、(9)；其中，一端通过真空转接管连接于进气口；另一端通过真空转接管连接至三通，三通的另外两端分别为气压计接口及机械泵接口。利用本发明所述装置，可产生细长、均匀的等离子体，用于对管状高分子材料支架内壁进行改性处理，使其内表面活化或接入活性基团而不改变支架本体性质，且工作温度低，不会对材料产生热损伤，在组织工程学、再生医学领域具有广阔的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103470986B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310421925.9
申请日：2013-09-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提出一种波长连续可调的高稳定宽带紫外光源发射装置，包括：积分球，包括进光口和出光口，用于将由进光口照射的光线进行混合，并由出光口发射；至少一个紫外光源；准直管；衍射装置，包括光栅，光栅位于准直管的另一端，以将由多个相互平行的出光管传输的平行光反射为预定方向的平行光；汇聚透镜，用于将预定方向的平行光进行汇聚；壳体，光栅和汇聚透镜设置在壳体内，壳体包括出射狭缝，出射狭缝用于发射由汇聚透镜汇聚后的出射光。本发明的实施例能够在较宽的紫外波段内实现对出射光的谱带中心位置和谱带宽度的连续调节，有效地避免无用的谱带产生的干扰，且该装置还具有结构简单可靠、光路稳定，操作简单的优点。
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公开(公告)号：CN104121991A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410315611.5
申请日：2014-07-03
Applicant: 清华大学
IPC: G01J3/40
Abstract: 本发明提出一种等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统，包括：第一离轴抛物面镜用于将等离子体光源产生的光信号准直为平行光；第二离轴抛物面镜，第一离轴抛物面镜和第二离轴抛物面镜呈中心对称设置，以将平行光进行汇聚并形成汇聚点；窄带干涉滤光片设置在汇聚点和第二离轴抛物面镜之间，用于对由第二离轴抛物面镜反射的光信号进行色散，以得到色散后的光信号；图像采集器设置在所述汇聚点以采集等离子体的发光图像。本发明的系统，结构简单、测量效率高。
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公开(公告)号：CN103820772A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201410049076.3
申请日：2014-02-12
Applicant: 清华大学 , 沈阳拓荆科技有限公司
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明提出一种去除PECVD装置的电荷的系统，包括：PECVD腔室，具有光源出入口；光源，用于照射PECVD腔室的内壁；驱动装置，驱动装置与光源相连，用于驱动光源从光源出入口进出PECVD腔室；挡板，位于PECVD腔室的内壁的一侧，用于开闭光源出入口；控制器，分别与光源，驱动装置和挡板相连，用于在通过驱动装置控制光源进入PECVD腔室时，控制挡板打开光源出入口并控制光源照射PECVD腔室的内壁，以及在光源移出PECVD腔室时、控制挡板关闭光源出入口。本发明的系统，可有效地去除PECVD腔室的内壁积累的电荷，结构简单、可靠，提高了整个工艺过程的稳定性。本发明还提出了一种去除PECVD装置的电荷的系统的控制方法。
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公开(公告)号：CN103592360A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310495825.0
申请日：2013-10-21
Applicant: 清华大学
IPC: G01N27/64
Abstract: 本发明公开了一种高气压差分抽气粒子束质谱测量系统，包括:真空及取样模块、质谱仪模块和斩束锁相放大模块，其中真空及取样模块包括：真空腔、分子泵和电离真空计和取样器，取样器用于将待测样品导入真空腔，质谱仪模块包括：电离室、四极杆、检测器和数据采集处理单元，斩束锁相放大模块包括：斩束片和电机，斩束片和电机位于真空腔内，电机带动斩束片绕斩束片的中心转动，斩束片的局部位于取样器和电离室之间；发光二极管和光电二极管，发光二极管和光电二极管相对应地设置在斩束片的两侧，用于提供同步参考信号；和锁相放大器，锁相放大器分别与数据采集处理单元和光电二极管电性连接。该系统具有结构紧凑，准确可靠，可移植性好的优点。
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公开(公告)号：CN103592025A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310525282.2
申请日：2013-10-30
Applicant: 清华大学
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/1804
Abstract: 本发明公开了一种光谱分析系统，包括：切尼-特纳光路结构；光电倍增管阵列，光电倍增管阵列包括N个光电倍增管，N为正整数；光纤阵列，光纤阵列包括N组光纤，各组光纤的第一端排成与入射狭缝平行方向的一列安装在切尼-特纳光路结构的聚焦平面上，其中各组光纤的第一端收集不同波长单色光，N组光纤的第二端与N个光电倍增管一一对应地相连以将不同波长的光信号传导到不同的光电倍增管；多通道时间门控计数器；高压电源；和温度控制模块，温度控制模块与光电倍增管阵列相连，用于在进行光谱测量时将光电倍增管阵列维持在恒定的低温环境。该系统的优点在于同时具有高灵敏度和高时间分辨能力，可用于采集微弱的快速变化且不重复的光谱信号。
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