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公开(公告)号：CN104923808B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510363157.5
申请日：2015-06-26
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23B21/00
摘要： 极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，属于极紫外光刻光源收集镜的刀架加工技术领域。它为了解决加工中由于车刀颤抖，使镜片表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题。本发明所述的刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体，刀座是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，圆柱体与长方体为一体件，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑。适用于作为极紫外光刻光源收集镜车削加工的刀架。
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公开(公告)号：CN105892240A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610437955.2
申请日：2016-06-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70825 , G03F7/2004 , G03F7/70016
摘要： 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
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公开(公告)号：CN103447552B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310438498.5
申请日：2013-09-24
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法，它涉及一种光学收集镜粗加工方法，以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底，按照此方案的技术要求，加工过程中精度控制要求非常严格，增加了加工成本的问题，所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法是按照以下步骤实现：一、坯料粗车，首先将铝合金坯料利用普通车床粗车成筒形工件；二、数控车削，由数控车床按收集镜面型车削筒形工件。本发明用于EUV光源中光学收集镜直接车削加工粗加工。
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公开(公告)号：CN104617809A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510084938.0
申请日：2015-02-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H02M9/06
摘要： 一种Xe介质毛细管放电检测用光源的主脉冲电源，涉及Xe介质毛细管放电技术。它为了解决常规电源无法满足Xe介质毛细管放电检测用光源的要求的问题。三相交流电源通过一号变压器与初级充电电路连接，初级充电电路采用交流调压的充电电路，初级充电电路为中间储能脉冲形成电路充电，中间储能脉冲形成电路采用储能电容实现，中间储能脉冲形成电路的输出端通过二号变压器将能量传递给脉冲压缩电路，脉冲压缩电路通过磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化，最终在负载上形成所需的脉冲。通过选择磁压缩回路中的电容、电感值，实现与光源等离子体匹配，从而更有效地实现Z箍缩。适合作为13.5nmXe介质毛细管放电检测用光源的电源。
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公开(公告)号：CN104597725A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510084924.9
申请日：2015-02-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种毛细管放电EUV光源的真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术。包括真空室I和真空室II两部分，真空室I的一端连接放电室，另一端与真空室II相连通，在放电室与真空室I连接处，设置有EUV光源的毛细管，真空室I与真空室II的连接处设置有收集镜支架，该收集镜支架的支撑杆上开有多个凹槽，用于安装收集系统的光学收集镜，真空室II的末端用于连接光刻机照明系统，所述末端的壁上设置有窗口，毛细管发出的极紫外光经过光学收集系统后聚焦在该窗口中央，并通过该窗口进入照明系统，本发明的真空室是针对上述多层wolte-I型的光学收集系统而设计的，与常规的真空室相比，不仅具有良好的真空度，而且收集效率高。
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公开(公告)号：CN102543630A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210026159.1
申请日：2012-02-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质及其应用系统，它涉及放电等离子体光源的介质及其应用系统。本发明要解决现有放电等离子体EUV光源采用Xe介质导致其辐射光功率过低和稳定性差以及现有放电等离子体EUV光源系统不能调控不同气体流量的问题。本发明的介质是体积流量比为(0.2～2)∶(1～20)∶(1～20)的Xe气、He气和Ar气的混合气，其应用系统由Xe气瓶、He气瓶、Ar气瓶、Xe气气体流量计、He气气体流量计、Ar气气体流量计、毛细管、电极和高压脉冲电源组成。本发明将13.5nm辐射光输出功率提高2％，同时提高了气体击穿性能和辐射光输出功率稳定性。本发明用于放电等离子体极紫外光刻光源。
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公开(公告)号：CN102494765A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110371873.X
申请日：2011-11-21
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01J1/42
摘要： 能够实时获得极紫外光辐射特性的极紫外光探测系统，涉及一种极紫外光探测系统。它解决了现有的装置难以实时探测极紫外光辐射特性的问题。它的毛细管输出的辐射光入射至反射镜，经反射镜反射至滤光片，经滤光片滤光后入射至光电二极管的光输入端；示波器用于采集光电二极管的电信号并生成所述电信号的波形；示波器还用于通过电流线圈测量毛细管的放电电流并生成所述放电电流的波形；示波器还用于通过高压探头测量毛细管的放电电压，并生成所述放电电压的波形；光电二极管的电信号波形与毛细管的放电电流波形和放电电压波形之间形成时间关系波形，分析所述时间关系波形获得极紫外光辐射特性。本发明适用于实时获得极紫外光辐射特性。
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公开(公告)号：CN101115345B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200710072589.6
申请日：2007-07-31
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 采用Blumlein线并消除固有前置脉冲的毛细管放电X光激光装置，它涉及的是毛细管放电X射线激光技术的领域。它是为解决现有Marx发生器与负载间(毛细管)之间使用Blumlein传输线时所固有的前置脉冲电压，会产生对管壁烧蚀严重的问题。它的快速高压电脉冲Marx发生器(1)的输出端通过主开关(2)、Blumlein传输线(3)连接固有脉冲隔离开关(4)输入的端，固有脉冲隔离开关(4)的输出端、隔离电感(6)的一端都连接在毛细管及X光测试总成(7)的电脉冲输入端上，隔离电感(6)的另一端连接预脉冲发生器(5)脉冲输出端。本发明阻止了Blumlein传输线的固有前置脉冲电压的通过，因而消除了它对毛细管管壁烧蚀的危害和对Z箍缩等离子体的破坏，其能高效的输出激光。
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公开(公告)号：CN106211531A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610528467.2
申请日：2016-07-06
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： H05G2/001 , G03F7/2004 , G03F7/70033
摘要： 激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术，为了解决现有装置无法实现在真空的状态下拖动Sn靶的问题。Sn靶的拖动装置采用磁力拖动结构实现，磁力拖动结构包括电机、磁性圆盘和圆形支架，Sn靶设置在圆形支架上，圆形支架上设置有磁铁，磁性圆盘固定在电机的转轴上，电机的转轴的轴线与磁性圆盘的轴线重合，磁性圆盘与圆形支架平行，电机和磁性圆盘位于放电真空室的外部，圆形支架位于放电真空室的内部。本发明的结构简单，控制精确，适用于锡介质极紫外光源系统。
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