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公开(公告)号：CN102792437A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180013487.1
申请日：2011-03-23
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , Y10T279/23
Abstract: 本发明是一种静电吸盘，其具备：陶瓷板，在主面上设有凹部且在内部设有电极；调温板，接合在陶瓷板上；第1接合剂，设置在陶瓷板与调温板之间；及加热器，设置在陶瓷板的凹部内，第1接合剂具有主剂、无定形填充物、球形填充物，球形填充物的平均直径与全部无定形填充物的短径的最大值相比更大，第1接合剂的厚度或者与球形填充物的平均直径相同或者更大，凹部的宽度与加热器的宽度相比更宽，凹部的深度与加热器的厚度相比更深，加热器被第2接合剂粘结在凹部内，加热器的调温板侧的主面与调温板的主面之间的第1距离长于陶瓷板的主面与调温板的主面之间的第2距离。
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公开(公告)号：CN102792437B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201180013487.1
申请日：2011-03-23
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , Y10T279/23
Abstract: 本发明是一种静电吸盘，其具备：陶瓷板，在主面上设有凹部且在内部设有电极；调温板，接合在陶瓷板上；第1接合剂，设置在陶瓷板与调温板之间；及加热器，设置在陶瓷板的凹部内，第1接合剂具有主剂、无定形填充物、球形填充物，球形填充物的平均直径与全部无定形填充物的短径的最大值相比更大，第1接合剂的厚度或者与球形填充物的平均直径相同或者更大，凹部的宽度与加热器的宽度相比更宽，凹部的深度与加热器的厚度相比更深，加热器被第2接合剂粘结在凹部内，加热器的调温板侧的主面与调温板的主面之间的第1距离长于陶瓷板的主面与调温板的主面之间的第2距离。
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公开(公告)号：CN109478530B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201780044701.7
申请日：2017-07-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，放置处理对象物；基座板，支撑陶瓷电介体基板；及加热器板，设置在陶瓷电介体基板与基座板之间，加热器板具有：第1、2支撑板；加热器元件，设置在第1支撑板与第2支撑板之间；第1树脂层，设置在第1支撑板与加热器元件之间；及第2树脂层，设置在第2支撑板与加热器元件之间，当在层叠方向上观察时，第1支撑板的第2支撑板侧的面具有：第1区域，重叠于加热器元件；及第2区域，并不重叠于加热器元件，第2区域比第1区域更向第2支撑板侧突出。
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公开(公告)号：CN102738053B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210080693.0
申请日：2012-03-23
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6833 , Y10T279/23
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，其能够确实地确保接通到陶瓷电介体基板内部的电极，同时能够将由穿孔引起的陶瓷电介体基板的强度降低和电绝缘可靠性降低控制到最小限度。具体而言，提供一种静电吸盘，其特征为，具备：陶瓷电介体基板，具有放置被吸附物的第1主面与所述第1主面相反侧的第2主面；电极，设置在所述陶瓷电介体基板的所述第1主面与所述第2主面之间；及导电性构件，设置在形成于所述陶瓷电介体基板的所述第2主面上的凹部中，所述凹部的顶端具有曲面，所述电极具有在所述曲面上露出的露出部分，所述导电性构件在所述露出部分处与所述电极接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107112274B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201680005123.1
申请日：2016-01-15
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置处理对象物的第1主面、第1主面相反侧的第2主面；基座板，设置在远离陶瓷电介体基板的位置，支撑陶瓷电介体基板；及加热器板，设置在陶瓷电介体基板与基座板之间，其特征为，加热器板具有：第1支撑板，包含金属；第2支撑板，包含金属；加热器元件，设置在第1支撑板与第2支撑板之间，通过流电而发热；第1树脂层，设置在第1支撑板与加热器元件之间；及第2树脂层，设置在第2支撑板与加热器元件之间。
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公开(公告)号：CN109564890A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780044740.7
申请日：2017-07-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00 , H05B3/20
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置处理对象物的第1主面、第1主面相反侧的第2主面；基座板，设置在离开陶瓷电介体基板的位置，支撑陶瓷电介体基板；及加热器板，设置在陶瓷电介体基板与基座板之间，其特征为，加热器板具有：第1支撑板，包含金属；加热器元件，设置成与第1支撑板重叠，因电流的流动而发热；及第1树脂层，设置在第1支撑板与加热器元件之间，加热器元件具有：第1面，与第1树脂层相对；及第2面，朝向第1面的相反侧，第1面的宽度不同于第2面的宽度。
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公开(公告)号：CN107112274A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201680005123.1
申请日：2016-01-15
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置处理对象物的第1主面、第1主面相反侧的第2主面；基座板，设置在远离陶瓷电介体基板的位置，支撑陶瓷电介体基板；及加热器板，设置在陶瓷电介体基板与基座板之间，其特征为，加热器板具有：第1支撑板，包含金属；第2支撑板，包含金属；加热器元件，设置在第1支撑板与第2支撑板之间，通过流电而发热；第1树脂层，设置在第1支撑板与加热器元件之间；及第2树脂层，设置在第2支撑板与加热器元件之间。
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公开(公告)号：CN109478530A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780044701.7
申请日：2017-07-20
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，放置处理对象物；基座板，支撑陶瓷电介体基板；及加热器板，设置在陶瓷电介体基板与基座板之间，加热器板具有：第1、2支撑板；加热器元件，设置在第1支撑板与第2支撑板之间；第1树脂层，设置在第1支撑板与加热器元件之间；及第2树脂层，设置在第2支撑板与加热器元件之间，当在层叠方向上观察时，第1支撑板的第2支撑板侧的面具有：第1区域，重叠于加热器元件；及第2区域，并不重叠于加热器元件，第2区域比第1区域更向第2支撑板侧突出。
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公开(公告)号：CN102738053A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210080693.0
申请日：2012-03-23
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6833 , Y10T279/23
Abstract: 本发明的目的在于提供一种静电吸盘，其能够确实地确保接通到陶瓷电介体基板内部的电极，同时能够将由穿孔引起的陶瓷电介体基板的强度降低和电绝缘可靠性降低控制到最小限度。具体而言，提供一种静电吸盘，其特征为，具备：陶瓷电介体基板，具有放置被吸附物的第1主面与所述第1主面相反侧的第2主面；电极，设置在所述陶瓷电介体基板的所述第1主面与所述第2主面之间；及导电性构件，设置在形成于所述陶瓷电介体基板的所述第2主面上的凹部中，所述凹部的顶端具有曲面，所述电极具有在所述曲面上露出的露出部分，所述导电性构件在所述露出部分处与所述电极接触。
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