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公开(公告)号：CN118712115A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410172197.0
申请日：2024-02-07
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：电介体基板，形成有穿通孔；RF电极，被埋入到电介体基板内部；及吸附电极，在比RF电极更靠载放面侧的位置上，被埋入到电介体基板内部。在从垂直于载放面的方向进行观察时，在吸附电极上形成有与上述穿通孔同心且包含上述穿通孔的圆形的第1开口，且在RF电极上形成有与上述穿通孔同心且包含上述穿通孔的圆形的第2开口。第2开口的半径比第1开口的半径更大。
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公开(公告)号：CN102782831B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201180012562.2
申请日：2011-03-23
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6833 , H01L21/6831 , Y10T279/23
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷基板；陶瓷电介体，设置在所述陶瓷基板的上侧且具有放置被处理基板的第1主面；及电极，设置在所述陶瓷基板与所述陶瓷电介体之间，其特征为，所述陶瓷电介体的材质为陶瓷烧结体，在所述陶瓷电介体的所述第1主面上设有多个突起部与供气的槽，在所述槽的底面设有贯穿到所述第1主面相反侧的所述陶瓷基板的第2主面的通孔，所述电极和所述槽之间的距离或者与所述电极和所述第1主面之间的距离相同或者更大。
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公开(公告)号：CN118538652A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410172429.2
申请日：2024-02-07
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：电介体基板，形成有第1气孔；底盘，形成有第2气孔；及接合层，设置在电介体基板和底盘之间，由绝缘性的材料形成。在电介体基板中的接合层侧的面上，形成有第1气孔的端部即第1开口。在底盘中的接合层侧的面上，在与第1开口不同的位置上，形成有第2气孔的端部即第2开口。在底盘中的接合层侧的面上，形成有使第1开口和第2开口之间连通的连通槽。
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公开(公告)号：CN116313981A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310336113.8
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/20 , H01J37/32
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量，同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘，其特征为，第1多孔质部具有：疏松部分，具有多个孔；及紧密部分，具有比疏松部分的密度更高的密度，多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸，紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间，疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部，在与第1方向大致正交的第2方向上，壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
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公开(公告)号：CN102792437A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180013487.1
申请日：2011-03-23
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , Y10T279/23
Abstract: 本发明是一种静电吸盘，其具备：陶瓷板，在主面上设有凹部且在内部设有电极；调温板，接合在陶瓷板上；第1接合剂，设置在陶瓷板与调温板之间；及加热器，设置在陶瓷板的凹部内，第1接合剂具有主剂、无定形填充物、球形填充物，球形填充物的平均直径与全部无定形填充物的短径的最大值相比更大，第1接合剂的厚度或者与球形填充物的平均直径相同或者更大，凹部的宽度与加热器的宽度相比更宽，凹部的深度与加热器的厚度相比更深，加热器被第2接合剂粘结在凹部内，加热器的调温板侧的主面与调温板的主面之间的第1距离长于陶瓷板的主面与调温板的主面之间的第2距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110277343B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN201910149763.5
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够提高强度。提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面、在从所述第2主面到所述第1主面的跨度上设置的穿通孔；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有连通于所述穿通孔的气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述穿通孔，其特征为，所述第1多孔质部具有位于所述陶瓷电介体基板侧的第1区域，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1区域侧的第1基板区域，所述第1区域与所述第1基板区域被设置成接触，所述第1区域中的平均粒径不同于所述第1基板区域中的平均粒径。
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公开(公告)号：CN110277341B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN201910149165.8
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32 , H01J37/20
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够实现电弧放电的降低及气体流动的顺畅化。提供一种静电吸盘，其特征为，陶瓷电介体基板具有位于第1主面与第1多孔质部之间的第1孔部，陶瓷电介体基板及第1多孔质部中的至少任意一个具有位于第1孔部与第1多孔质部之间的第2孔部，在与从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向大致正交的第2方向上，第2孔部的尺寸比第1多孔质部的尺寸更小，比第1孔部的尺寸更大。
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公开(公告)号：CN110277341A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910149165.8
申请日：2019-02-28
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01J37/32 , H01J37/20
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，在设置有多孔质部的静电吸盘中，能够实现电弧放电的降低及气体流动的顺畅化。提供一种静电吸盘，其特征为，陶瓷电介体基板具有位于第1主面与第1多孔质部之间的第1孔部，陶瓷电介体基板及第1多孔质部中的至少任意一个具有位于第1孔部与第1多孔质部之间的第2孔部，在与从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向大致正交的第2方向上，第2孔部的尺寸比第1多孔质部的尺寸更小，比第1孔部的尺寸更大。
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公开(公告)号：CN102792437B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201180013487.1
申请日：2011-03-23
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , Y10T279/23
Abstract: 本发明是一种静电吸盘，其具备：陶瓷板，在主面上设有凹部且在内部设有电极；调温板，接合在陶瓷板上；第1接合剂，设置在陶瓷板与调温板之间；及加热器，设置在陶瓷板的凹部内，第1接合剂具有主剂、无定形填充物、球形填充物，球形填充物的平均直径与全部无定形填充物的短径的最大值相比更大，第1接合剂的厚度或者与球形填充物的平均直径相同或者更大，凹部的宽度与加热器的宽度相比更宽，凹部的深度与加热器的厚度相比更深，加热器被第2接合剂粘结在凹部内，加热器的调温板侧的主面与调温板的主面之间的第1距离长于陶瓷板的主面与调温板的主面之间的第2距离。
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公开(公告)号：CN118538651A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410172200.9
申请日：2024-02-07
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种能够抑制基板的面内温度分布的不均的静电吸盘。具体而言，静电吸盘(10)具备：电介体基板(100)，具有载放基板W的面(110)，且形成有贯穿面(110)的穿通孔(气孔(150)及升降销孔(160))；电极端子(121)，设置在电介体基板(100)中的与面110相反侧的面(120)上；底盘(200)，与电介体基板(100)的面(120)接合；及接合层(300)，设置在电介体基板(100)和底盘(200)之间，由绝缘性的材料形成。在从垂直于面(110)的方向进行观察时，在接合层(300)中，在与上述的穿通孔及电极端子(121)中的任一均不重叠的位置上，形成有空间(340)。
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