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公开(公告)号：CN1499715A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310102937.1
申请日：2003-10-31
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
CPC分类号： H03H9/02929 , Y10T428/12368 , Y10T428/12493
摘要： 一种具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法，所述弹性表面波元件的梳齿状电极部的梳齿部13a、14a为由Ti构成的第二底层20、24、由Ta构成的第一底层21、25、CuM合金层22、26(其中，元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上)的层叠构造。由此，CuM合金层22、26具有定向在(111)方位的结晶性，弹性表面波元件的抗应力迁移性提高。根据本发明，能得到耐电力性高的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN104635184A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201410641296.5
申请日：2014-11-13
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G01R33/09
CPC分类号： G01R33/0017 , G01R33/093
摘要： 提供一种磁检测装置，通过磁场感应层在第一方向上感应出的磁场通过在与感应方向正交的第二朝向上具有灵敏度轴的磁传感器来检测，是能够使针对第二朝向的磁场成分的灵敏度降低、并且不易受来自外部的较强的磁场的影响的构造。Z方向的磁场成分通过磁场感应层(30)而感应出来并沿与磁传感器(20)的灵敏度轴方向相同的X方向被赋予至磁传感器(20)而获得检测输出。用多个磁传感器(20)组成电桥电路，而构成为相对于X方向的磁场成分不做出输出。但是，X方向的外部磁场被磁场感应层(30)牵引，从而有时X方向的灵敏度产生偏差。因此，使磁场感应层(30)的第一部分(31)的软磁特性劣化，使透磁率降低。
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公开(公告)号：CN1293702C
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200310114273.0
申请日：2003-11-12
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： H03H9/145
CPC分类号： H03H9/02559 , H03H3/08 , H03H9/14538
摘要： 本发明提供一种适合用于千兆赫频带的弹性表面波元件。使用Cu合金形成梳齿状电极部(13)、(14)，在将在压电基板(12)的X轴方向上传输的表面波的波长定为λ、将梳齿状电极部(13)、(14)的膜厚定为H时，梳齿状电极部(13)、(14)的规格化膜厚H/λ为0.045以上至0.070以下，通过将压电基板(12)定为以X轴为中心的从Y轴朝向Z轴方向的旋转切断角度θ为52.0°以上至58.0°以下的旋转Y切割LiTaO3基板，可使反射系数(S11)的值为0.88以上。由此，可得到在GHz频带中插入损耗小的、谐振特性良好的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN104635184B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201410641296.5
申请日：2014-11-13
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： G01R33/09
CPC分类号： G01R33/0017 , G01R33/093
摘要： 提供一种磁检测装置，通过磁场感应层在第一方向上感应出的磁场通过在与感应方向正交的第二朝向上具有灵敏度轴的磁传感器来检测，是能够使针对第二朝向的磁场成分的灵敏度降低、并且不易受来自外部的较强的磁场的影响的构造。Z方向的磁场成分通过磁场感应层(30)而感应出来并沿与磁传感器(20)的灵敏度轴方向相同的X方向被赋予至磁传感器(20)而获得检测输出。用多个磁传感器(20)组成电桥电路，而构成为相对于X方向的磁场成分不做出输出。但是，X方向的外部磁场被磁场感应层(30)牵引，从而有时X方向的灵敏度产生偏差。因此，使磁场感应层(30)的第一部分(31)的软磁特性劣化，使透磁率降低。
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公开(公告)号：CN1309162C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200310102937.1
申请日：2003-10-31
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
CPC分类号： H03H9/02929 , Y10T428/12368 , Y10T428/12493
摘要： 一种具有高耐电力性的弹性表面波元件及其制造方法，所述弹性表面波元件的梳齿状电极部的梳齿部13a、14a为由Ti构成的第二底层20、24、由Ta构成的第一底层21、25、CuM合金层22、26(其中，元素M是Ag、Sn、C中的任意一种或2种以上)的层叠构造。由此，CuM合金层22、26具有定向在(111)方位的结晶性，弹性表面波元件的抗应力迁移性提高。根据本发明，能得到耐电力性高的弹性表面波元件。
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公开(公告)号：CN1499716A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310114273.0
申请日：2003-11-12
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
IPC分类号： H03H9/145
CPC分类号： H03H9/02559 , H03H3/08 , H03H9/14538
摘要： 本发明提供一种适合用于千兆赫频带的弹性表面波元件。使用Cu合金形成梳齿状电极部(13)、(14)，在将在压电基板(12)的X轴方向上传输的表面波的波长定为λ、将梳齿状电极部(13)、(14)的膜厚定为H时，梳齿状电极部(13)、(14)的规格化膜厚H/λ为0.045以上至0.070以下，通过将压电基板(12)定为以X轴为中心的从Y轴朝向Z轴方向的旋转切断角度θ为52.0°以上至58.0°以下的旋转Y切割LiTaO3基板，可使反射系数(S11)的值为0.88以上。由此，可得到在GHz频带中插入损耗小的、谐振特性良好的弹性表面波元件。
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