一种铼坩埚及其制备方法和应用
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113512713A

    公开(公告)日:2021-10-19

    申请号:CN202110771475.0

    申请日:2021-07-08

    Abstract: 本发明提供了一种铼坩埚及其制备方法和应用,属于金属材料制备技术领域。本发明提供了一种铼坩埚的制备方法,包括以下步骤:在真空条件下,将铼与氯气发生氯化反应,得到ReCl5气体;对基体进行加工,得到沉积铼坩埚用模芯;将所述沉积铼坩埚用模芯预热,得到预热沉积铼坩埚用模芯;将所述ReCl5气体输送至所述预热沉积铼坩埚用模芯的表面进行化学气相沉积,得到铼坩埚。本发明采用现场氯化化学气相沉积(CVD)法制备铼坩埚,具有流程短、工艺成熟、沉积速率快及原材料利用率高的优点,可以得到高致密性、高纯度的铼坩埚。

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