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公开(公告)号:CN102269833B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201110124499.3
申请日:2011-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/1804 , G01J3/44 , G02B5/1857 , G02B5/1866 , G02B27/4261
Abstract: 本发明公开了一种光谱装置、检测装置以及光谱装置的制造方法。该光谱装置包括透射入射光的透射型衍射光栅。透射型衍射光栅具有由第一电介质形成的倾斜面,倾斜面相对于基准线倾斜排列。将向透射型衍射光栅入射的入射光相对于基准线的入射角度设为角度α,且将衍射光相对于基准线的衍射角度设为角度β。在这种情况下,入射角度α是比相对于倾斜面的布拉格角度θ小的角度,衍射角度β是比布拉格角度θ大的角度。
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公开(公告)号:CN105403311A
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:CN201510715945.6
申请日:2015-10-29
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
CPC classification number: G01J3/1804 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J2003/064 , G01J2003/1814
Abstract: 本发明涉及一种中间狭缝扫描谱仪,包括:中间狭缝,色散相减、串接的两台光栅单色仪;入射的白光经第一个光栅单色仪色散后,某一波长单色光可经中间狭缝进入第二个光栅单色仪;两台所述光栅单色仪中的光栅固定不动;该中间狭缝扫描谱仪可通过所述中间狭缝的平移完成光谱扫描。光谱定标光源,在光路上依次包括:光源、前置光学系统、中间狭缝扫描谱仪、后置光学系统。设有本发明的中间狭缝扫描谱仪的光谱定标光源,基于高精度标准探测器实时为光源单色光输出定标后,合成的白光辐照待定标仪器,定标给出仪器光谱辐照度/辐亮度响应度,方便、快捷、精度高。
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公开(公告)号:CN103339808A
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201180066671.2
申请日:2011-12-01
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: H01S3/1055 , H01S3/101
CPC classification number: H01S5/0042 , B82Y20/00 , G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/0414 , G01J3/021 , G01J3/1804 , G01J2001/4247 , G01R31/2635 , H01S5/141 , H01S5/3401
Abstract: 一种用于自动表征从半导体晶片分离的半导体条上的多个外腔半导体激光器芯片的系统和过程。该系统包括:衍射光栅,被安装在旋转台上,用于使衍射光栅转动通过衍射角范围;操纵镜,被安装在旋转台上并被定向成垂直于衍射光栅的表面;激光分析仪;以及激光器条定位台。该定位台被自动移动以使平台上的激光器条中的每个激光器芯片与衍射光栅对准(一次一个芯片),使得从激光器条中的激光器芯片发出的激光束的部分被光栅的一阶衍射反射回同一激光器芯片以锁定激射波长,并且激光束被操纵镜反射的余下部分被激光分析仪接收并表征。对于每个激光器芯片,旋转台被自动转动以使衍射光栅相对于激光器芯片所发出的激光束转动通过衍射角范围,并且激光分析仪自动地表征每个衍射角下的激光器光学性质(诸如光谱、功率或空间模式)。
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公开(公告)号:CN102308199A
公开(公告)日:2012-01-04
申请号:CN201080006474.7
申请日:2010-01-07
Applicant: 株式会社堀场制作所
Inventor: 横山一成
CPC classification number: G01N21/31 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/1804 , G01J3/42 , G01N2021/0357
Abstract: 本发明提供一种可以得到高精度的测定结果的样品分析装置,该样品分析装置包括:样品池部(2),构成多个池空间(S1)、(S2);光源部(31)、(32),向各池空间(S1)、(S2)照射相互不同波长范围的光;多个准直镜(61)、(62),与各池空间(S1)、(S2)的每一个对应设置,使透射过池空间(S1)、(S2)的透射光成为平行光;衍射光栅(7),对通过准直镜(61)、(62)成为了平行光的反射光进行分光;聚光镜(9),对通过衍射光栅(7)分光后的光进行聚光;以及光检测器(10),对通过聚光镜(9)聚集后的光进行检测。
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公开(公告)号:CN106595857A
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:CN201611192651.0
申请日:2016-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01J3/18
CPC classification number: G01J3/1804
Abstract: 本发明公开了一种单色光产生装置,至少包括入射狭缝、准直镜、光栅装置、成像镜和出射狭缝;由入射狭缝进入的光入射至准直镜,被反射成为平行光,入射到光栅装置,由成像镜接收光栅装置产生的衍射光,并将衍射光汇聚到出射狭缝,由出射狭缝射出;光栅装置包括围绕中心轴排布的至少两块光栅,光栅装置可以中心轴转动,以切换用于接收由准直镜产生的平行光的光栅。本发明单色光产生装置,光栅装置包括以中心轴对称分布的至少两块光栅,通过光栅装置以中心轴转动,实现光栅扫描以及切换不同光栅,可实现宽波段输出;对每块光栅优化设计可提高光谱分辨率。
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公开(公告)号:CN104238122B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201410261990.4
申请日:2014-06-12
Applicant: 住友电气工业株式会社
CPC classification number: G02B27/4244 , G01J3/0286 , G01J3/14 , G01J3/1804 , G02B27/1006 , G02B27/4283
Abstract: 分光设备具有:光束放大光学系统,其包含各自具有彼此倾斜的一对表面的第1及第2棱镜而构成,通过使包含多个波长成分的光穿过所述第1及第2棱镜的各个表面,从而将该光扩宽;以及分光元件,其将利用光束放大光学系统进行了扩宽的光,针对多个波长成分的每个波长成分而以不同的衍射角射出。从光束放大光学系统射出的光的出射角因温度变化而产生变动的变动方向,是对从分光元件射出的各波长成分的衍射角因温度变化而产生的变动进行抑制的方向。
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公开(公告)号:CN103339808B
公开(公告)日:2015-09-02
申请号:CN201180066671.2
申请日:2011-12-01
Applicant: 康宁股份有限公司
IPC: H01S3/1055 , H01S3/101
CPC classification number: H01S5/0042 , B82Y20/00 , G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/0414 , G01J3/021 , G01J3/1804 , G01J2001/4247 , G01R31/2635 , H01S5/141 , H01S5/3401
Abstract: 一种用于自动表征从半导体晶片分离的半导体条上的多个外腔半导体激光器芯片的系统和过程。该系统包括:衍射光栅,被安装在旋转台上,用于使衍射光栅转动通过衍射角范围;操纵镜,被安装在旋转台上并被定向成垂直于衍射光栅的表面;激光分析仪;以及激光器条定位台。该定位台被自动移动以使平台上的激光器条中的每个激光器芯片与衍射光栅对准(一次一个芯片),使得从激光器条中的激光器芯片发出的激光束的部分被光栅的一阶衍射反射回同一激光器芯片以锁定激射波长,并且激光束被操纵镜反射的余下部分被激光分析仪接收并表征。对于每个激光器芯片,旋转台被自动转动以使衍射光栅相对于激光器芯片所发出的激光束转动通过衍射角范围,并且激光分析仪自动地表征每个衍射角下的激光器光学性质(诸如光谱、功率或空间模式)。
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公开(公告)号:CN103592025B
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201310525282.2
申请日:2013-10-30
Applicant: 清华大学
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/1804
Abstract: 本发明公开了一种光谱分析系统,包括:切尼-特纳光路结构;光电倍增管阵列,光电倍增管阵列包括N个光电倍增管,N为正整数;光纤阵列,光纤阵列包括N组光纤,各组光纤的第一端排成与入射狭缝平行方向的一列安装在切尼-特纳光路结构的聚焦平面上,其中各组光纤的第一端收集不同波长单色光,N组光纤的第二端与N个光电倍增管一一对应地相连以将不同波长的光信号传导到不同的光电倍增管;多通道时间门控计数器;高压电源;和温度控制模块,温度控制模块与光电倍增管阵列相连,用于在进行光谱测量时将光电倍增管阵列维持在恒定的低温环境。该系统的优点在于同时具有高灵敏度和高时间分辨能力,可用于采集微弱的快速变化且不重复的光谱信号。
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公开(公告)号:CN104718440A
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:CN201380035028.2
申请日:2013-07-03
Applicant: 住友电气工业株式会社
CPC classification number: G01J3/0237 , G01J3/0208 , G01J3/027 , G01J3/1804 , G01J3/2803 , G01J3/2823 , G01N21/4795
Abstract: 调整分光成像装置的方法调整准直透镜、衍射光栅、聚光透镜和阵列型光接收部之间的相对布置关系,以在单色光输入至分光成像装置时使以下表达式(1)的值针对来自各个光接收传感器(Pn)的输出值(fn)而最大化,[表达式1](其中,α>1,以及n为等于或大于1且等于或小于N的各整数)。
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公开(公告)号:CN1318742A
公开(公告)日:2001-10-24
申请号:CN01104753.4
申请日:2001-02-21
Applicant: 特克特朗尼克公司
Inventor: D·R·安德森
CPC classification number: G01J3/1804 , G01J3/02 , G01J3/0218 , G01J3/0243 , G01J3/0294 , G01J2003/1828 , G01J2003/2866 , G02B6/3534 , G02B6/3568 , G02B6/3586
Abstract: 一种光学系统,通过光隔离的光路将光信号耦合到分立的光检测器上,以对光谱分析仪中的校准信号和测试信号一起进行检测。成对的光纤对称设在光轴任一边,供与一边的输入光纤和另一边的输出光纤准直的光学元件之用。输入光纤分别接收校准信号和测试信号,输出光纤与各检测器连接。光校准源产生处在光学系统第一级光谱范围内的第二级或以上的谱线。衍射光栅将测试信号的第一级光谱分量传送给一个检测器,将校准信号的第二级或以上的谱线从准直光学元件传送给另一检测器。对来自检测器的电信号数字化并进行处理,获得校正误差,以用于校正由光谱分析仪显示的测试信号。
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