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公开(公告)号：CN102549416B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201080040905.1
申请日：2010-11-26
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/225
Abstract: 本发明提供没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。本发明的湿度检测传感器的特征在于，具备：基板(51)；传感器部，其设置在所述基板(51)上，由一对电极(53、55)夹持介电常数根据湿度发生变化的高分子感湿膜(54)，并且具有所述高分子感湿膜(54)局部向外界露出的感湿区域A；保护层(56)，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极(55)上，在所述感湿区域A以外的区域(区域B+区域C)中，具有与所述一对电极所夹持的高分子感湿膜(54)的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜(54)的区域C存在于所述上侧的电极(55)的附近。
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公开(公告)号：CN103154715A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180048230.X
申请日：2011-08-08
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223 , G01N1/00 , G01N2201/00 , H01L21/00 , Y10T29/49
Abstract: 本发明的目的之一是，在通过下部电极和上部电极挟持感湿膜的湿度检测传感器中，使水分子顺利地通过感湿膜的内部，并且提高上部电极的耐湿性。包括：下部电极(21)，设置在基板(10)上；上部电极(23)，与下部电极(21)对置地设置；感湿膜(22)，至少形成在下部电极(21)与上部电极(23)之间，且介电常数随着湿度发生变化；以及保护膜(24)，设置成覆盖上部电极(23)，上部电极(23)及保护膜(24)具有局部地向外界露出感湿膜(22)的开口部(25)，在开口部(25)中，将感湿膜(22)至少设置到比保护膜(24)的下表面的位置高的位置为止。
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公开(公告)号：CN1293702C
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200310114273.0
申请日：2003-11-12
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H3/08 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种适合用于千兆赫频带的弹性表面波元件。使用Cu合金形成梳齿状电极部(13)、(14)，在将在压电基板(12)的X轴方向上传输的表面波的波长定为λ、将梳齿状电极部(13)、(14)的膜厚定为H时，梳齿状电极部(13)、(14)的规格化膜厚H/λ为0.045以上至0.070以下，通过将压电基板(12)定为以X轴为中心的从Y轴朝向Z轴方向的旋转切断角度θ为52.0°以上至58.0°以下的旋转Y切割LiTaO3基板，可使反射系数(S11)的值为0.88以上。由此，可得到在GHz频带中插入损耗小的、谐振特性良好的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN103035658A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210308698.4
申请日：2012-08-27
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H01L27/146 , G01J1/42
Abstract: 本发明提供一种适合于波长和光接收量的小型封装的光传感器模块及光传感器。其中，具备光接收元件(21)、电阻元件(65)、放大元件(61)、波长选择滤波器构件(40)的光传感器模块(1)，其特征在于，还具有：形成有放大元件(61)的电路基板(60)；对于电路基板(60)进行遮光的封装树脂(75)；使形成有光接收元件(21)的传感器构件(20)和波长选择滤波器构件(40)得以接合的传感器基板(10)；设置有与电路基板(60)和光接收元件(21)及电阻元件(65)相连接的配线(71)的基座(70)，并且，封装树脂(75)按照使波长选择滤波器构件(40)的光入射面(40a)露出的方式覆盖基座(70)。
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公开(公告)号：CN1499715A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310102937.1
申请日：2003-10-31
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H03H9/02929 , Y10T428/12368 , Y10T428/12493
Abstract: 一种具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法，所述弹性表面波元件的梳齿状电极部的梳齿部13a、14a为由Ti构成的第二底层20、24、由Ta构成的第一底层21、25、CuM合金层22、26(其中，元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上)的层叠构造。由此，CuM合金层22、26具有定向在(111)方位的结晶性，弹性表面波元件的抗应力迁移性提高。根据本发明，能得到耐电力性高的弹性表面波元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102549416A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201080040905.1
申请日：2010-11-26
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/225
Abstract: 本发明提供没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。本发明的湿度检测传感器的特征在于，具备：基板(51)；传感器部，其设置在所述基板(51)上，由一对电极(53、55)夹持介电常数根据湿度发生变化的高分子感湿膜(54)，并且具有所述高分子感湿膜(54)局部向外界露出的感湿区域A；保护层(56)，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极(55)上，在所述感湿区域A以外的区域(区域B+区域C)中，具有与所述一对电极所夹持的高分子感湿膜(54)的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜(54)的区域C存在于所述上侧的电极(55)的附近。
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公开(公告)号：CN100511986C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610084240.X
申请日：2006-05-29
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02929 , H03H9/14541
Abstract: 一种弹性表面波元件，通过在梳齿状电极部(13、14)和压电性基板(12)之间设置由TiN或TiOxNy(但0＜x＜0.2，x+y＝1)构成的第1基底层(20、24)、和由Cr构成的第2基底层(21、25)，能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，能够提高耐电力特性。若能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，则能够抑制梳齿状电极部(13、14)的电阻值的增加并减少电力损失。另外，能够使串联共振频率及并联共振频率的变动变小。因此提供一种耐电力特性和温度特性良好的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN1309162C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200310102937.1
申请日：2003-10-31
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H03H9/02929 , Y10T428/12368 , Y10T428/12493
Abstract: 一种具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法，所述弹性表面波元件的梳齿状电极部的梳齿部13a、14a为由Ti构成的第二底层20、24、由Ta构成的第一底层21、25、CuM合金层22、26(其中，元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上)的层叠构造。由此，CuM合金层22、26具有定向在(111)方位的结晶性，弹性表面波元件的抗应力迁移性提高。根据本发明，能得到耐电力性高的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN1499716A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310114273.0
申请日：2003-11-12
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H3/08 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种适合用于千兆赫频带的弹性表面波元件。使用Cu合金形成梳齿状电极部(13)、(14)，在将在压电基板(12)的X轴方向上传输的表面波的波长定为λ、将梳齿状电极部(13)、(14)的膜厚定为H时，梳齿状电极部(13)、(14)的规格化膜厚H/λ为0.045以上至0.070以下，通过将压电基板(12)定为以X轴为中心的从Y轴朝向Z轴方向的旋转切断角度θ为52.0°以上至58.0°以下的旋转Y切割LiTaO3基板，可使反射系数(S11)的值为0.88以上。由此，可得到在GHz频带中插入损耗小的、谐振特性良好的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN103154715B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201180048230.X
申请日：2011-08-08
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223 , G01N1/00 , G01N2201/00 , H01L21/00 , Y10T29/49
Abstract: 本发明的目的之一是，在通过下部电极和上部电极挟持感湿膜的湿度检测传感器中，使水分子顺利地通过感湿膜的内部，并且提高上部电极的耐湿性。包括：下部电极(21)，设置在基板(10)上；上部电极(23)，与下部电极(21)对置地设置；感湿膜(22)，至少形成在下部电极(21)与上部电极(23)之间，且介电常数随着湿度发生变化；以及保护膜(24)，设置成覆盖上部电极(23)，上部电极(23)及保护膜(24)具有局部地向外界露出感湿膜(22)的开口部(25)，在开口部(25)中，将感湿膜(22)至少设置到比保护膜(24)的下表面的位置高的位置为止。
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