公开(公告)号：CN105717078A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201510959643.3

申请日：2015-12-21

Applicant: FEI公司

Inventor： S.兰多尔夫 ,  J.米亚萨基 ,  M.斯特劳

IPC: G01N21/64 ,  G01N23/223

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/6458 ,  G01N21/6486 ,  G01N2021/6439 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008 ,  G02B21/16 ,  G02B21/365 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2611 ,  G01N23/223

Abstract: 本发明涉及基于基准点的相关显微术。提供了一种用于制备用于相关的光学和电子成像的样本以及校正在图像处理过程中由于样本变形而引起的像差的方法。涂有染料的基准标记遍及样本体积而分布。基准标记优选地以聚苯乙烯纳米球体的形式，该聚苯乙烯纳米球体在其表面上被功能化以及随后用荧光染料来处理。该染料并不渗入球体而是仅绑定到表面。通过将染料限制到纳米球体的表面上，在iPALM图像中以及在带电粒子图像中可以确定球体的形状，从而帮助追踪可能对样本体积发生的物理变化。