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公开(公告)号：CN109676440B
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201910037255.8
申请日：2019-01-15
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种用于大口径易变形硫化锌光学窗口零件的微流动性复合抛光模及其制作方法，抛光模包括抛光模主体、基础层、模垫层和抛光层。本发明采用以低膨胀高稳定的材料作为抛光模主体，以光学用沥青与模垫相互结合作为底材，通过标准平面压板热压成形的一种新型抛光模，使光学用沥青与模垫相互紧密结合。由于模垫材料中具有微小孔，而且模垫本身在光学用沥青中浸透，使得模垫与上下两层光学用沥青紧密结合，稳定控制上下两层光学用沥青的流动，克服了上下两层光学用沥青易流动的缺陷。
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公开(公告)号：CN110488553A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910786826.8
申请日：2019-08-24
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种基于金属光栅的可调谐双通道窄带偏振滤光器及调谐方法，滤光器依次由基底、HL交替组成的多层反射膜系、下层金属光栅层、可调谐间隔层、上层金属光栅层、HL交替组成的多层反射膜系组成；可调谐间隔层材料为随外加电场材料折射率可变的材料，上下层金属光栅分别作为可调谐间隔层的上下电极层。基于干涉膜系理论并结合亚波长金属光栅类Fabry-Preot腔共振理论，本发明采用多层膜结合双层金属光栅的结构设计出中心波长可调谐的双通道窄带偏振滤光片。与现有技术相比，本发明光谱性能优良，环境适应性好，结构简单，能够实现中心波长可调谐。
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公开(公告)号：CN109828324A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910037528.9
申请日：2019-01-15
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种具有高效雷达波屏蔽功能的宽角度激光高强减反射膜的膜系结构，由透明基片和五种薄膜材料制备的十二层薄膜叠加构成；从透明基片开始，由内向外第1层为透明导电膜层；第2层为金属电极薄膜，镀制在透明导电膜层的边缘以及透明基底的侧面；第3层至第11层中的奇数层为三氧化二钛膜层、偶数层为二氧化硅膜层，第12层为氮氧化铝膜层。本发明具有对1064nm激光高透过、对频率为2GHz～18GHz的雷达波高效屏蔽功能，且具有很强的环境适应性，能够经受吹尘、淋雨、附着力、湿热、摩擦、盐雾等环境试验，可用于雷达隐身光电系统中的1064nm激光窗口，使具有雷达波高效屏蔽功能的激光窗口能够在0°～80°的宽角度范围内正常使用，在恶劣的环境中能够正常工作并保护系统内部器件。
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公开(公告)号：CN116841054A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310655776.6
申请日：2023-06-05
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B27/14
Abstract: 本发明属于光电元器件领域，公开了一种超宽带能量分光镜，所述能量分光镜是光学透明基底上，通过制作具有一定占空比的网格状金属反射膜，实现对入射光的透射能量和反射能量达到特定的比值；能量分光镜的透射/反射分光比可以通过网格状金属反射膜的占空比以及基底透射率来调控，可以实现超宽波段范围、各类分光比的技术指标。本发明采用这种方式实现能量分光，与现有技术相比，能够有效避免采用介质薄膜干涉效应带来的偏振效应问题，而且制作简单，不易影响光学基底的面型，实现超宽带的能量分光。
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公开(公告)号：CN116623128A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310655739.5
申请日：2023-06-05
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明公开了一种内嵌式电磁屏蔽金属网栅制作方法，包括如下步骤：在光学基底上制作反向掩膜；等离子束刻蚀金属网栅沟槽；金属薄膜镀制；底层薄膜镀制；去胶及清洁；耐环境侵蚀性能的光学增透膜镀制。本发明通过在光学基底表面采用掩膜制作、等离子束刻蚀等方式制作金属网栅的沟槽，采用真空镀膜的方式将金属网栅填充在沟槽内，再通过与基底材料相机或相同的薄膜材料覆盖，与基底形成一体，将金属网栅完全包裹在内部，表面再通过带有保护层的光学增透膜覆盖，使得光学窗口能够同时实现电磁屏蔽、光学良好透射率、耐环境侵蚀等多种功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110488553B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN201910786826.8
申请日：2019-08-24
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种基于金属光栅的可调谐双通道窄带偏振滤光器及调谐方法，滤光器依次由基底、HL交替组成的多层反射膜系、下层金属光栅层、可调谐间隔层、上层金属光栅层、HL交替组成的多层反射膜系组成；可调谐间隔层材料为随外加电场材料折射率可变的材料，上下层金属光栅分别作为可调谐间隔层的上下电极层。基于干涉膜系理论并结合亚波长金属光栅类Fabry‑Preot腔共振理论，本发明采用多层膜结合双层金属光栅的结构设计出中心波长可调谐的双通道窄带偏振滤光片。与现有技术相比，本发明光谱性能优良，环境适应性好，结构简单，能够实现中心波长可调谐。
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公开(公告)号：CN114649195A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202210231012.X
申请日：2022-03-10
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明属于光学技术领域，具体涉及一种光学基底表面ITO薄膜的高效去除方法,该方法将将锌粉或铝粉大致均匀地撒在镀有ITO薄膜的光学基底表面；用软性耐腐蚀物蘸取盐酸对ITO薄膜表面反复均匀擦拭，然后将擦拭好的光学基底放在清水槽中用超声波清洗，去除表面水分。该方法对于光学基底表面镀制的ITO薄膜，能够有效、快速地实现去除ITO薄膜，不易损伤光学基底表面。该方法不仅适用于化学稳定性较好的k9玻璃、石英玻璃等光学材料，同时也适用于ZnS、ZnSe、蓝宝石、CaF2、BaF2等易腐蚀易损伤光学基底。
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公开(公告)号：CN114635108A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202210231013.4
申请日：2022-03-10
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明属于光学薄膜领域，具体涉及一种实现均匀加热除冰除霜的圆形光学窗口镀膜方法。所述方法通过对圆形光学窗口表面镀制的可加热薄膜厚度分布进行设计，并制作相应的薄膜厚度调控挡板来调控制备的导电加热薄膜厚度，以改善圆形光学窗口表面导电加热薄膜的导电分布均匀性，提高薄膜加热的均匀性和除冰除霜效率。本发明通过提高窗口表面各处产热功率均匀性，从而降低温度梯度，进而降低了热传导效应。因此，通过改善窗口表面的产热功率均匀性，从根本上改善窗口表面的加热温度均匀性。
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公开(公告)号：CN105842857B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201610273378.8
申请日：2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B27/10
Abstract: 本发明提出一种ZnS基底反0.5～0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7～4.8μm中波红外分色膜的膜系结构，包括ZnS基片和分色膜膜系；分色膜膜系由三种薄膜材料制成；膜层层数共计51层，其中第1层和第51层为氧化锆膜层，第2层到第50层中的偶数层为氟化镱膜层、奇数层为硫化锌膜层。在0.5～0.8μm波段，透过率小于2％；在1.064μm激光波段，透过率小于1％；在3.7～4.8μm中波红外波段透射率大于95％。该膜系结构具有层数少、厚度小、镀制难度相对较低、工艺重复性好的特点，获得的膜层牢固度高，光谱性能优良，能够满足多波段共窗口光电系统的使用要求，满足45°倾斜条件下工作要求，并能经受住高、低温存储，温度冲击等环境试验，附着力试验及中度摩擦试验。
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公开(公告)号：CN105824061B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201610273523.2
申请日：2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构，包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系，减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成，第一膜层为氟化镁膜层，镀制在氟化镁基片的表面上，膜层厚度18～24nm；第二膜层为硫化锌膜层，膜层厚度495～503nm，并镀制在第一膜层上；第三膜层为锗膜层，膜层厚度112～120nm，并镀制在第二膜层上；第四膜层为类金刚石膜层，膜层厚度498～502nm，并镀制在第三膜层上。本发明采用多层粘接层技术，解决了DLC高强度保护膜与氟化镁基底之间的应力匹配问题，整个薄膜系统和氟化镁基底结合牢固，同时多层粘接层与DLC膜构成多层减反射膜系，有效降低了由于基底和DLC保护膜的折射率不匹配而引起的表面反射损失。
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