公开(公告)号：CN105321787A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510365464.7

申请日：2015-06-29

Applicant: FEI公司

Inventor： N.W.帕克 ,  M.斯特劳 ,  J.菲列维奇 ,  A.P.J.麦克洛波特曼 ,  M.W.乌特劳特 ,  S.兰多尔夫 ,  C.D.钱德勒

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/12 ,  H01J37/228 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/31749

Abstract: 带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送。一种用于将光或气体或两者指引到离带电粒子束柱的下端约2mm内安置的样品的方法和装置。该带电粒子束柱组件包括定义样品保持位置的平台，并且具有每个包括一组电极的一组静电透镜。该组件包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极。此最后电极定义至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。

公开(公告)号：CN108020449B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201710934117.0

申请日：2017-10-10

Applicant: FEI 公司

Inventor： G.德尔皮 ,  G.奥多伊特 ,  L.F.T.克瓦克曼 ,  C.鲁伊 ,  J.菲列维奇

IPC: G01N1/28

Abstract: 本申请涉及具有改进的速度、自动化和可靠性的断层摄影术样品制备系统和方法，具体公开了使用等离子体FIB上的创新研磨策略来创建用于x射线断层摄影术或其它断层摄影术扫描的样品柱。在方法、系统和可执行以执行本文中的策略的程序产品中提供该策略。研磨策略创建样品柱周围的不对称熔坑，并且提供单次切割切出过程。各种实施例可以包括根据像素坐标连同波束扫描和熔坑几何形状的优化来调谐离子剂量，从而大幅减少制备时间并且显著改进总体工作流效率。提供了具有新月形状和经优化的停留时间值的新颖切出研磨图案。

公开(公告)号：CN109243947B

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN201810781507.3

申请日：2018-07-10

Applicant: FEI 公司

Inventor： J.菲列维奇

IPC: H01J35/08 ,  G21K7/00 ,  G01N23/046

Abstract: 公开了一种方法和系统，用于使用薄片状靶产生样本的x射线图像以改善成像分辨率和图像获取时间之间的通常折衷。电子射束垂直于薄片的较窄尺寸撞击薄片状靶，所述较窄尺寸随后确定沿着该轴的实际源尺寸。对于低能量x射线生成，平行于薄片的较宽尺寸的小电子穿透深度确定沿着该轴的实际源尺寸。在相同成像分辨率情况下，与柱状靶相比，靶的传导冷却得到改善。薄片状靶足够长以确保电子射束不会撞击支撑结构，撞击支撑结构将会降低成像分辨率。靶材料可选自用于块状或柱状靶的相同金属，包括钨、钼、钛、钪、钒、银或难熔金属。