公开(公告)号：CN100511986C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200610084240.X

申请日：2006-05-29

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 藤本晴彦 ,  尾崎恭辅 ,  和贺聪 ,  目黑利浩 ,  池田刚

IPC: H03H3/08

CPC classification number: H03H3/08 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/14541

Abstract: 一种弹性表面波元件，通过在梳齿状电极部(13、14)和压电性基板(12)之间设置由TiN或TiOxNy(但0＜x＜0.2，x+y＝1)构成的第1基底层(20、24)、和由Cr构成的第2基底层(21、25)，能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，能够提高耐电力特性。若能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，则能够抑制梳齿状电极部(13、14)的电阻值的增加并减少电力损失。另外，能够使串联共振频率及并联共振频率的变动变小。因此提供一种耐电力特性和温度特性良好的弹性表面波元件。

公开(公告)号：CN1874145A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200610084240.X

申请日：2006-05-29

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 藤本晴彦 ,  尾崎恭辅 ,  和贺聪 ,  目黑利浩 ,  池田刚

IPC: H03H3/08

CPC classification number: H03H3/08 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/14541

Abstract: 一种弹性表面波元件，通过在梳齿状电极部(13、14)和压电性基板(12)之间设置由TiN或TiOxNy (但0＜x＜0.2，x+y＝1)构成的第1基底层(20、24)、和由Cr构成的第2基底层(21、25)，能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，能够提高耐电力特性。若能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，则能够抑制梳齿状电极部(13、14)的电阻值的增加并减少电力损失。另外，能够使串联共振频率及并联共振频率的变动变小。因此提供一种耐电力特性和温度特性良好的弹性表面波元件。