激光表征系统和过程
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103339808A

    公开(公告)日:2013-10-02

    申请号:CN201180066671.2

    申请日:2011-12-01

    Abstract: 一种用于自动表征从半导体晶片分离的半导体条上的多个外腔半导体激光器芯片的系统和过程。该系统包括:衍射光栅,被安装在旋转台上,用于使衍射光栅转动通过衍射角范围;操纵镜,被安装在旋转台上并被定向成垂直于衍射光栅的表面;激光分析仪;以及激光器条定位台。该定位台被自动移动以使平台上的激光器条中的每个激光器芯片与衍射光栅对准(一次一个芯片),使得从激光器条中的激光器芯片发出的激光束的部分被光栅的一阶衍射反射回同一激光器芯片以锁定激射波长,并且激光束被操纵镜反射的余下部分被激光分析仪接收并表征。对于每个激光器芯片,旋转台被自动转动以使衍射光栅相对于激光器芯片所发出的激光束转动通过衍射角范围,并且激光分析仪自动地表征每个衍射角下的激光器光学性质(诸如光谱、功率或空间模式)。

    样品分析装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102308199A

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN201080006474.7

    申请日:2010-01-07

    Inventor: 横山一成

    Abstract: 本发明提供一种可以得到高精度的测定结果的样品分析装置,该样品分析装置包括:样品池部(2),构成多个池空间(S1)、(S2);光源部(31)、(32),向各池空间(S1)、(S2)照射相互不同波长范围的光;多个准直镜(61)、(62),与各池空间(S1)、(S2)的每一个对应设置,使透射过池空间(S1)、(S2)的透射光成为平行光;衍射光栅(7),对通过准直镜(61)、(62)成为了平行光的反射光进行分光;聚光镜(9),对通过衍射光栅(7)分光后的光进行聚光;以及光检测器(10),对通过聚光镜(9)聚集后的光进行检测。

    一种单色光产生装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106595857A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201611192651.0

    申请日:2016-12-21

    CPC classification number: G01J3/1804

    Abstract: 本发明公开了一种单色光产生装置,至少包括入射狭缝、准直镜、光栅装置、成像镜和出射狭缝;由入射狭缝进入的光入射至准直镜,被反射成为平行光,入射到光栅装置,由成像镜接收光栅装置产生的衍射光,并将衍射光汇聚到出射狭缝,由出射狭缝射出;光栅装置包括围绕中心轴排布的至少两块光栅,光栅装置可以中心轴转动,以切换用于接收由准直镜产生的平行光的光栅。本发明单色光产生装置,光栅装置包括以中心轴对称分布的至少两块光栅,通过光栅装置以中心轴转动,实现光栅扫描以及切换不同光栅,可实现宽波段输出;对每块光栅优化设计可提高光谱分辨率。

    分光设备及波长选择开关

    公开(公告)号:CN104238122B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201410261990.4

    申请日:2014-06-12

    Abstract: 分光设备具有:光束放大光学系统,其包含各自具有彼此倾斜的一对表面的第1及第2棱镜而构成,通过使包含多个波长成分的光穿过所述第1及第2棱镜的各个表面,从而将该光扩宽;以及分光元件,其将利用光束放大光学系统进行了扩宽的光,针对多个波长成分的每个波长成分而以不同的衍射角射出。从光束放大光学系统射出的光的出射角因温度变化而产生变动的变动方向,是对从分光元件射出的各波长成分的衍射角因温度变化而产生的变动进行抑制的方向。

    激光表征系统和过程
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103339808B

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201180066671.2

    申请日:2011-12-01

    Abstract: 一种用于自动表征从半导体晶片分离的半导体条上的多个外腔半导体激光器芯片的系统和过程。该系统包括:衍射光栅,被安装在旋转台上,用于使衍射光栅转动通过衍射角范围;操纵镜,被安装在旋转台上并被定向成垂直于衍射光栅的表面;激光分析仪;以及激光器条定位台。该定位台被自动移动以使平台上的激光器条中的每个激光器芯片与衍射光栅对准(一次一个芯片),使得从激光器条中的激光器芯片发出的激光束的部分被光栅的一阶衍射反射回同一激光器芯片以锁定激射波长,并且激光束被操纵镜反射的余下部分被激光分析仪接收并表征。对于每个激光器芯片,旋转台被自动转动以使衍射光栅相对于激光器芯片所发出的激光束转动通过衍射角范围,并且激光分析仪自动地表征每个衍射角下的激光器光学性质(诸如光谱、功率或空间模式)。

    光谱分析系统
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103592025B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310525282.2

    申请日:2013-10-30

    Applicant: 清华大学

    Inventor: 陈文聪 蒲以康

    CPC classification number: G01J3/443 G01J3/021 G01J3/0218 G01J3/1804

    Abstract: 本发明公开了一种光谱分析系统,包括:切尼-特纳光路结构;光电倍增管阵列,光电倍增管阵列包括N个光电倍增管,N为正整数;光纤阵列,光纤阵列包括N组光纤,各组光纤的第一端排成与入射狭缝平行方向的一列安装在切尼-特纳光路结构的聚焦平面上,其中各组光纤的第一端收集不同波长单色光,N组光纤的第二端与N个光电倍增管一一对应地相连以将不同波长的光信号传导到不同的光电倍增管;多通道时间门控计数器;高压电源;和温度控制模块,温度控制模块与光电倍增管阵列相连,用于在进行光谱测量时将光电倍增管阵列维持在恒定的低温环境。该系统的优点在于同时具有高灵敏度和高时间分辨能力,可用于采集微弱的快速变化且不重复的光谱信号。

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