一种用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜

    公开(公告)号:CN104216034A

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201410442919.6

    申请日:2014-09-02

    Abstract: 本发明提出用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜,包括透明基片和减反射膜系,减反射膜系由高折射率介质膜层和低折射率膜层交替叠加的12个膜层构成,适用于曲率半径与口径之比不小于1的大曲率透镜表面,且具有较高的玻璃基底适应性,对由于不同镀膜机参数不同而引起的高折射率镀膜材料折射率n有较大的容限,稳定性高。即基底折射率适用于1.46~1.60、高折射率材料Ta2O5折射率n=1.946~2.126,均满足大曲率光学零件表面各点的光学性能在0.532μm与1.064μm波长处剩余反射率优于0.4%的良好效果。

    一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构

    公开(公告)号:CN105824061B

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201610273523.2

    申请日:2016-04-28

    Abstract: 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构,包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系,减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成,第一膜层为氟化镁膜层,镀制在氟化镁基片的表面上,膜层厚度18~24nm;第二膜层为硫化锌膜层,膜层厚度495~503nm,并镀制在第一膜层上;第三膜层为锗膜层,膜层厚度112~120nm,并镀制在第二膜层上;第四膜层为类金刚石膜层,膜层厚度498~502nm,并镀制在第三膜层上。本发明采用多层粘接层技术,解决了DLC高强度保护膜与氟化镁基底之间的应力匹配问题,整个薄膜系统和氟化镁基底结合牢固,同时多层粘接层与DLC膜构成多层减反射膜系,有效降低了由于基底和DLC保护膜的折射率不匹配而引起的表面反射损失。

    一种用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜

    公开(公告)号:CN104216034B

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201410442919.6

    申请日:2014-09-02

    Abstract: 本发明提出用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜,包括透明基片和减反射膜系,减反射膜系由高折射率介质膜层和低折射率膜层交替叠加的12个膜层构成,适用于曲率半径与口径之比不小于1的大曲率透镜表面,且具有较高的玻璃基底适应性,对由于不同镀膜机参数不同而引起的高折射率镀膜材料折射率n有较大的容限,稳定性高。即基底折射率适用于1.46~1.60、高折射率材料Ta2O5折射率n=1.946~2.126,均满足大曲率光学零件表面各点的光学性能在0.532μm与1.064μm波长处剩余反射率优于0.4%的良好效果。

    一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构

    公开(公告)号:CN105824061A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201610273523.2

    申请日:2016-04-28

    CPC classification number: G02B1/115

    Abstract: 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构,包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系,减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成,第一膜层为氟化镁膜层,镀制在氟化镁基片的表面上,膜层厚度18~24nm;第二膜层为硫化锌膜层,膜层厚度495~503nm,并镀制在第一膜层上;第三膜层为锗膜层,膜层厚度112~120nm,并镀制在第二膜层上;第四膜层为类金刚石膜层,膜层厚度498~502nm,并镀制在第三膜层上。本发明采用多层粘接层技术,解决了DLC高强度保护膜与氟化镁基底之间的应力匹配问题,整个薄膜系统和氟化镁基底结合牢固,同时多层粘接层与DLC膜构成多层减反射膜系,有效降低了由于基底和DLC保护膜的折射率不匹配而引起的表面反射损失。

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