-
公开(公告)号：CN100511985C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610073233.X
申请日：2006-04-05
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: H03H9/02921 , H03H3/08 , Y10T29/42 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 一种表面弹性波设备的制造方法，由于在用绝缘膜(6)将梳状电极(2)和反射器(5a、5b)的整个区域覆盖的状态下，在电极部(3a、3b)上形成导体层(4)，因此在形成导体层(4)时，由绝缘膜(6)保护梳状电极(2)和反射器(5a、5b)，没有异物附着在梳状电极(2)和反射器(5a、5b)，性能良好。从而，提供一种廉价，且性能良好的表面弹性波设备的制造方法。
-
公开(公告)号：CN1874145A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200610084240.X
申请日：2006-05-29
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02929 , H03H9/14541
Abstract: 一种弹性表面波元件，通过在梳齿状电极部(13、14)和压电性基板(12)之间设置由TiN或TiOxNy (但0＜x＜0.2，x+y＝1)构成的第1基底层(20、24)、和由Cr构成的第2基底层(21、25)，能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，能够提高耐电力特性。若能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，则能够抑制梳齿状电极部(13、14)的电阻值的增加并减少电力损失。另外，能够使串联共振频率及并联共振频率的变动变小。因此提供一种耐电力特性和温度特性良好的弹性表面波元件。
-
公开(公告)号：CN1848675A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610073233.X
申请日：2006-04-05
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: H03H9/02921 , H03H3/08 , Y10T29/42 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 一种表面弹性波设备的制造方法，由于在用绝缘膜(6)将梳状电极(2)和反射器(5a、5b)的整个区域覆盖的状态下，在电极部(3a、3b)上形成导体层(4)，因此在形成导体层(4)时，由绝缘膜(6)保护梳状电极(2)和反射器(5a、5b)，没有异物附着在梳状电极(2)和反射器(5a、5b)，性能良好。从而，提供一种廉价，且性能良好的表面弹性波设备的制造方法。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1499715A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310102937.1
申请日：2003-10-31
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H03H9/02929 , Y10T428/12368 , Y10T428/12493
Abstract: 一种具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法，所述弹性表面波元件的梳齿状电极部的梳齿部13a、14a为由Ti构成的第二底层20、24、由Ta构成的第一底层21、25、CuM合金层22、26(其中，元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上)的层叠构造。由此，CuM合金层22、26具有定向在(111)方位的结晶性，弹性表面波元件的抗应力迁移性提高。根据本发明，能得到耐电力性高的弹性表面波元件。
-
公开(公告)号：CN100511986C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610084240.X
申请日：2006-05-29
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02929 , H03H9/14541
Abstract: 一种弹性表面波元件，通过在梳齿状电极部(13、14)和压电性基板(12)之间设置由TiN或TiOxNy(但0＜x＜0.2，x+y＝1)构成的第1基底层(20、24)、和由Cr构成的第2基底层(21、25)，能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，能够提高耐电力特性。若能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，则能够抑制梳齿状电极部(13、14)的电阻值的增加并减少电力损失。另外，能够使串联共振频率及并联共振频率的变动变小。因此提供一种耐电力特性和温度特性良好的弹性表面波元件。
-
公开(公告)号：CN1309162C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200310102937.1
申请日：2003-10-31
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H03H9/02929 , Y10T428/12368 , Y10T428/12493
Abstract: 一种具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法，所述弹性表面波元件的梳齿状电极部的梳齿部13a、14a为由Ti构成的第二底层20、24、由Ta构成的第一底层21、25、CuM合金层22、26(其中，元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上)的层叠构造。由此，CuM合金层22、26具有定向在(111)方位的结晶性，弹性表面波元件的抗应力迁移性提高。根据本发明，能得到耐电力性高的弹性表面波元件。
-
公开(公告)号：CN1499716A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310114273.0
申请日：2003-11-12
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H3/08 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种适合用于千兆赫频带的弹性表面波元件。使用Cu合金形成梳齿状电极部(13)、(14)，在将在压电基板(12)的X轴方向上传输的表面波的波长定为λ、将梳齿状电极部(13)、(14)的膜厚定为H时，梳齿状电极部(13)、(14)的规格化膜厚H/λ为0.045以上至0.070以下，通过将压电基板(12)定为以X轴为中心的从Y轴朝向Z轴方向的旋转切断角度θ为52.0°以上至58.0°以下的旋转Y切割LiTaO3基板，可使反射系数(S11)的值为0.88以上。由此，可得到在GHz频带中插入损耗小的、谐振特性良好的弹性表面波元件。
-
公开(公告)号：CN1293702C
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200310114273.0
申请日：2003-11-12
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H3/08 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种适合用于千兆赫频带的弹性表面波元件。使用Cu合金形成梳齿状电极部(13)、(14)，在将在压电基板(12)的X轴方向上传输的表面波的波长定为λ、将梳齿状电极部(13)、(14)的膜厚定为H时，梳齿状电极部(13)、(14)的规格化膜厚H/λ为0.045以上至0.070以下，通过将压电基板(12)定为以X轴为中心的从Y轴朝向Z轴方向的旋转切断角度θ为52.0°以上至58.0°以下的旋转Y切割LiTaO3基板，可使反射系数(S11)的值为0.88以上。由此，可得到在GHz频带中插入损耗小的、谐振特性良好的弹性表面波元件。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.022 seconds)
