公开(公告)号：CN118538652A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410172429.2

申请日：2024-02-07

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 宫崎俊哉 ,  白石纯 ,  籾山大 ,  板仓郁夫

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 静电吸盘具备：电介体基板，形成有第1气孔；底盘，形成有第2气孔；及接合层，设置在电介体基板和底盘之间，由绝缘性的材料形成。在电介体基板中的接合层侧的面上，形成有第1气孔的端部即第1开口。在底盘中的接合层侧的面上，在与第1开口不同的位置上，形成有第2气孔的端部即第2开口。在底盘中的接合层侧的面上，形成有使第1开口和第2开口之间连通的连通槽。

公开(公告)号：CN118538651A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410172200.9

申请日：2024-02-07

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 宫崎俊哉 ,  白石纯 ,  籾山大 ,  板仓郁夫

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种能够抑制基板的面内温度分布的不均的静电吸盘。具体而言，静电吸盘(10)具备：电介体基板(100)，具有载放基板W的面(110)，且形成有贯穿面(110)的穿通孔(气孔(150)及升降销孔(160))；电极端子(121)，设置在电介体基板(100)中的与面110相反侧的面(120)上；底盘(200)，与电介体基板(100)的面(120)接合；及接合层(300)，设置在电介体基板(100)和底盘(200)之间，由绝缘性的材料形成。在从垂直于面(110)的方向进行观察时，在接合层(300)中，在与上述的穿通孔及电极端子(121)中的任一均不重叠的位置上，形成有空间(340)。

公开(公告)号：CN118538650A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410172193.2

申请日：2024-02-07

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 宫崎俊哉 ,  白石纯 ,  籾山大 ,  板仓郁夫

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 静电吸盘具备：电介体基板，形成有多个第1气孔；底盘，形成有第2气孔；及接合层，设置在电介体基板和底盘之间，由绝缘性的材料形成。在电介体基板中的接合层侧的面上，形成有多个第1气孔的端部即第1开口。在底盘中的接合层侧的面上，形成有第2气孔的端部即第2开口。第2开口通过形成在底盘中的接合层侧的面上的连通槽而与多个第1开口连通。