一种低氧高密度Ru溅射靶材、制备方法及其用途

    公开(公告)号:CN116875952A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202310839299.9

    申请日:2023-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种低氧高密度Ru溅射靶材、制备方法及其用途,该溅射靶材氧含量小于50ppm,表面粗晶层厚度小于50um,平均晶粒尺寸2‑8微米,晶界处孔洞呈近球形,直径小于1um,靶材相对密度大于理论密度的99%。制备方法以具有形貌和粒径分布可控的高纯钌粉为原料,通过真空热压烧结法制备钌靶材;通过对真空度控制、加压烧结获得靶材坯料,最终获得具有低氧高密度且具有良好机加工性能的溅射靶材。本发明通对粉末形貌和粒径分布以及真空热压烧结工艺的控制,改善了钌靶氧含量高、表面粗晶层厚、致密度低、机加工性能差等缺点,获得低氧含量和高致密度且加工性能好的溅射靶材,避免常规热压烧结工艺制备的靶材加工困难的缺点。

    一种由易氧化金属镀膜保护制备的高均质NiCrPt合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN114293157A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111501941.X

    申请日:2021-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种由易氧化金属镀膜保护制备的高均质NiCrPt合金溅射靶材及其制备方法,所述溅射靶材之基材原料由纯度≥99.99wt%的Ni、Cr、Pt金属组成,其中Cr10~30at%,Pt1~4.5at%,余量为Ni,外加总质量比0.01~0.08%的除氧剂;基材表面保护镀膜厚度≤5μm;所述溅射靶材致密度≥99.5%,且无肉眼可见的缺陷,氧含量≤30ppm,靶材晶粒均匀,其平均粒径为20~100μm;所述溅射靶材之表层机加工处理的去除深度≤0.5mm。其制备方法由基材铸锭与清洗处理、基材镀膜、坯材轧制、再结晶处理和机加工处理工艺实现。本发明基于“控氧+优先保护”原理,降低基材氧含量,基材表面优先溅射易氧化金属保护镀层,抑制“夹生”脆性氧化物,提高了靶材优材率,降低了表层去除深度,减少靶材浪费,节约成本。

    一种镁基海水自溶材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN103789588A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201410039237.0

    申请日:2014-01-27

    Abstract: 本发明涉及一种遇海水即自溶的镁基合金材料及其制备方法。该合金材料的主要合金元素成分为(wt%):Mg:余,Ni:0.2~2。以电解级原料进行合金材料的配制,其中电解Mg纯度≥99.99%,电解Ni纯度≥99.95%。以马弗炉为加热炉,高纯石墨坩埚为熔炼坩埚,圆形的石墨模具中为浇铸模,进行合金材料的熔炼及浇铸,制备海水自溶材料合金棒锭坯。熔炼时中采用39%KCl+61%MgCl2为覆盖剂,可有效的避免合金熔炼过程中的氧化烧损及氧化物夹杂的产生。预制的合金棒锭坯根据实际使用尺寸的需要,通过机械加工,切片及多道次的打磨,抛光后,即可做为成品海水自溶材料。该材料适用于多种水下航行体及海洋通讯设备的自沉销毁装置,可有效提高自沉销毁装置的可靠性。

    一种钨钛靶材坯料的制备方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116970853A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202310862536.3

    申请日:2023-07-14

    Abstract: 本发明涉及一种钨钛靶材坯料的制备方法,包括:1)先通过纯钨粉体和纯钛粉体进行高能球磨增加两者表面缺陷程度,有利于提高烧结阶段的钨钛之间的扩散程度;2)对钨钛混合粉体进行通氢还原降低其表面氧含量;3)添加氢化钛粉体与钨钛混合粉体进行二次均匀化球磨,利用氢化钛在预烧结阶段的分解产氢作用降低块体钨钛靶材坯料内部的含氧量;4)利用预烧结和致密化烧结实现钨钛靶材坯料气体含量降低和微观结构可控性制备;5)利用热压塑性变形处理进一步提高钨钛靶材坯料的致密度和钨钛之间的扩散程度。本发明实现了对于钨钛靶材坯料致密度的提高、含氧量的降低和微观结构的可控性制备,所制备的钨钛靶材服役性能得到了提高。

    一种晶粒高定向取向的钌溅射靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN111270210B

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202010186065.5

    申请日:2020-03-17

    Abstract: 本发明公开了一种晶粒高定向取向的钌溅射靶材及其制备方法,钌溅射靶材呈现(002)晶面高定向取向,致密度不低于99.5%,晶粒尺寸1‑10μm,氧含量100 ppm以内;所述(002)晶面与(101)晶面积分强度比不低于3。所述制备方法包括以下步骤:选择4N及以上纯度,粒度为1‑10μm的钌粉;随后将粉末进行冷压成型;再将冷压成型的锭坯进行低温微波烧结;再将锭坯进行低温真空热压烧结进一步提高致密度;最后机加工获得靶材。本发明采用较低的烧结温度、低温真空热压技术及充氢气形成还原气氛,使得钌溅射靶材性能优异,高致密度和(002)晶面高定向取向有助于获得高溅射速率、厚度均匀的钌薄膜,制备工艺简便,条件温和易于操控,而且可大大提高生产效率,极大地节约制备成本。

    C/SiC复合材料的一种连接方法

    公开(公告)号:CN103408316A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310311186.8

    申请日:2013-07-23

    Abstract: 本发明公开了一种可以实现C/SiC(碳纤维增强碳化硅复合材料)复合材料与其他金属可靠、牢固连接的连接结构和连接方法。该方法以金属铌(Nb)、氢气和氯气为原料,使用化学气相沉积(CVD)的方法在C/SiC复合材料上沉积Nb(以下简称CVDNb),制备CVDNb/(C/SiC)复合材料接头。以CVDNb为过渡连接材料,与其他金属(如镍基合金、钛合金、铌合金)等焊接,从而实现C/SiC复合材料制备的各类异型器件与其他金属器件的组装。CVDNb在C/SiC复合材料表面的沉积过程中即产生元素扩散和界面反应,形成良好的结合,无需进行后续热处理。该连接方法对C/SiC复合材料器件外形的尺寸精度要求低,该连接结构简单,气密性能良好,连接强度大,使用温度高,连接可靠性高,尤其适用于航天航空用C/SiC复合材料结构件的连接问题。

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