一种二氧化铪涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109112501B

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201810972105.1

    申请日:2018-08-24

    Abstract: 本发明提供一种二氧化铪涂层及其制备方法,属于涂层制备领域。本发明中,原料铪的氯化反应与HfO2涂层的化学气相沉积反应过程简单,HfO2涂层沉积速率大幅提高至30μm/h以上,且不会带来杂质污染;化学气相沉积反应可在预热后的待沉积基体的所有表面发生,可同时实现难熔金属复杂器件内外表面涂层的均匀沉积;CVD沉积是通过化学反应原位产生HfO2分子,HfO2分子逐个堆积形成涂层,涂层密度超过其理论密度的99%;HfO2涂层的生长选择热力学能量最低的方向,涂层形成了择优取向的织构组织,使涂层的辐射系数提高至0.90以上,高温散热性能优良。

    一种晶粒高定向取向的铱溅射靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN111235536A

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN202010186255.7

    申请日:2020-03-17

    Abstract: 本发明公开了一种晶粒高定向取向的铱溅射靶材及其制备方法,铱溅射靶材呈现(111)晶面高定向取向,致密度不低于99.5%,晶粒尺寸1-10μm,氧含量100 ppm以内;所述(111)晶面与(200)晶面积分强度比不低于4。所述制备方法包括以下步骤:选择4N及以上纯度,粒度为1-10μm的铱粉;随后将粉末进行冷压成型;再将冷压成型的锭坯进行低温微波烧结;再将锭坯进行低温真空热压烧结进一步提高致密度;最后机加工获得靶材。本发明采用较低的烧结温度、低温真空热压技术及充氢气形成还原气氛,使得铱溅射靶材性能优异,高致密度和(111)晶面高定向取向有助于获得高溅射速率、厚度均匀的铱薄膜,制备工艺简便,条件温和易于操控,而且可大大提高了生产效率,极大地节约制备成本。

    一种微米级类球形铱粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN108296491A

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201810066926.9

    申请日:2018-01-24

    Abstract: 本发明公开了一种微米级类球形铱(Ir)粉体及其制备方法,所制备的微米级Ir粉体的纯度可达99.99%,颗粒尺寸为1~5μm,平均粒径为4μm。本发明以氯铱酸铵[(NH4)2IrCl6]为原料,采用雾化干燥结合微波煅烧技术制备了微米级类球形Ir粉体,本发明通过雾化干燥和微波煅烧工艺,制备的微米级Ir粉体,具有纯度高,尺寸均匀,近似球形和分散性好的优点,这使得粉体具有很好的流动性和烧结性能。这种铱粉体可以用于制备高温性能优异、高强度硬度、耐腐蚀和耐氧化的各种铱制品,广泛应用于电光、电气、航空航天和核反应堆领域。

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