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公开(公告)号:CN105842857A
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201610273378.8
申请日:2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B27/10
CPC classification number: G02B27/1006 , G02B27/1013
Abstract: 本发明提出一种ZnS基底反0.5~0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7~4.8μm中波红外分色膜的膜系结构,包括ZnS基片和分色膜膜系;分色膜膜系由三种薄膜材料制成;膜层层数共计51层,其中第1层和第51层为氧化锆膜层,第2层到第50层中的偶数层为氟化镱膜层、奇数层为硫化锌膜层。在0.5~0.8μm波段,透过率小于2%;在1.064μm激光波段,透过率小于1%;在3.7~4.8μm中波红外波段透射率大于95%。该膜系结构具有层数少、厚度小、镀制难度相对较低、工艺重复性好的特点,获得的膜层牢固度高,光谱性能优良,能够满足多波段共窗口光电系统的使用要求,满足45°倾斜条件下工作要求,并能经受住高、低温存储,温度冲击等环境试验,附着力试验及中度摩擦试验。
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公开(公告)号:CN110488553A
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201910786826.8
申请日:2019-08-24
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种基于金属光栅的可调谐双通道窄带偏振滤光器及调谐方法,滤光器依次由基底、HL交替组成的多层反射膜系、下层金属光栅层、可调谐间隔层、上层金属光栅层、HL交替组成的多层反射膜系组成;可调谐间隔层材料为随外加电场材料折射率可变的材料,上下层金属光栅分别作为可调谐间隔层的上下电极层。基于干涉膜系理论并结合亚波长金属光栅类Fabry-Preot腔共振理论,本发明采用多层膜结合双层金属光栅的结构设计出中心波长可调谐的双通道窄带偏振滤光片。与现有技术相比,本发明光谱性能优良,环境适应性好,结构简单,能够实现中心波长可调谐。
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公开(公告)号:CN109901247A
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201910134962.9
申请日:2019-02-24
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种10.6μm激光窗口抗磁可加热薄膜膜系结构,包括红外基片、介质膜层、导电膜层和电极膜层;第一膜层为硫化锌膜层,镀制在所述红外基片的表面上,膜层厚度300~600nm;第二膜层为锗膜层,厚度654±1nm,镀制在第一膜层上;第三膜层为硫化锌膜层,厚度为1232±2nm;第四膜层为锗膜层,厚度618~643nm;第五层为导电膜层,厚度15±1nm;第六层为金属电极膜层,厚度200±5nm,镀制在红外基片镀膜面边缘并与第五层连通;第七膜层为锗膜层,厚度536~636nm;第八层为硫化锌膜层,厚度为1267~1419nm;第九层为锗膜层,厚度320~546nm;第十层为硫化锌膜层,厚度为540~625nm。通过在激光窗口上制备透明导电膜层,使窗口具有除冰和屏蔽电磁功能,提高激光制导系统抗冰霜和电磁能力。
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公开(公告)号:CN105824061A
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201610273523.2
申请日:2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
CPC classification number: G02B1/115
Abstract: 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构,包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系,减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成,第一膜层为氟化镁膜层,镀制在氟化镁基片的表面上,膜层厚度18~24nm;第二膜层为硫化锌膜层,膜层厚度495~503nm,并镀制在第一膜层上;第三膜层为锗膜层,膜层厚度112~120nm,并镀制在第二膜层上;第四膜层为类金刚石膜层,膜层厚度498~502nm,并镀制在第三膜层上。本发明采用多层粘接层技术,解决了DLC高强度保护膜与氟化镁基底之间的应力匹配问题,整个薄膜系统和氟化镁基底结合牢固,同时多层粘接层与DLC膜构成多层减反射膜系,有效降低了由于基底和DLC保护膜的折射率不匹配而引起的表面反射损失。
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公开(公告)号:CN110488553B
公开(公告)日:2023-04-11
申请号:CN201910786826.8
申请日:2019-08-24
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种基于金属光栅的可调谐双通道窄带偏振滤光器及调谐方法,滤光器依次由基底、HL交替组成的多层反射膜系、下层金属光栅层、可调谐间隔层、上层金属光栅层、HL交替组成的多层反射膜系组成;可调谐间隔层材料为随外加电场材料折射率可变的材料,上下层金属光栅分别作为可调谐间隔层的上下电极层。基于干涉膜系理论并结合亚波长金属光栅类Fabry‑Preot腔共振理论,本发明采用多层膜结合双层金属光栅的结构设计出中心波长可调谐的双通道窄带偏振滤光片。与现有技术相比,本发明光谱性能优良,环境适应性好,结构简单,能够实现中心波长可调谐。
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公开(公告)号:CN105842857B
公开(公告)日:2018-04-03
申请号:CN201610273378.8
申请日:2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B27/10
Abstract: 本发明提出一种ZnS基底反0.5~0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7~4.8μm中波红外分色膜的膜系结构,包括ZnS基片和分色膜膜系;分色膜膜系由三种薄膜材料制成;膜层层数共计51层,其中第1层和第51层为氧化锆膜层,第2层到第50层中的偶数层为氟化镱膜层、奇数层为硫化锌膜层。在0.5~0.8μm波段,透过率小于2%;在1.064μm激光波段,透过率小于1%;在3.7~4.8μm中波红外波段透射率大于95%。该膜系结构具有层数少、厚度小、镀制难度相对较低、工艺重复性好的特点,获得的膜层牢固度高,光谱性能优良,能够满足多波段共窗口光电系统的使用要求,满足45°倾斜条件下工作要求,并能经受住高、低温存储,温度冲击等环境试验,附着力试验及中度摩擦试验。
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公开(公告)号:CN105824061B
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201610273523.2
申请日:2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构,包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系,减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成,第一膜层为氟化镁膜层,镀制在氟化镁基片的表面上,膜层厚度18~24nm;第二膜层为硫化锌膜层,膜层厚度495~503nm,并镀制在第一膜层上;第三膜层为锗膜层,膜层厚度112~120nm,并镀制在第二膜层上;第四膜层为类金刚石膜层,膜层厚度498~502nm,并镀制在第三膜层上。本发明采用多层粘接层技术,解决了DLC高强度保护膜与氟化镁基底之间的应力匹配问题,整个薄膜系统和氟化镁基底结合牢固,同时多层粘接层与DLC膜构成多层减反射膜系,有效降低了由于基底和DLC保护膜的折射率不匹配而引起的表面反射损失。
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