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公开(公告)号:CN101244800A
公开(公告)日:2008-08-20
申请号:CN200810074207.8
申请日:2008-02-13
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H9/52 , H01L24/24 , H01L2224/32245 , H01L2224/73267 , H01L2224/92144 , H01L2924/01029 , H01L2924/10253 , H01L2924/12042 , H01L2924/1305 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , Y10T29/49105 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及功率覆盖结构及其制作方法。本发明的一个实施例包括一种MEMS结构,该MEMS结构进一步包括:MEMS器件(240),其具有其上带有一个或多个连接到MEMS器件(240)的MEMS元件的接触结构(244、245和246)的第一表面;覆盖第一表面在其中限定了开口的介电层(100),接触结构(244、245和246)通过该开口被暴露;包含从接触结构(244、245和246)延伸通过介电层(100)中的开口并且到达介电层(100)的表面之上的导电材料(174-179)的图案化的金属化层(254、255和256);以及与金属化层(254、255和256)热连通的第一热沉(190)。
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公开(公告)号:CN1917158B
公开(公告)日:2013-07-17
申请号:CN200610115024.7
申请日:2006-08-17
Applicant: 通用电气公司
Inventor: R·A·费利昂 , R·A·博普雷 , A·埃拉塞尔 , R·J·沃纳洛夫斯基 , C·S·科尔曼
CPC classification number: H01L23/4822 , H01L23/4821 , H01L23/5385 , H01L23/5389 , H01L24/24 , H01L24/82 , H01L25/072 , H01L2224/2402 , H01L2224/24137 , H01L2224/24226 , H01L2224/32225 , H01L2224/73267 , H01L2224/82039 , H01L2224/82047 , H01L2224/92135 , H01L2224/92144 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01042 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01074 , H01L2924/01076 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/09701 , H01L2924/10329 , H01L2924/12042 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/15787 , H01L2924/19042 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01L2924/351 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体芯片封装结构,包括电介质膜(10),该电介质膜(10)具有与至少一个功率半导体芯片(21)的一个或多个接触垫(22)和(23)对准的一个或多个通孔(11)。邻近电介质膜(10)的图案化的导电层(40)具有一个或多个导电柱(41),其延伸通过与接触垫(22)和(23)对准的该一个或多个通孔(11),以将导电层(40)电耦接至接触垫(22)和(23)。在特定实施例中,可在电介质膜(10)和该至少一个功率半导体芯片(21)的有源表面(24)之间形成一个或多个空气隙(91)。还公开了用于制备该半导体芯片封装结构的方法。
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公开(公告)号:CN1917158A
公开(公告)日:2007-02-21
申请号:CN200610115024.7
申请日:2006-08-17
Applicant: 通用电气公司
Inventor: R·A·费利昂 , R·A·博普雷 , A·埃拉塞尔 , R·J·沃纳洛夫斯基 , C·S·科尔曼
CPC classification number: H01L23/4822 , H01L23/4821 , H01L23/5385 , H01L23/5389 , H01L24/24 , H01L24/82 , H01L25/072 , H01L2224/2402 , H01L2224/24137 , H01L2224/24226 , H01L2224/32225 , H01L2224/73267 , H01L2224/82039 , H01L2224/82047 , H01L2224/92135 , H01L2224/92144 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01042 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01074 , H01L2924/01076 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/09701 , H01L2924/10329 , H01L2924/12042 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/15787 , H01L2924/19042 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01L2924/351 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体芯片封装结构,包括电介质膜(10),该电介质膜(10)具有与至少一个功率半导体芯片(21)的一个或多个接触垫(22)和(23)对准的一个或多个通孔(11)。邻近电介质膜(10)的图案化的导电层(40)具有一个或多个导电柱(41),其延伸通过与接触垫(22)和(23)对准的该一个或多个通孔(11),以将导电层(40)电耦接至接触垫(22)和(23)。在特定实施例中,可在电介质膜(10)和该至少一个功率半导体芯片(21)的有源表面(24)之间形成一个或多个空气隙(91)。还公开了用于制备该半导体芯片封装结构的方法。
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公开(公告)号:CN1960001B
公开(公告)日:2013-05-29
申请号:CN200610151312.8
申请日:2006-06-27
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: H01L21/02505 , H01L21/02447 , H01L21/02529
Abstract: 本发明提供一种具有碳化硅外延层的复合结构(16)的半导体器件及其制造方法。该外延层包括至少四个垂直分布的区域并且限定了各自的界面,其中每个区域的特征在于各自的掺杂浓度,其中掺杂浓度在每个界面变化,并且其中至少一种单个杂质在所有的区域中的每个掺杂浓度超过1×1017cm-3。
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公开(公告)号:CN1960001A
公开(公告)日:2007-05-09
申请号:CN200610151312.8
申请日:2006-06-27
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: H01L21/02505 , H01L21/02447 , H01L21/02529
Abstract: 本发明提供一种具有碳化硅外延层的复合结构(16)的半导体器件及其制造方法。该外延层包括至少四个垂直分布的区域并且限定了各自的界面,其中每个区域的特征在于各自的掺杂浓度,其中掺杂浓度在每个界面变化,并且其中至少一种单个杂质在所有的区域中的每个掺杂浓度超过1×1017cm-3。
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公开(公告)号:CN1290404A
公开(公告)日:2001-04-04
申请号:CN99802681.6
申请日:1999-11-23
Applicant: 通用电气公司
IPC: H01L29/739
CPC classification number: H01L29/1095 , H01L29/7395
Abstract: 一种IGBT适用于ZVS工作,所以显著减少了ZVS工作期间的开关损耗。实际上,IGBT适用于作为具有非常小双极晶体管元件的MOSFET工作。通过减少传导期间注入到器件的少子数量,可以减少开关损耗。此外,该ZVS IGBT结构允许在工作温度升高时存储电荷少量增加,允许器件在较高温下以较低开关损耗工作。此外ZVS IGBT结构允许工作温度升高时存储的电荷少量增加,允许器件在较高的温度下以较低的开关损耗工作。
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