公开(公告)号：CN102597312A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080051642.4

申请日：2010-11-16

Applicant: FEI公司

Inventor： C.D.钱德勒 ,  S.兰多尔夫 ,  G.哈蒂根

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23F4/04 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/047 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/45561 ,  H01J2237/006

Abstract: 从多种气体源进入到束系统的样品腔中的气体流由用于每种气体源的循环阀控制，所述样品腔中的气体压力由阀打开的相对时间以及阀的上游压力确定。设置在真空腔内部的气体阀允许在截止气体方面快速响应。在一些优选的实施方式中，前体气体由容器中的固态或液态材料被供应，所述容器在使用时仍保持在所述真空系统外部并且被容易地连接到所述气体注入系统或从所述气体注入系统断开而不存在显著的泄漏。

公开(公告)号：CN105321787A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510365464.7

申请日：2015-06-29

Applicant: FEI公司

Inventor： N.W.帕克 ,  M.斯特劳 ,  J.菲列维奇 ,  A.P.J.麦克洛波特曼 ,  M.W.乌特劳特 ,  S.兰多尔夫 ,  C.D.钱德勒

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J37/228 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31749

Abstract: 带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送。一种用于将光或气体或两者指引到离带电粒子束柱的下端约2mm内安置的样品的方法和装置。该带电粒子束柱组件包括定义样品保持位置的平台，并且具有每个包括一组电极的一组静电透镜。该组件包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极。此最后电极定义至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。

公开(公告)号：CN103668109A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310385527.6

申请日：2013-08-30

Applicant: FEI公司

Inventor： S.兰多尔夫 ,  M.斯特劳

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/48 ,  C23C16/50 ,  C23C16/04

CPC classification number: C23C16/0281 ,  C23C16/047 ,  C23C16/18

Abstract: 一种在基底表面上以第一靶图案生成靶沉积材料层的方法。将该基底表面放置在真空中并且将其暴露于具有用于一种晶种沉积材料的前体分子的第一化学蒸气中，由此形成已经吸附了这些前体分子的第一基底表面区域。然后，将一个带电粒子束以第二靶图案应用于第一基底表面区域上，该第二靶图案大体上与第一靶图案相同，由此以第三靶图案形成一个晶种层。将该晶种层暴露于具有靶沉积材料前体分子的第二化学蒸气中，这些前体分子被吸附至该晶种层上。最后，将一个激光束应用于该晶种层和邻近区域，由此在已经暴露于该激光束的该晶种层上以及其附近形成一个靶沉积材料层。

公开(公告)号：CN109243953B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201810744936.3

申请日：2018-07-09

Applicant: FEI 公司

Inventor： C.J.扎赫雷森 ,  D.蒂默曼 ,  M.托思 ,  J.费列维奇 ,  S.兰多尔夫 ,  A.P.J.M.博特曼

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/305

Abstract: 公开了一种用于观测和对准带电粒子束（CPB）系统（诸如电子显微镜或聚焦粒子束系统）的样本腔室中的光束的方法和系统。该方法包括在样本腔室内部提供具有校准表面的成像辅助设备，该校准表面被配置成使得当利用光照亮，并且同时被CPB照亮时，在也被光照亮的区中通过CPB引起的二次辐射的强度相对于具有较低光照明水平的区中通过CPB引起的二次辐射的强度是不同的，由此在校准表面上提供光束的图像。该光束的图像可以被用来使光束与带电粒子束对准。

公开(公告)号：CN105717078A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201510959643.3

申请日：2015-12-21

Applicant: FEI公司

Inventor： S.兰多尔夫 ,  J.米亚萨基 ,  M.斯特劳

IPC: G01N21/64 ,  G01N23/223

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/6458 ,  G01N21/6486 ,  G01N2021/6439 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008 ,  G02B21/16 ,  G02B21/365 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2611 ,  G01N23/223

Abstract: 本发明涉及基于基准点的相关显微术。提供了一种用于制备用于相关的光学和电子成像的样本以及校正在图像处理过程中由于样本变形而引起的像差的方法。涂有染料的基准标记遍及样本体积而分布。基准标记优选地以聚苯乙烯纳米球体的形式，该聚苯乙烯纳米球体在其表面上被功能化以及随后用荧光染料来处理。该染料并不渗入球体而是仅绑定到表面。通过将染料限制到纳米球体的表面上，在iPALM图像中以及在带电粒子图像中可以确定球体的形状，从而帮助追踪可能对样本体积发生的物理变化。

公开(公告)号：CN102597312B

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201080051642.4

申请日：2010-11-16

Applicant: FEI公司

Inventor： C.D.钱德勒 ,  S.兰多尔夫 ,  G.哈蒂根

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23F4/04 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/047 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/45561 ,  H01J2237/006

Abstract: 从多种气体源进入到束系统的样品腔中的气体流由用于每种气体源的循环阀控制，所述样品腔中的气体压力由阀打开的相对时间以及阀的上游压力确定。设置在真空腔内部的气体阀允许在截止气体方面快速响应。在一些优选的实施方式中，前体气体由容器中的固态或液态材料被供应，所述容器在使用时仍保持在所述真空系统外部并且被容易地连接到所述气体注入系统或从所述气体注入系统断开而不存在显著的泄漏。

公开(公告)号：CN103855083A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310641651.4

申请日：2013-12-03

Applicant: FEI公司

Inventor： A.P.J.M.博特曼 ,  S.兰多尔夫 ,  M.W.乌特劳特

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/288 ,  C25D7/12 ,  C25F3/12

CPC classification number: B05D1/26 ,  C25D5/024 ,  C25F3/14 ,  G01N23/225 ,  Y10T137/0324

Abstract: 在一些已知的实施例中，将少量液体分配到工件上的方法包括为从纳米分配器中流出的液体提供显微通道。在一些实施例中，对液体进行分配包括使用具有至少一个延伸至尖端的缝隙的纳米分配器对液体进行分配。一些方法包括对蒸发速率和液体流速进行控制以建立产生希望尺寸的泡沫的平衡。