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公开(公告)号：CN1293702C
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200310114273.0
申请日：2003-11-12
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H3/08 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种适合用于千兆赫频带的弹性表面波元件。使用Cu合金形成梳齿状电极部(13)、(14)，在将在压电基板(12)的X轴方向上传输的表面波的波长定为λ、将梳齿状电极部(13)、(14)的膜厚定为H时，梳齿状电极部(13)、(14)的规格化膜厚H/λ为0.045以上至0.070以下，通过将压电基板(12)定为以X轴为中心的从Y轴朝向Z轴方向的旋转切断角度θ为52.0°以上至58.0°以下的旋转Y切割LiTaO3基板，可使反射系数(S11)的值为0.88以上。由此，可得到在GHz频带中插入损耗小的、谐振特性良好的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN103076913A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210434190.9
申请日：2011-07-06
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/044
Abstract: 本发明提供输入装置及其制造方法。配线层具备：设置在与电极层的端部连接的连接位置的连接端部(23a～23e)、从所述连接端部引出的配线延伸部(24a～24e)。多个所述配线层的配线延伸部(24a～24e)分别以在从输入区域观察为相同侧的X1侧非输入区域(12a)沿X1-X2方向空开间隔的状态沿Y1-Y2方向延伸，并且各配线延伸部(24a～24e)的配线宽度形成为如下方式，即，在沿所述X1-X2并列设置的所述配线层的个数越少的区域，各配线延伸部(24a～24e)的配线宽度越大。
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公开(公告)号：CN100511985C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610073233.X
申请日：2006-04-05
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: H03H9/02921 , H03H3/08 , Y10T29/42 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 一种表面弹性波设备的制造方法，由于在用绝缘膜(6)将梳状电极(2)和反射器(5a、5b)的整个区域覆盖的状态下，在电极部(3a、3b)上形成导体层(4)，因此在形成导体层(4)时，由绝缘膜(6)保护梳状电极(2)和反射器(5a、5b)，没有异物附着在梳状电极(2)和反射器(5a、5b)，性能良好。从而，提供一种廉价，且性能良好的表面弹性波设备的制造方法。
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公开(公告)号：CN1874145A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200610084240.X
申请日：2006-05-29
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02929 , H03H9/14541
Abstract: 一种弹性表面波元件，通过在梳齿状电极部(13、14)和压电性基板(12)之间设置由TiN或TiOxNy (但0＜x＜0.2，x+y＝1)构成的第1基底层(20、24)、和由Cr构成的第2基底层(21、25)，能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，能够提高耐电力特性。若能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，则能够抑制梳齿状电极部(13、14)的电阻值的增加并减少电力损失。另外，能够使串联共振频率及并联共振频率的变动变小。因此提供一种耐电力特性和温度特性良好的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN103324369B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310118881.2
申请日：2011-07-06
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: G06F3/044
Abstract: 一种输入装置及其制造方法，配线层具备：设置在与电极层的端部连接的连接位置的连接端部和从连接端部引出的配线延伸部，配线层设有多个，各连接端部设为各配线层中配线宽度最大的区域，在平面内正交的两个方向被设为第一方向和第二方向时，多个配线层的配线延伸部分别以在从输入区域观察为相同侧的非输入区域沿第一方向空开间隔的状态沿第二方向延伸，存在多个配线区域，其中的各配线延伸部的向第二方向的配线长度不同，在第一方向上并列设置的配线延伸部的个数不同，各配线延伸部的配线宽度形成为如下方式，即，在各配线区域以相同的宽度尺寸形成，在第一方向上并列设置的配线延伸部的个数越少的配线区域，其配线宽度形成得越大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100511986C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610084240.X
申请日：2006-05-29
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02929 , H03H9/14541
Abstract: 一种弹性表面波元件，通过在梳齿状电极部(13、14)和压电性基板(12)之间设置由TiN或TiOxNy(但0＜x＜0.2，x+y＝1)构成的第1基底层(20、24)、和由Cr构成的第2基底层(21、25)，能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，能够提高耐电力特性。若能够防止在梳齿状电极部(13、14)产生空隙部，则能够抑制梳齿状电极部(13、14)的电阻值的增加并减少电力损失。另外，能够使串联共振频率及并联共振频率的变动变小。因此提供一种耐电力特性和温度特性良好的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN1309162C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200310102937.1
申请日：2003-10-31
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: H03H9/02929 , Y10T428/12368 , Y10T428/12493
Abstract: 一种具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法，所述弹性表面波元件的梳齿状电极部的梳齿部13a、14a为由Ti构成的第二底层20、24、由Ta构成的第一底层21、25、CuM合金层22、26(其中，元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上)的层叠构造。由此，CuM合金层22、26具有定向在(111)方位的结晶性，弹性表面波元件的抗应力迁移性提高。根据本发明，能得到耐电力性高的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN1499716A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310114273.0
申请日：2003-11-12
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H3/08 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种适合用于千兆赫频带的弹性表面波元件。使用Cu合金形成梳齿状电极部(13)、(14)，在将在压电基板(12)的X轴方向上传输的表面波的波长定为λ、将梳齿状电极部(13)、(14)的膜厚定为H时，梳齿状电极部(13)、(14)的规格化膜厚H/λ为0.045以上至0.070以下，通过将压电基板(12)定为以X轴为中心的从Y轴朝向Z轴方向的旋转切断角度θ为52.0°以上至58.0°以下的旋转Y切割LiTaO3基板，可使反射系数(S11)的值为0.88以上。由此，可得到在GHz频带中插入损耗小的、谐振特性良好的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN103076913B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210434190.9
申请日：2011-07-06
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/044
Abstract: 本发明提供输入装置及其制造方法。配线层具备：设置在与电极层的端部连接的连接位置的连接端部(23a～23e)、从所述连接端部引出的配线延伸部(24a～24e)。多个所述配线层的配线延伸部(24a～24e)分别以在从输入区域观察为相同侧的X1侧非输入区域(12a)沿X1-X2方向空开间隔的状态沿Y1-Y2方向延伸，并且各配线延伸部(24a～24e)的配线宽度形成为如下方式，即，在沿所述X1-X2并列设置的所述配线层的个数越少的区域，各配线延伸部(24a～24e)的配线宽度越大。
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公开(公告)号：CN102844730A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201180018663.0
申请日：2011-07-06
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G06F3/041
CPC classification number: G06F3/044
Abstract: 本发明提供输入装置及其制造方法。配线层具备：设置在与电极层的端部连接的连接位置的连接端部(23a～23e)、从所述连接端部引出的配线延伸部(24a～24e)。多个所述配线层的配线延伸部(24a～24e)分别以在从输入区域观察为相同侧的X1侧非输入区域(12a)沿X1-X2方向空开间隔的状态沿Y1-Y2方向延伸，并且各配线延伸部(24a～24e)的配线宽度形成为如下方式，即，在沿所述X1-X2并列设置的所述配线层的个数越少的区域，各配线延伸部(24a～24e)的配线宽度越大。
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