公开(公告)号：CN102549416A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080040905.1

申请日：2010-11-26

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 森田澄人 ,  和贺聪 ,  佐藤崇 ,  牛肠英纪

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/225

Abstract: 本发明提供没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。本发明的湿度检测传感器的特征在于，具备：基板(51)；传感器部，其设置在所述基板(51)上，由一对电极(53、55)夹持介电常数根据湿度发生变化的高分子感湿膜(54)，并且具有所述高分子感湿膜(54)局部向外界露出的感湿区域A；保护层(56)，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极(55)上，在所述感湿区域A以外的区域(区域B+区域C)中，具有与所述一对电极所夹持的高分子感湿膜(54)的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜(54)的区域C存在于所述上侧的电极(55)的附近。

公开(公告)号：CN102341698A

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN201080009828.3

申请日：2010-05-28

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 横山进矢 ,  和贺聪 ,  森田澄人 ,  齐藤达也 ,  牛来志浩 ,  遁所淳 ,  佐藤崇 ,  佐藤浩司

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N33/0009 ,  H01L24/73 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48228 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供一种湿度检测传感器封装件及其制造方法，能够高效地获得不论在什么使用温度下都不会产生热应变且温度特性的偏差小的湿度检测传感器封装件。本发明的湿度检测传感器封装件，其特征在于，具备：湿度检测传感器，其安装在封装件基板(1)的一主面上，且具有湿敏区域；密封树脂(2)，其至少密封所述湿度检测传感器的外部连接部；分隔构件(3)，其以使所述湿敏区域露出到外界的方式分隔所述密封树脂的密封区域和所述湿敏区域，所述湿度检测传感器具有基台和被搭载于所述基台上的传感器元件，所述基台和所述分隔构件(3)由相同材料构成。

公开(公告)号：CN102549416B

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201080040905.1

申请日：2010-11-26

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 森田澄人 ,  和贺聪 ,  佐藤崇 ,  牛肠英纪

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/225

Abstract: 本发明提供没有灵敏度偏差的平行平板型的湿度检测传感器。本发明的湿度检测传感器的特征在于，具备：基板(51)；传感器部，其设置在所述基板(51)上，由一对电极(53、55)夹持介电常数根据湿度发生变化的高分子感湿膜(54)，并且具有所述高分子感湿膜(54)局部向外界露出的感湿区域A；保护层(56)，其形成在至少所述一对电极中的上侧的电极(55)上，在所述感湿区域A以外的区域(区域B+区域C)中，具有与所述一对电极所夹持的高分子感湿膜(54)的厚度大致相同厚度的高分子感湿膜(54)的区域C存在于所述上侧的电极(55)的附近。

公开(公告)号：CN103154715A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201180048230.X

申请日：2011-08-08

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 遁所淳 ,  和贺聪 ,  佐藤崇 ,  横山进矢 ,  森田澄人

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/223 ,  G01N1/00 ,  G01N2201/00 ,  H01L21/00 ,  Y10T29/49

Abstract: 本发明的目的之一是，在通过下部电极和上部电极挟持感湿膜的湿度检测传感器中，使水分子顺利地通过感湿膜的内部，并且提高上部电极的耐湿性。包括：下部电极(21)，设置在基板(10)上；上部电极(23)，与下部电极(21)对置地设置；感湿膜(22)，至少形成在下部电极(21)与上部电极(23)之间，且介电常数随着湿度发生变化；以及保护膜(24)，设置成覆盖上部电极(23)，上部电极(23)及保护膜(24)具有局部地向外界露出感湿膜(22)的开口部(25)，在开口部(25)中，将感湿膜(22)至少设置到比保护膜(24)的下表面的位置高的位置为止。

公开(公告)号：CN103154715B

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201180048230.X

申请日：2011-08-08

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 遁所淳 ,  和贺聪 ,  佐藤崇 ,  横山进矢 ,  森田澄人

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/223 ,  G01N1/00 ,  G01N2201/00 ,  H01L21/00 ,  Y10T29/49

Abstract: 本发明的目的之一是，在通过下部电极和上部电极挟持感湿膜的湿度检测传感器中，使水分子顺利地通过感湿膜的内部，并且提高上部电极的耐湿性。包括：下部电极(21)，设置在基板(10)上；上部电极(23)，与下部电极(21)对置地设置；感湿膜(22)，至少形成在下部电极(21)与上部电极(23)之间，且介电常数随着湿度发生变化；以及保护膜(24)，设置成覆盖上部电极(23)，上部电极(23)及保护膜(24)具有局部地向外界露出感湿膜(22)的开口部(25)，在开口部(25)中，将感湿膜(22)至少设置到比保护膜(24)的下表面的位置高的位置为止。

公开(公告)号：CN102341698B

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201080009828.3

申请日：2010-05-28

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 横山进矢 ,  和贺聪 ,  森田澄人 ,  齐藤达也 ,  牛来志浩 ,  遁所淳 ,  佐藤崇 ,  佐藤浩司

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N33/0009 ,  H01L24/73 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48228 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供一种湿度检测传感器封装件及其制造方法，能够高效地获得不论在什么使用温度下都不会产生热应变且温度特性的偏差小的湿度检测传感器封装件。本发明的湿度检测传感器封装件，其特征在于，具备：湿度检测传感器，其安装在封装件基板(1)的一主面上，且具有湿敏区域；密封树脂(2)，其至少密封所述湿度检测传感器的外部连接部；分隔构件(3)，其以使所述湿敏区域露出到外界的方式分隔所述密封树脂的密封区域和所述湿敏区域，所述湿度检测传感器具有基台和被搭载于所述基台上的传感器元件，所述基台和所述分隔构件(3)由相同材料构成。